2022/08/17 更新

写真a

ヤナギタニ タカヒコ
柳谷 隆彦
所属
理工学術院 先進理工学部
職名
教授

兼担

  • 理工学術院   大学院先進理工学研究科

学内研究所等

  • 2020年
    -
    2022年

    理工学術院総合研究所   兼任研究員

学歴

  • 2003年04月
    -
    2006年03月

    同志社大学   工学研究科   電気工学専攻博士後期課程  

  • 2001年04月
    -
    2003年03月

    同志社大学   工学研究科   電気工学専攻博士前期課程  

  • 1997年04月
    -
    2001年03月

    同志社大学   工学部   電子工学科  

学位

  • 同志社大学   博士(工学)

経歴

  • 2022年04月
    -
    継続中

    早稲田大学   理工学術院 先進理工学部 電気・情報生命工学科   教授

  • 2015年04月
    -
    2022年03月

    早稲田大学理工学術院   先進理工学部 電気・情報生命工学科   准教授

  • 2016年10月
    -
    2020年03月

    JSTさきがけ研究員(兼任)

  • 2012年04月
    -
    2014年03月

    名古屋工業大学   機械工学科   助教(任期なし)

  • 2008年05月
    -
    2012年03月

    名古屋工業大学   機械工学科   助教(任期あり)

  • 2007年04月
    -
    2008年04月

    東北大学   日本学術振興会PD

  • 2006年04月
    -
    2007年03月

    産業技術総合研究所   関西産学官連携センター   特別研究員

  • 2006年04月
    -
    2007年03月

    産業技術総合研究所   ナノテクノロジー部門   日本学術振興会PD

▼全件表示

所属学協会

  •  
     
     

    応用物理学会

 

研究分野

  • 薄膜、表面界面物性

  • 応用物理一般

  • 結晶工学

  • 計測工学

  • 電子デバイス、電子機器

  • ロボティクス、知能機械システム

  • 機械力学、メカトロニクス

  • 応用物性

▼全件表示

研究キーワード

  • BAWフィルタ

  • FBAR

  • RF-MEMS

  • ScAlN

  • スパッタリング

  • イオンビーム

  • 圧電デバイス

  • 弾性表面波

  • ZnO

  • SAW

  • センサ

  • 薄膜

  • 配向制御

▼全件表示

論文

  • Measurement of antiresonant frequency during DC bias voltage application for analysis of second harmonic response of ScAlN on SMR

    Takumi Soutome, Takahiko Yanagitani

    2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020)     1 - 4  2020年09月  [査読有り]

    DOI

  • GHz BAW Piezoelectric Transformers with High Voltage Gain using the Combination of High and Low Dielectric Constant Thin Films

    Sarina Kinoshita, Takahiko Yanagitani

    2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020)     1 - 4  2020年09月  [査読有り]

    DOI

  • Enhancement of GHz electromechanical coupling coefficient kt2 of MgZnO and CaZnO thin film BAW resonators

    Kota Izumi, Takahiko Yanagitani

    2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020)     1 - 3  2020年09月  [査読有り]

    DOI

  • Experimental and theoretical investigation of kt2and mechanical quality factor Qm in YbAlN films using DFT

    Naoya Iwata, Sarina Kinoshita, Junjun Jia, Masashi Suzuki, Takahiko Yanagitani

    2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020)     1 - 2  2020年09月  [査読有り]

    DOI

  • Zig-zag ScAlN multilayer SMR for high power BAW fileter application such as RF base station

    Yusuke Sato, Takahiko Yanagitani

    2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020)     1 - 3  2020年09月  [査読有り]

    DOI

  • Self-Standing FBAR Transformer based on Shear Mode Zig-zag ScAlN Multilayer for Rectenna Application

    Sarina Kinoshita, Takahiko Yanagitani

    2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020)     1 - 4  2020年09月  [査読有り]

    DOI

  • Extraction of kt2 of piezoelectric film/substrate structure by conversion loss derived by electromagnetic signal including no acoustic losses

    Ryota Tatsumi, Takahiko Yanagitani

    2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020)     1 - 3  2020年09月  [査読有り]

    DOI

  • Deterioration in the piezoelectric property of ScAlN thin films by negative ion bombardment increased in low-pressure sputtering deposition

    Takumi Tominaga, Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani

    2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020)     1 - 4  2020年09月  [査読有り]

    DOI

  • Accurate Extraction of kt2 of Piezoelectric Film/Substrate Structure by Conversion Loss Method Subtracting Experimental Acoustic Losses in the Substrate

    Ryota Tatsumi, Takahiko Yanagitani

    2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020)     1 - 3  2020年09月  [査読有り]

    DOI

  • c-Axis oriented ScAlN/SiO2 multilayer BAW transformer for rectifying antenna applications

    Kota Izumi, Takahiko Yanagitani

    2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020)     1 - 4  2020年09月  [査読有り]

    DOI

  • ScAlN Nano-Rods Structure Thin Film Grown by a Self-Shadowing Oblique Sputtering for High Electromechanical Coupling Transducer Applications

    Takumi Soutome, Takahiko Yanagitani

    2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020)     1 - 4  2020年09月  [査読有り]

    DOI

  • Extracting mechanical Q factor of the pure AlN, ScAlN, and ZnO films without etching substrate

    Naoya Iwata, Sarina Kinoshita, Takahiko Yanagitani

    2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020)     1 - 2  2020年09月  [査読有り]

    DOI

  • Giga-Hertz Piezoelectric Epitaxial PZT/La-SrTiO3 Transducer for the Application of Fingerprint Imaging

    Yusuke Sato, Takahiko Yanagitani

    2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020)     1 - 3  2020年09月  [査読有り]

    DOI

  • Ion beam induced a-axis in-plane oriented c-axis oriented AlN thin film growth for high-Q BAW resonator application

    Chiaki Masamune, Takahiko Yanagitani

    2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2019)     1127 - 1128  2019年10月  [査読有り]

    DOI

  • Effect of negative ions generation from sputtering target on crystalline orientation and kt2 of ScAlN thin films

    Rui Kihara, Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani

    2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2019)     1120 - 1123  2019年10月  [査読有り]

    DOI

  • Improvement of c-Axis Parallel Orientaition of ZnO film on Silica Glass Pipes with Various Diameters for SH-SAW Pipe Sensor

    Takuya Wakabayashi, Shinji Takayanagi, Mami Matukawa, Yuta Takamura, Takahiko Yanagitani

    2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2019)     671 - 674  2019年10月  [査読有り]

    DOI

  • A method to estimate kt2 of piezoelectric films from the change of lattice strain by XRD without removing substrate

    Takumi Soutome, Takahiko Yanagitani

    2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2019)     301 - 304  2019年10月  [査読有り]

    DOI

  • Shear Mode Polarity Inverted ScAlN Multilayer for Application to BAW Transformer in Rectifying Antenna

    Sarina Kinoshita, Takahiko Yanagitani

    2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2019)     1118 - 1119  2019年10月  [査読有り]

    DOI

  • A Method for Extracting Mechanical Q Factor of the Piezoelectric Film without Etching Substrate

    Sarina Kinoshita, Takahiko Yanagitani

    2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)     229 - 300  2019年10月  [査読有り]

    DOI

  • Frequency-switchable polarity-inverted BAW resonators based on electric-field-induced piezoelectric PMN-PT/PZT epitaxial film stacks

    Takahiro Shimidzu, Takahiko Yanagitani

    Journal of Applied Physics   126 ( 11 ) 114104 - 114104  2019年09月  [査読有り]

    DOI

  • ScAlN圧電薄膜の高品質化に向けたScAl合金スパッタターゲットから発生する負イオンの抑制~電子ビーム溶融、アーク溶融、焼結ScAl合金ターゲットの比較~

    柳谷隆彦

    真空ジャーナル     11 - 15  2019年09月

  • Frequency-switchable polarity-inverted BAW resonators based on PZT/PTO epitaxial films using difference in coercive field

    Takahiro Shimidzu, Takeshi Mori, Takahiko Yanagitani

    Applied Physics Letters   114 ( 21 ) 212902 - 212902  2019年05月  [査読有り]

    DOI

  • “Ultrasonically induced electrical potentials in demineralized bovine cortical bone,”

    S. Mori, T. Makino, D. Koyama, S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa

    AIP Advances   8 ( 4 ) 45007  2018年04月  [査読有り]

    DOI

  • “Temperature characteristics of ScAlN/SiO2 BAW resonators,”

    H.Igeta, M. Totsuka, M. Suzuki, T. Yanagitani

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.    2018年  [査読有り]

  • “A new method for extracting Qfactor of the piezoelectric film without removing substrate,”

    S. Kinoshita, M. Totsuka, R. Karasawa, T. Yanagitani

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.    2018年  [査読有り]

  • “Investigation of morphotropic phase boundary in sputter-grown Pb(Zrx, Ti1-x)O3 epitaxial films,

    R. Noda, T. Shimidzu, K. Wasa, T. Yanagitani

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.    2018年  [査読有り]

  • “High efficiency ultrasonic transducer using polarity inverted ZnO thin film,”

    T. Majima, T. Shimidzu, T. Yanagitani

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.    2018年  [査読有り]

  • “ScAlN free-standing 0.1mm plates with 30-50 MHz resonance frequency,”

    C. Masamune, R. Karasawa, T. Yanagitani

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.    2018年  [査読有り]

  • “PZT epitaxial thick film for ultrasonic transducer at frequencies below 100MHz,”

    Y. Mazuda, T. Shimidzu, T. Yanagitani

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.    2018年  [査読有り]

  • “The influence of negative ions generation on the arc-melted and hot press sintered ScAlN alloy targets to the crystalline orientation and kt2 of the ScAlN films,”

    Y. Endo, R. Karasawa, S. Takayanagi, M.Imakawa, K. Morisaka, T. Yanagitani

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.    2018年  [査読有り]

  • “c-axis tilted ScAlN film shear mode resonators for biosensing,”

    H. Yazaki, T. Sotome, S. Takayanagi, K. Yoshida, T. Yanagitani

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.    2018年  [査読有り]

  • “Evaluation of viscoelactic properties of liquids based on the oblique incidence technology using shear horizontal waves at frequencies above 100 megahertz from c-axis tilted ScAlN thin films,”

    Y. Yamakawa, T. Yanagitani

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.    2018年  [査読有り]

  • “Extraction of electromechanical coupling coefficient of film / substrate structure by using the ration of a third mode resonant frequency to a fundamental mode resonant frequency,”

    M. Totsuka, T. Yanagitani

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.    2018年  [査読有り]

  • “DC-induced piezoelectric cubic PMN-PT/piezoelectric tetragonal PZT epitaxial stack polarity inverted resonators for frequency switchable filters,”

    T. Shimidzu, T. Yanagitani

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.    2018年  [査読有り]

  • “Polarity inverted ScAlN multilayer for application to transformer in rectifying antenna,”

    R. Karasawa, T. Yanagitani

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.    2018年  [査読有り]

  • “Rapid wave velocity measurement by Brillouin scattering using coherent phonons induced by ScAlN piezoelectric thin-film transducer,”

    M. Kawabe, S. Takayanagi, H, Ichihashi, M. Suzuki, T. Yanagitani, M. Matsukawa

    IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq.Contr.    2018年  [査読有り]

  • "ScAlN thick film ultrasonic transducer in 40 MHz ?80 MHz,”

    K-H. Sano, R. Karasawa, T. Yanagitani

    IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq.Contr.    2018年  [査読有り]

  • “Effect of anisotropy on stress-induced electrical potentials in bovine bone using ultrasound irradiation,”

    S. Matsukawa, T. Makino, S. Mori, D. Koyama, S. Takayanagi, K. Mizuno, T. Yanagitani, M. Matsukawa

    Appl. Phys. Lett.   110 ( 14 ) 143701  2017年04月  [査読有り]

    DOI

  • “Effects of microstructure and water on the electrical potentials in bone induced by ultrasound irradiation,”

    S. Tomita, T. Yanagitani, S. Takayanagi, H. Ichihashi, Y. Shibagaki, H. Hayashi, M. Matsukawa

    J. Appl. Phys.?   121   235102  2017年  [査読有り]

  • “Quantitative thickness measurement of polarity-inverted piezoelectric thin-film layer by scanning nonlinear dielectric microscopy,”

    H. Odagawa, K. Terada, Y. Tanaka, H. Nishikawa, T. Yanagitani, Y. Cho

    Jpn. J. Appl. Phys.   56   10PF18  2017年  [査読有り]

  • “Acoustic wave velocities and refractive indices in an m-plane GaN single crystal plate and c-axis oriented ScAlN films measured by Brillouin scattering tecniques,”

    H. Ichihashi, T. Yanagitani?M. Suzuki, S. Takayanagi, M. kawabe, S. Tomita, M. Matsukawa?

    IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq.Contr.   63 ( 5 ) 717 - 725  2016年05月  [査読有り]

    DOI

  • 「Al極性ScAlNとO極性ZnO薄膜を用いた多層構造の高効率超音波トランスデューサ」

    森剛志, 柳谷隆彦

    超音波テクノ(日本工業出版)   29   84 - 87  2016年

  • “Method for measuring polarity-inverted layered structure in dielectric thin films using scanning nonlinear dielectric microscopy ”

    H. Odagawa, K. Terada, H. Nishikawa, T. Yanagitani, Y. Cho

    Ferroelectrics   498 ( 1 ) 47 - 51  2016年  [査読有り]

    DOI

  • Shear mode properties of c-axis parallel oriented Sc<inf>x</inf>Al<inf>1-x</inf>N films grown by RF bias sputtering

    Shinji Takayanagi, Mami Matsukawa, Takahiko Yanagitani

    2015 IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS 2015    2015年11月

     概要を見る

    © 2015 IEEE. Because the increase of piezoelectricity was found in Sc heavily doped AlN films, they have been well studied. Many researchers investigate the properties of the longitudinal mode bulk acoustic wave with c-axis normally oriented ScAlN films. However, there are few reports on the shear mode properties because of difficulties in growth of c-axis parallel oriented ScAlN films which can excite shear mode bulk acoustic wave. In this study, we demonstrated the film growth of c-axis parallel oriented ScAlN using RF substrate bias RF magnetron sputtering method. As a result of X-ray diffraction analyses, we obtained c-axis parallel oriented AlN, Sc0.05Al0.95N and Sc0.13Al0.87N films. Then, High overtone bulk acoustic wave resonators were fabricated with these films. They excited shear mode bulk acoustic wave, but shear mode conversion losses were large (more than 20 dB). It is necessary to obtain highly-crystallized ScAlN films.

    DOI

  • Fast wave velocity measurement by Brillouin scattering using coherent induced phonon from ScAlN piezoelectric thin film

    Masahiko Kawabe, Hayato Ichihashi, Shinji Takayanagi, Mami Matsukawa, Takahiko Yanagitani, Masashi Suzuki

    2015 IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS 2015    2015年11月

     概要を見る

    © 2015 IEEE. Brillouin scattering is a nondestructive and noncontact technique to measure local longitudinal and shear acoustic velocities in the GHz range. However, the measurements of weak scattering from thermal phonons result in the lower measurement accuracy and longer measurement time. To overcome this problem, a technique with artificially induced acoustic phonons was developed using a ScAlN film. We observed Brillouin scattering by induced longitudinal coherent phonons from ScAlN film deposited on the side surface of a silica bulk specimen. The intensity of induced acoustic phonons was experimentally studied.

    DOI

  • “High-Tc/high-coupling relaxed PZT-based single crystal thin films,”

    K. Wasa, T. Matsushima, H. Adachi, T. Matsunaga, T. Yanagitani, T. Yamamoto

    J. Appl. Phys.   117 ( 12 ) 124106  2015年03月  [査読有り]

    DOI

  • “Effects of microstructure and water on the electrical potentials in bone induced by ultrasound irradiation,”

    H. Tsuneda, S. Matsukawa, S. Takayanagi, K. Mizuno, T. Yanagitani, M. Matsukawa

    Appl. Phys. Lett.   106 ( 7 ) 73704  2015年02月  [査読有り]

    DOI

  • 1P5-4 皮質骨中における超音波誘発電位に関する検討

    松川 沙弥果, 森 駿貴, フォタネル エロディー, 眞野 功, 水野 勝紀, 柳谷 隆彦, 高柳 真司, 松川 真美

    超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集   36 ( 0 ) _1P5 - 4-1_-_1P5-4-2_  2015年  [査読有り]

    DOI CiNii

  • “High Tc /High Coupling Perovskite Thin Films,”

    K. Wasa, T. Matsushima, H. Adachi, T. Matsunaga, T. Yanagitani, T. Yamamoto

    Proc. IEEE ISAF/IWATMD/PFM     1 - 4  2014年10月  [査読有り]

    DOI

  • ?“Electromechanical coupling and gigahertz elastic properties of ScAlN films near phase boundary,”

    T. Yanagitani, M. Suzuki

    Appl. Phys. Lett.   105 ( 12 ) 122907  2014年09月  [査読有り]

    DOI

  • “Gigahertz acoustic wave velocities measurement in GaN single crystals considering acousto-electric effect,”

    H. Ichihashi?T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Kawabe, M. Matsukawa?

    IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr.   61 ( 8 ) 1307 - 1313  2014年08月  [査読有り]

    DOI

  • “Polarity-inverted ScAlN film growth by ion beam irradiation and application to overtone acoustic wave (000-1)/(0001) film resonators”

    M. Suzuki, T. Yanagitani, H. Odagawa

    Appl. Phys. Lett.   104 ( 17 ) 172905-1 - 172905-4  2014年04月  [査読有り]

    DOI

  • “Enhanced piezoelectricity in YbGaN films near phase boundary,”

    T. Yanagitani, M. Suzuki

    Appl. Phys. Lett.   104 ( 8 ) 082911-1 - 082911-4  2014年02月  [査読有り]

    DOI

  • “Second harmonic mode polarization inverted resonator consisting of PbTiO3 thin film,”

    K. Katada, T. Yanagitani, M, Suzuki, K. Wasa

    Proc. IEEE Freq. Contr. Symp.     119 - 120  2014年  [査読有り]

  • “High electromechanical coupling in PZT epitaxial thick film resonators at 550 oC,”

    T. Yanagitani, K. Katada, M, Suzuki, K. Wasa

    Proc. IEEE Freq. Contr. Symp.     121 - 123  2014年  [査読有り]

  • “Effect of Sc concentration on shear wave velocities in ScAlN films measured by micro-Brillouin scattering technique,”

    H. Ichihashi, T. Yanagitani, M. Suzuki, S. Takayanagi, M. Matsukawa

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.     2521 - 2524  2014年  [査読有り]

    DOI

  • “Multiple shear wave roundtrips liquid sensor by c-axis parallel oriented ZnO film/silica glass pipe structure,”

    S. Hiyama, T. Yanagitani, S. Takayanagi, Y. Kato, M. Matsukawa

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.     765 - 768  2014年  [査読有り]

    DOI

  • “Significant shear mode softening in c-axis tilt nanostructured hexagonal thin film induced by self-shadowing effect,”

    T. Yanagitani, M. Suzuki

    Scripta mater.   69 ( 10 ) 724 - 727  2013年11月  [査読有り]

    DOI

  • “Electrical potentials in bone induced by ultrasound irradiation in the Megahertz range,”

    M. Okino, S. Coutelou, K. Mizuno, T. Yanagitani, M. Matsukawa

    Appl. Phys. Lett.   103 ( 10 ) 103701-1 - 103701-4  2013年09月  [査読有り]

    DOI

  • “A method for predicting thickness of unoriented layer in ZnO film using piezoelectricity distribution in depth direction,”

    S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa

    J. Phys. D: Appl. Phys.   46 ( 31 ) 315305-1 - 315305-5  2013年08月  [査読有り]

    DOI

  • “PZT-based high coupling with low permittivity thin films,”

    K. Wasa, T. Matsushima, H. Adachi, T. Matsunaga, M. Suzuki, T. Yanagitani, T. Yamamoto, S. Yoshida, S. Tanaka, S. Trolier-McKinstry

    Proc. 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symp.     69 - 72  2013年  [査読有り]

    DOI

  • ?“Effect of metal mode and oxide mode on unusual c-axis parallel oriented ZnO film growth on Al/glass substrate in a reactive magnetron sputtering of Zn target,”

    S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa

    J. Cryst. Growth   363   22 - 24  2013年  [査読有り]

    DOI

  • “High-performance Brillouin spectroscopy of phonons induced by a piezoelectric thin film with a coaxial microwave resonator,”

    H. Sano, T. Yanagitani, S. Takayanagi, T. Sugimoto, M. Matsukawa

    IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr.?   60 ( 5 ) 873 - 876  2013年  [査読有り]

    DOI

  • “Unusual growth of polycrystalline oxide film induced by negative ion bombardment in the capacitively coupled plasma deposition,”

    S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa

    Appl. Phys. Lett.   101 ( 23 ) 232902-1 - 232902-3  2012年12月  [査読有り]

    DOI

  • “Wideband multimode transducer consisting of c-axis tilted ZnO / caxis normal ZnO multilayer, “

    S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa

    Jpn. J. Appl. Phys.   51 ( 7 ) 07GC08  2012年07月  [査読有り]

    DOI

  • “Relationships between the anisotropy of longitudinal wave velocity and hydroxyapatitecrystallite orientation in bovine cortical bone,”

    K. Yamamoto, T. Nakatsuji, Y. Yaoi, Yu. Yamato, T. Yanagitani, K. Yamazaki, M. Matsukawa, Y. Matsuyama

    Ultrasonics   52 ( 3 ) 377 - 386  2012年03月  [査読有り]

    DOI

  • “Fast hypersonic velocity measurement by Brillouin scattering from induced phonons”

    T. Sugimoto, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.     2187 - 2190  2012年  [査読有り]

    DOI

  • “Polarization inverted (0001) / (000-1) ScAlN film resonators operating in second overtone mode,”

    M. Suzuki, T. Yanagitani, H. Odagawa

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.     1922 - 1924  2012年  [査読有り]

  • “Texture modification of wurtzite piezoelectric films by ion beam irradiation,“

    T. Yanagitani, M. Kiuchi

    Surf. Coat. Technol   206 ( 5 ) 816 - 819  2011年11月  [査読有り]

    DOI

  • “Three-Dimensional anisotropy of ultrasonic wave velocity in bovine cortical bone: Effects of hydroxyapatite crystallites orientation and microstructure,”

    Nakatsuji, K. Yamamoto, D. Suga, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki, Y. Matsuyama

    Jpn. J. Appl. Phys.   50 ( 7 ) 07HF18-1 - 07HF18-6  2011年07月  [査読有り]

    DOI

  • “Observation of induced longitudinal and shear acoustic phonons by Brillouin scattering,”

    T. Yoshida, T. Yanagitani, M. Matsukawa

    IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr.   58 ( 6 ) 1255 - 1260  2011年06月  [査読有り]

    DOI

  • “c-axis zig-zag ZnO film ultrasonic transducers for designing longitudinal and shear wave resonant frequencies and modes,”

    T. Yanagitani, N. Morisato, S. Takayanagi, M. Matsukawa, Y. Watanabe

    IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr.   58 ( 5 ) 1062 - 1068  2011年05月  [査読有り]

    DOI

  • 「RFバイアススパッタ法による簡便なc軸平行配向ZnO膜の形成--RFバイアスを用いたイオン照射による結晶配向制御」

    高柳 真司, 松川真美, 渡辺好章, 柳谷隆彦

    超音波テクノ(日本工業出版)   22   59 - 62  2011年

  • 「c軸平行配向AlN薄膜を用いた極性反転すべり共振子」

    鈴木雅視, 柳谷隆彦

    超音波テクノ(日本工業出版)   23   40 - 44  2011年

  • “Quantitative analysis of the effect of energetic particle bombardment during deposition on (11-20) ZnO piezoelectric films,”

    S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.     2317 - 2320  2011年  [査読有り]

    DOI

  • “Brillouin scattering from induced phonons excited by the ZnO piezoelectric thin film with a coaxial resonator,”

    T. Sugimoto, H. Sano, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.     1099 - 1102  2011年  [査読有り]

    DOI

  • “c-axis parallel oriented ZnO film SH-SAW sensor for electrical conductivity measurement in liquid,”

    Y. Nakahigashi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.     810 - 813  2011年  [査読有り]

    DOI

  • “Polarizaion-inverted multilayered pure shear mode AlN film resonator,”

    M. Suzuki, T. Yanagitani

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.     312 - 315  2011年  [査読有り]

    DOI

  • “c-axis parallel oriented AlN film resonator fabricated by ion-beam assisted RF magnetron sputtering,”

    M. Suzuki, T. Yanagitani

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.     1230 - 1233  2011年  [査読有り]

    DOI

  • “A method for measuring in-plane unidirectional electrical properties in a wide band-gap semiconductor using a Brillouin scattering method,”

    T. Yanagitani, H. Sano, M. Matsukawa

    J. Appl. Phys.   108 ( 2 ) 024910-1 - 024910-4  2010年07月  [査読有り]

    DOI

  • 「(11-20)配向AlN薄膜を用いた純横波モード共振子」

    柳谷隆彦, 木内正人, 松川真美

    超音波テクノ(日本工業出版)   22   46 - 49  2010年

  • 「c軸傾斜反転配向ZnO多層膜の作製」

    守里直希, 高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章

    超音波テクノ(日本工業出版)   22   60 - 65  2010年

  • “A simple technique for obtaining (11-20) or (10-10)textured ZnO films by RF bias sputtering”

    S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.     1060 - 1063  2010年  [査読有り]

    DOI

  • “Deposition techniques of c-axis-tilted ScAlN films by conventional RF magnetron sputtering,”

    K. Arakawa, T. Yanagitani, K. Kano, A. Teshigahara, M. Akiyama

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.     1050 - 1053  2010年  [査読有り]

    DOI

  • “Influence of shadowing effect on shear mode acoustic properties in the c-axis tilted AlN films,”

    M Suzuki, T. Yanagitani

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.     1478 - 1481  2010年  [査読有り]

    DOI

  • “Giant shear mode electromechanical coupling coefficient k15 in c-axis tilted ScAlN films”

    T. Yanagitani, K. Arakawa, K. Kano, A. Teshigahara, M. Akiyama

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.     2095 - 2098  2010年  [査読有り]

    DOI

  • “Large-area growth of in-plane oriented (11-20) ZnO films by linear cathode magnetron sputtering,”

    T. Kawamoto, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe, Y. Mori, S. Sasaki, M. Oba

    Jpn. Appl. Phys.   49 ( 7 ) 07HD16-1 - 07HD16-4  2010年  [査読有り]

    DOI

  • “Anisotropy of longitudinal wave velocity and hydroxyapatite orientation in bovine cortical bone,”

    Y. Yaoi, K. Yamamoto, T. Nakatsuji, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki, A. Nagano

    Jpn. J. Appl. Phys.   48 ( 7 ) 07GK06-1 - 07GK06-4  2009年07月  [査読有り]

    DOI

  • 「Brillouin散乱法による圧電半導体の面内方向抵抗率評価に関する検討」

    柳谷隆彦, 吉田泰祐, 佐野 広幸, 松川真美

    超音波テクノ(日本工業出版)   21   35 - 38  2009年

  • “Multilayered shear wave resonator consisting of c-axis tilted ZnO films,”

    N. Morisato, S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.     2162 - 2165  2009年  [査読有り]

    DOI

  • “Measurement of electric properties in a ZnO single crystal via electromechanical coupling using Brillouin scattering method,”

    T. Yanagitani, H. Sano, M. Matsukawa

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.     1074 - 1077  2009年  [査読有り]

    DOI

  • “Distribution of longitudinal wave velocity and hydroxyapatite crystallite orientation in bovine cortical bone,”?

    Y. Yaoi, K. Yamamoto, Y. Yamato, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki, A. Nagano

    Acoust. Sci. & Tech.   30 ( 4 ) 306 - 309  2009年  [査読有り]

    DOI

  • “Propagation characteristics of shear horizontal surface acoustic wave in (11-20) ZnO film/silica glass substrate structures,”

    A. Tanaka, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe

    IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr.   55 ( 12 ) 2709 - 2713  2008年12月  [査読有り]

    DOI

  • Observation of induced shear acoustic phonons by Brillouin scattering

    T. Yoshida, S. Murata, T. Yanagitani, M. Matsukawa

    Proceedings - Acoustics 08     4605 - 4609  2008年12月

     概要を見る

    In order to overcome the low accuracy of velocity measurements by Brillouin scattering, we have tried to make use of the induced coherent phonons, which brings intense Brillouin scattering peaks. To induce phonons, we used a tilted ZnO film transducer developed in our laboratory. As a result, we obtained the intense Stokes peak in the silica glass sample which was much larger than that obtained from the thermal phonons. Because Brillouin scattering enables the simultaneous measurement of longitudinal and shear phonons velocities, this technique opens the new feature for the non-destructive elasticity measurement.

  • “Distribution of hydroxyapatite crystallites orientation and longitudinal wave velocity in ring-shaped cortical bone of bovine femur,”

    Y. Yamato, M. Matsukawa, H. Mizukawa, T. Yanagitani, K. Yamazaki, A. Nagano

    IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr.   55 ( 6 ) 1298 - 1303  2008年06月  [査読有り]

    DOI

  • “Ultrasonic wave properties in the bone axis direction of bovine cortical bone,”

    K. Yamamoto, Y. Yaoi, Y. Yamato, H. Mizukawa, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki, A. Nagano

    Jpn. J. Appl. Phys.   47 ( 5 ) 4096 - 4100  2008年05月  [査読有り]

    DOI

  • 「c軸傾斜配向ZnO膜の開発〜高い横波変換効率の実現〜」

    松尾卓也, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章

    超音波テクノ(日本工業出版)   20   75 - 78  2008年

  • 「イオン照射によるZnO圧電膜の配向制御に関する検討」

    柳谷隆彦, 木内正人

    超音波テクノ(日本工業出版)   20   67 - 70  2008年

  • Pure-shear mode BAW resonators consisting of (11-20) textured ZnO films,”

    T. Yanagitani, M. Kiuch, M. Matsukawa, Y. Watanabe

    Acoustics 08 Paris     4987 - 4992  2008年  [査読有り]

  • “Electromechanical coupling coefficient of semiconducting hexagonal crystal measured by Brillouin scattering,”

    T. Yanagitani, Y. Yoshida, M. Matsukawa

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.     1487 - 1490  2008年  [査読有り]

    DOI

  • “Pure-shear mode BAW resonator consisting of (10-10) and (11-20) textured AlN films,”

    T. Yanagitani, M. Kiuchi

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.     90 - 93  2008年  [査読有り]

    DOI

  • “Effect of hydroxyapatite crystallites orientation on ultrasonic wave velocities in bovine cortical bone,”

    Y. Yamato, M. Matsukawa, K. Yamazaki, H. Mizukawa, T. Yanagitani, A. Nagano

    Calcif. Tissue. Int.   82 ( 2 ) 162 - 169  2008年  [査読有り]

    DOI

  • “Highly oriented ZnO thin films deposited by grazing ion-beam sputtering: application to acoustic shear wave excitation in the GHz range,”

    T. Yanagitani, M. Kiuchi

    Jpn. J. Appl. Phys.   46 ( 45-49 ) L1167 - L1169  2007年12月  [査読有り]

    DOI

  • “Characteristics of pure-shear mode BAW resonators consisting of (11-20) textured ZnO films,”

    T. Yanagitani, M. Kiuchi, M. Matsukawa, Y. Watanabe

    IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr.   54 ( 8 ) 1680 - 1686  2007年08月  [査読有り]

    DOI

  • “Control of in-plane and out-of-plane texture in shear mode piezoelectric ZnO films by ion-beam irradiation,”

    T. Yanagitani, M. Kiuchi

    J. Appl. Phys.   102 ( 4 ) 044115-1 - 044115-7  2007年08月  [査読有り]

    DOI

  • “Observation of induced shear acoustic phonons by Brillouin scattering,”

    S. Murata, T. Kawamoto, M. Matsukawa, T. Yanagitani, N. Ohtori

    Jpn. J. Appl. Phys.   46 ( 7B ) 4626 - 4628  2007年07月  [査読有り]

    DOI

  • “Effects of sputtering gas conditions on formation of (11-20) textured ZnO films,”

    T. Kawamoto, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe

    Jpn. J. Appl. Phys.   46 ( 7B ) 4660 - 4664  2007年07月  [査読有り]

    DOI

  • “Shear-mode electromechanical coupling coefficient k15 and crystallites alignment of (11-20) textured ZnO films,”

    T. Yanagitani, M. Kiuchi, M. Matsukawa, Y. Watanabe

    J. Appl. Phys.   102 ( 2 ) 024110-1 - 024110-7  2007年07月  [査読有り]

    DOI

  • “Electromechanical coupling coefficient k15 of polycrystalline ZnO films with the c-axes lie in the substrate plane,"

    T. Yanagitani, N. Mishima, M. Matsukawa, Y. Watanabe

    IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr.   54 ( 4 ) 701 - 704  2007年04月  [査読有り]

    DOI

  • 「面内配向ZnO膜のSH型SAW伝搬特性」

    田中厚志, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章

    超音波テクノ(日本工業出版)   19  2007年

  • “Propagation characteristics of SH-SAW in (11-20) ZnO layer/silica glass substrate structures,”

    A. Tanaka, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.     280 - +  2007年  [査読有り]

    DOI

  • “Highly oriented c-axis 23° tilted ZnO films with high quasi-shear mode electromechanical coupling coefficients,”

    T. Matsuo, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.     1229 - 1232  2007年  [査読有り]

    DOI

  • “Ion beam sputter-deposited ZnO thin film for broadband shear wave excitation in the GHz range,”

    T. Yanagitani, M. Kiuchi

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.     1413 - +  2007年  [査読有り]

    DOI

  • “Thin film stack transducer for simultaneous generation of longitudinal and shear waves at same frequency,”

    T. Yanagitani, T. Matsuo, M. Matsukawa, Y. Watanabe

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.     1874 - +  2007年  [査読有り]

    DOI

  • “Film growth of c-axis tilted ScAlN on the sapphire substrate for SAW devices,”

    S. Tokuda, S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.     1 - 4  2007年  [査読有り]

  • “The frequency wwitchable multi-layered BST/BaTiO3 epitaxial film resonator,”

    S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.     1 - 4  2007年  [査読有り]

  • “High electromechanical coefficient kt 2=19% thick ScAlN piezoelectric films for ultrasonic transducer in low frequency of 80 MHz,”

    K-h. Sano, R. Karasawa, T. Yanagitani

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.     1 - 4  2007年  [査読有り]

  • “A new type wide-frequency-range shear viscosity sensor using caxis tilted ScAlN thin film on temperature Stable AT-cut quartz thick plate,”

    Y. Yamakawa, K-h. Sano, R. Karasawa, T. Yanagitani

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.     1 - 4  2007年  [査読有り]

  • “C-axis zig-zag polarization inverted ScAlN multilayer for FBAR transformer rectifying antenna,”

    R. Karasawa, T. Yanagitani

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.     1 - 4  2007年  [査読有り]

  • “Temperature characteristics of pure shear mode FBARs consisting of (11-20) textured ZnO films,”

    T. Yanagitani, M. Kiuchi, M. Matsukawa, Y. Watanabe

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.   1   1459 - 1462  2006年  [査読有り]

    DOI

  • “Electromechanical coupling coefficient k15 and crystallites alignment of (11-20) textured ZnO film,”

    T. Yanagitani, M. Kiuchi, M. Matsukawa, Y. Watanabe

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.     1463 - 1466  2006年  [査読有り]

  • “Rapid and simultaneous measurement of longitudinal and shear wave velocities by Brillouin scattering from artificially induced phonons,”

    M. Kawabe, Y. Shibagaki, M. Matsukawa, T. Yanagitani, M. Suzuki, S .Takayanagi

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.     1 - 4  2006年  [査読有り]

    DOI

  • “Effects of energetic negative ions generated from sputtering targets on ScAlN film growth,”

    S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.     1 - 4  2006年  [査読有り]

    DOI

  • “Effect of sputtering geometry on the (11-20) textured ZnO piezofilm,”

    Y. Miyamoto, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe

    Acoust. Sci. & Tech.   27 ( 1 ) 53 - 55  2006年  [査読有り]

    DOI

  • “Conversion characteristics of the shear wave transducer made of unidirectionally aligned ZnO film in plane,”

    T. Nohara, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe

    Jpn. J. Appl. Phys.   45   4201 - 4203  2006年  [査読有り]

    DOI

  • “Characteristics of (10-10) and (11-20) textured ZnO piezofilms for a shear mode resonator in the VHF-UHF frequency ranges,”

    T. Yanagitani, T. Nohara, M. Matsukawa, Y. Watanabe, T. Otani

    IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr.   52 ( 11 ) 2140 - 2145  2005年11月  [査読有り]

    DOI

  • “Formation of uniaxially (11-20) textured ZnO film on glass substrates,”

    T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe, T. Otani

    J. Cryst. Growth   276 ( 3-4 ) 424 - 430  2005年04月  [査読有り]

    DOI

  • “Electromechanical coupling coefficient k15 of (11-20) textured ZnO films,”

    T. Yanagitani, N. Mishima, M. Matsukawa, Y. Watanabe

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.     1824 - 1827  2005年  [査読有り]

    DOI

  • “Fast wave velocity measurement by Brillouin scattering using coherent induced phonon from ScAlN piezoelectric thin film,”

    M. Kawabe, H. Ichihashi, S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.    2005年  [査読有り]

  • “Shear mode properties of c-axis parallel oriented ScxAl1-xN films grown by RF bias sputtering,”

    S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.    2005年  [査読有り]

  • “Characterizations of (11-20) textured ZnO films fabricated by RF magnetron sputtering,”

    T. Yanagitani, S. Tomohiro, T. Nohara, M. Matsukawa, Y. Watanabe, T. Otani

    Jpn. J. Appl. Phys.   43 ( 5B ) 3004 - 3007  2004年05月  [査読有り]

    DOI

  • “Shear wave transducer using (11-20) textured ZnO film,”

    T. Yanagitani, T. Nohara, M. Matsukawa, Y. Watanabe, T. Otani

    Proc. IEEE Ultrason. Symp.     906 - 909  2004年  [査読有り]

▼全件表示

書籍等出版物

  • 次世代医療・ヘルスケア機器のデバイス技術と最新開発事例集

    技術情報協会  2014年05月

  • 次世代医療・ヘルスケア機器のデバイス技術と最新開発事例集

    技術情報協会  2014年05月

  • Acoustic Waves - From Microdevices to Helioseismology Chapter 22 Shear Mode Piezoelectric Thin Film Resonators pp.501-520

    Intech  2011年10月 ISBN: 9789533075723

Misc

  • AlNとScAlNにおける非線形性に起因するDCバイアス時の周波数シフトおよび格子ひずみの比較

    五月女巧, 柳谷隆彦

    電子情報通信学会技術研究報告   120 ( 222 ) 34 - 39  2020年

  • 低圧スパッタ成膜で増大する負イオン照射がScAlN薄膜の結晶性と圧電性に及ぼす影響

    冨永卓海, 髙柳真司, 柳谷隆彦

    電子情報通信学会技術研究報告   120 ( 222 ) 1 - 6  2020年

  • ZnO薄膜を用いた厚みすべりモード共振子の作製と液体負荷時の周波数特性

    宮田昌哉, 高柳真司, 松川真美, 柳谷隆彦

    電子情報通信学会技術研究報告   119   33 - 37  2019年

  • 擬似すべりモードc軸傾斜配向ScAlN圧電薄膜を用いた複素反射率法による液体試料の粘弾性評価

    天野凌輔, 山川愉生, 柳谷隆彦

    電子情報通信学会技術研究報告   119   19 - 23  2019年

  • 「周波数スイッチナブルフィルタを目指した常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピ膜音響共振子」

    清水貴博, 柳谷隆彦

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 48, pp. 29-34 (2018).   118 ( 48 ) 29 - 34  2018年

  • 「レクテナ昇圧素子への応用を目指したc軸ジグザグ配向ScAlN多層圧電薄膜共振子」

    唐澤嶺, 柳谷隆彦

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 48, pp. 23-27 (2018).   118 ( 48 ) 23 - 27  2018年  [査読有り]

  • 「c軸傾斜配向厚みすべりモードScAlN薄膜共振子を用いた液体中生体分子相互作用の検出」

    矢崎花, 五月女巧, 唐澤嶺, 高柳真司, 吉田憲司, 柳谷隆彦

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 229, US2018-53, pp. 31-35 (2018).   118 ( 229 ) 31 - 35  2018年  [査読有り]

  • 「c軸傾斜配向ScAlN薄膜/音響多層膜構造の共振子を用いたUHF帯における液体粘性評価」

    山川愉生, 五月女巧, 唐澤嶺, 柳谷隆彦

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 229, US2018-53, pp. 25-29 (2018).   118 ( 229 ) 25 - 29  2018年  [査読有り]

  • 「基板付き薄膜共振子からの新規kt2評価法と従来法の比較 〜 共振周波数比法、変換損失法、共振スペクトル法、共振反共振法 〜」

    戸塚誠, 柳谷隆彦

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 48, pp. 19-24 (2018).   118 ( 48 ) 19 - 24  2018年  [査読有り]

  • 「分極反転PZT/PTOエピ膜を用いた周波数スイッチナブルなGHz帯共振子」

    清水貴博, 森剛志, 柳谷隆彦

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 229, US2018-53, pp. 13-18 (2018).   118 ( 229 ) 13 - 18  2018年  [査読有り]

  • 「製法の異なるScAl合金スパッタターゲットから発生する負イオンがScAlN薄膜の特性に及ぼす影響 〜 電子ビーム溶融、アーク溶融、焼結ScAl合金ターゲットの比較 〜」

    唐澤嶺, 高柳真司, 遠藤結佳, 今川 誠, 森坂啓介, 鈴木 雄, 柳谷隆彦

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 229, US2018-53, pp. 37-42 (2018).   118 ( 229 ) 37 - 42  2018年  [査読有り]

  • 「電気機械結合係数kt2=19%のScAlN厚膜を用いた低周波帯80MHzトランスデューサ」

    佐野耕平, 唐澤嶺, 柳谷隆彦

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 117, no. 14, US2017-12, pp.59-63, (2017).   117 ( 14 ) 59 - 63  2017年  [査読有り]

  • 「コヒーレントフォノン励起を用いたBrillouin散乱法による縦波・横波音速測定の高速化」

    川部昌彦, 柳谷隆彦, 柴垣慶明, 高柳真司, 鈴木雅視, 松川真美

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 117, no. 155, US2017-44, pp. 71-74, (2017).   117 ( 155 ) 71 - 74  2017年  [査読有り]

  • 「ScAlN薄膜/低TCF基板構造のすべりモード共振子を用いたMHz帯-GHz帯同時粘性評価」

    山川愉生, 佐野耕平, 唐澤嶺, 柳谷隆彦

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 117, no. 155, US2017-42, pp. 61-66, (2017).   117 ( 155 ) 61 - 66  2017年  [査読有り]

  • 「GHz帯で純横波超音波を高効率励振するc軸平行ZnO薄膜トランスデューサ」

    森剛志, 鈴木雅視, 柳谷隆彦

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 116, no. 5, US3026-1, pp.7-12, (2016).   116 ( 5 ) 7 - 12  2016年  [査読有り]

  • 「ScAlN/ZnO極性反転圧電薄膜を用いた2次モード励振超音波トランデューサ」

    森剛志, 鈴木雅視, 柳谷隆彦

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 116, no. 5, US2016-1, pp.1-6, (2016).   116 ( 5 ) 1 - 6  2016年  [査読有り]

  • 「Brillouin光散乱を用いたc軸配向薄膜の音速および常屈折率の同時測定」

    富田昇太, 柳谷隆彦, 鈴木雅視, 高柳真司, 松川真美

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 115, no. 102, pp.23-28, (2015).   115 ( 102 ) 23 - 28  2015年  [査読有り]

  • 「低圧RFマグネトロンスパッタ法によるc軸平行配向ZnO膜の形成とSAW、Lamb波デバイスへの応用」

    高柳真司, 柳谷隆彦, Jean-Claude Gerbedoen, Abdelkrim Talbi, 松川真美, Philippe Pernod

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 115, no. 207, pp.25-30, (2015).   115 ( 207 ) 25 - 30  2015年  [査読有り]

  • 「c軸平行配向ZnO膜/円管石英構造におけるSH波の多重周回伝搬特性と導電率測定への応用」

    日山彰子, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 115, no. 207, pp.19-24, (2015).   115 ( 207 ) 19 - 24  2015年  [査読有り]

  • 「イオンビームアシストRFマグネトロンスパッタ法を用いて作製したc軸平行配向ScAlN薄膜の電気機械結合係数」

    岡峰生, 高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 115, no. 207, pp.31-35, (2015).   115 ( 207 ) 31 - 35  2015年  [査読有り]

  • 「共振法およびBrillouin散乱法で測定したScAlN薄膜の弾性定数テンソルのSc濃度依存性」

    柳谷隆彦, 市橋隼人, 鈴木雅視, 高柳真司, 松川真美

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 115, no. 207, pp.37-42, (2015).   115 ( 207 ) 37 - 42  2015年  [査読有り]

  • 「走査型非線形誘電率顕微法による極性反転層状構造圧電膜の層厚の定量測定」

    趙恩慧, 川部昌彦, 高柳真司, 鈴木雅視, 柳谷隆彦, 松川真美

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 115, no. 246, pp.27-30, (2015).   115 ( 246 ) 27 - 30  2015年  [査読有り]

  • 「非破壊検査用の高分解能超音波プローブ」

    柳谷隆彦, 鈴木雅視, 高柳 真司

    日本音響学会誌   71 ( 5 ) 230 - 238  2015年  [査読有り]

    DOI

  • 「超音波により励起される骨中電位の極性について」

    常田裕子, 松川沙弥果, 眞野功, 水野勝紀, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 114, no. 229, pp. 19-22, (2014).   114 ( 229 ) 19 - 22  2014年  [査読有り]

  • 「PbTiO3エピタキシャル薄膜を用いた二次モード分極反転共振子」

    片田克吉, 柳谷隆彦, 鈴木雅視, 和佐清孝

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 114, no. 263, pp. 29-34, (2014).   114 ( 263 ) 29 - 34  2014年  [査読有り]

  • 「RFマグネトロンスパッタ法における基板へのイオン照射を用いた極性反転ZnO薄膜の作製」

    生駒遼, 柳谷隆彦, 高柳真司, 鈴木雅視, 小田川裕之, 松川真美

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 112, no. 213, pp. 21-25, (2012).   112 ( 213 ) 21 - 25  2012年  [査読有り]

  • 「ZnO圧電薄膜によるGHz域の励起フォノンを利用した高速Brillouin散乱測定」

    杉本剛士, 佐野広幸, 柳谷隆彦, 高柳真司

    電子情報通信学会技術研究報告 vol. 111, no. 158, pp. 15-19, (2011).   111 ( 158 ) 15 - 19  2011年  [査読有り]

  • 「IBAD法を用いたc軸平行配向AlN薄膜の作製および極性反転すべり共振子への応用」

    鈴木雅視, 菅沼信広, 柳谷隆彦

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 111, no. 215, pp. 43-48 (2011)   111 ( 215 ) 43 - 48  2011年  [査読有り]

  • 「c軸平行配向ZnO膜/非晶質基板上を伝搬するSH-SAWの電気機械結合係数」

    中東佑太, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 111, no. 215, pp. 23-26 (2011).   111 ( 215 ) 23 - 26  2011年  [査読有り]

  • 「c軸傾斜配向ScAlN膜の擬似すべりモードにおける巨大圧電性」

    柳谷隆彦, 荒川和樹, 鈴木雅視, 加納一彦, 勅使河原明彦, 秋山守人

    電子情報通信学会技術研究報告 vol. 110, no. 213, pp. 81-86, (2010).   110 ( 213 ) 81 - 86  2010年  [査読有り]

  • 「ウシ左右大腿骨皮質骨中の特徴的な3次元音速異方性 〜 最大音速方向の骨軸からのずれについて 〜」

    中辻知宏, 山本和史, 高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美, 山崎薫

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 110, no. 213, pp. 63-68, (2010).   110 ( 213 ) 63 - 68  2010年  [査読有り]

  • 「Brillouin散乱法による同軸共振器と圧電薄膜を用いた励起フォノンの観測」

    佐野広幸, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 110, no. 213, pp. 99-103, (2010).   110 ( 213 ) 99 - 103  2010年  [査読有り]

  • 「RFバイアススパッタ法によるc軸平行配向ZnO薄膜の形成 〜 バイアス周波数が配向性に及ぼす影響〜」

    高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 110, no. 213, pp. 75-80, (2010).   110 ( 213 ) 75 - 80  2010年  [査読有り]

  • 「牛皮質骨の微細構造とHAp結晶配向が長軸方向縦波音速に与える影響」

    矢追佑一郎, 水川裕文, 松川真美, 柳谷隆彦, 山本和史, 大和雄, 山崎薫, 長野昭

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 107, no. 96, pp. 33-36, (2007)   107 ( 96 ) 33 - 36  2009年  [査読有り]

  • 「(11-20)ZnO膜/石英基板構造のSH型SAW伝搬特性」

    田中厚志, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 107, no. 233, pp. 31-36, (2007)   107 ( 233 ) 31 - 36  2009年  [査読有り]

  • 「ウシ大腿骨皮質骨中の超音波縦波音速 〜 ハイドロキシアパタイト結晶配向と微細構造の影響 〜」

    中辻知宏, 矢追佑一郎, 松川真美, 山本和史, 山崎薫, 柳谷隆彦

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 109, pp. 25-29, (2009)   109   25 - 29  2009年  [査読有り]

  • 「c軸傾斜反転配向ZnO多層膜の作製と横波共振子への応用」

    守里直希, 高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 109, no. 213, pp. 53-58 (2009)   109 ( 213 ) 53 - 58  2009年  [査読有り]

  • 「Brillouin散乱法による圧電半導体の面内方向電気特性評価に関する検討」

    柳谷隆彦, 佐野広幸, 松川真美

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 109, no. 213, pp. 59-64, (2009)   109 ( 213 ) 59 - 64  2009年  [査読有り]

  • 「直線状エロージョンマグネトロンスパッタリングによる(11-20)配向ZnO圧電膜の大面積成膜」

    川本貴之, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章, 森嘉一, 佐々木昌, 大場正利

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 109, no. 213, pp. 65-70, (2009)   109 ( 213 ) 65 - 70  2009年  [査読有り]

  • 「c軸傾斜配向ZnO膜の作製および厚みすべりモード電気機械結合係数」

    松尾卓也, 田中厚志, 松川真美, 渡辺好章, 柳谷隆彦

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 106, no. 250, pp. 19-24, (2006)   106 ( 250 ) 19 - 24  2006年  [査読有り]

  • 「ブリユアン散乱法によるGHz域の増幅横波フォノンの観測」

    村田茂雄, 川本貴之, 松川真美, 柳谷隆彦

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 106, no. 295, pp. 27-30, (2006)   106 ( 295 ) 27 - 30  2006年  [査読有り]

  • 「面内配向ZnO膜の圧電性評価と共振器への応用」

    三島夏樹, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 105, no. 312, pp. 7-12, (2005)   105 ( 312 ) 7 - 12  2005年  [査読有り]

  • 「牛皮質骨の構造と縦波伝搬速度の異方性について」

    松川真美, 水川裕文, 柳谷隆彦, 大和雄, 山崎薫, 長野昭

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 105, no. 346, pp. 15-18, (2005)   105 ( 346 ) 15 - 18  2005年  [査読有り]

  • 「RFマグネトロンスパッタ法により作成した面内配向ZnO圧電薄膜の特性」

    野原拓也, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章, 大谷隆彦

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 104, no. 468, pp. 43-48, (2004)   104 ( 468 ) 43 - 48  2004年  [査読有り]

  • 「横波励振を目的とした面内配向ZnO薄膜の開発」

    柳谷隆彦, 野原拓也, 松川真美, 渡辺好章, 大谷隆彦

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 103, no. 340, pp. 31-36, (2003)   103 ( 340 ) 31 - 36  2003年  [査読有り]

▼全件表示

産業財産権

  • 圧電素子及び圧電変換装置

    柳谷隆彦

    特許権

  • Ultrasonic probe and ultrasonic inspection apparatus

    S. Oono, K. Sumikawa, T. Takahash, T. Yanagitani

    特許権

  • 超音波探触子および超音波検査装置

    大野茂, 住川健太, 高橋卓也, 柳谷隆彦

    特許権

  • 超音波探触子及び超音波探傷システム

    高羅友輔, 柳谷隆彦

    特許権

  • 超音波探触子及び超音波探傷システム

    高羅友輔, 柳谷隆彦

    特許権

  • Thin film producing method and hexagonal piezoelectric thin film produced thereby

    H. Nishio, Y. Mori, Y. Tsurukame, T. Kawamoto, Y. Watanabe, T. Yanagitani

    特許権

  • Thin film producing method

    United States Patent, No. US 7951272 B2

    Y. Watanabe, T. Yanagitani

    特許権

  • 薄膜共振子

    特許第5747318号

    柳谷隆彦, 鈴木雅視, 渡辺好章

    特許権

  • 薄膜製造方法及び前記薄膜製造方法により製造された六方晶系圧電薄膜

    特許第5217051号

    西尾英俊, 森嘉一, 鶴亀宜崇, 渡辺好章, 柳谷隆彦, 川本貴之

    特許権

  • 高次モード薄膜共振器

    特許第4784815号

    渡辺好章, 柳谷隆彦

    特許権

▼全件表示

受賞

  • 文部科学大臣表彰

    2018年  

  • 早稲田大学リサーチアワード(国際研究発信力)

    2016年  

  • 名古屋工業大学 優秀賞(教員評価)

    2013年11月  

  • 名古屋工業大学 褒賞

    2013年11月  

  • 名古屋工業大学 特別優秀賞(教員評価)

    2013年01月  

  • 粟屋潔学術奨励賞

    2010年09月  

  • 超音波シンポジウム奨励賞(Symposium on Ultrasonic Electronics : Young Scientist Award)

    2007年11月  

  • Symposium on Ultrasonic Electronics : Young Scientist Award

    2007年11月  

▼全件表示

共同研究・競争的資金等の研究課題

  • 分極反転圧電薄膜を用いた基地局向けの耐電力小型音響共振子フィルタの実現

    日本学術振興会  科学研究費助成事業 挑戦的研究(萌芽)

    研究期間:

    2021年07月
    -
    2024年03月
     

    柳谷 隆彦

  • GHz帯横波斜入射の複素反射率測定による抗原抗体反応の高感度粘弾性計測

    日本学術振興会  科学研究費助成事業 基盤研究(B)

    研究期間:

    2019年04月
    -
    2022年03月
     

    柳谷 隆彦, 高柳 真司, 吉田 憲司, 鈴木 雅視

     概要を見る

    本研究では、抗原抗体反応時の界面での粘弾性変化を用いて、反応を定量を目指すものである。ここで、UHF帯の高周波横波を用いた複素反射率測定法により、液体試料の粘弾性を評価する。液体試料の複素反射係数を測定することにより、横波に関する弾性定数および年度を決定する.先行研究では、測定周波数が数MHzにとどまっているのに対して、本研究では
    c軸傾斜配向のScAlN薄膜を用いる。基板付きの擬似すべりモード共振子TSM-HBARを用いて,複素反射率測定をUHF帯において行うことを目的としている。
    c軸傾斜反転構造のScAlN薄膜は成長基板をスパッタターゲットに対して、垂直に配置して、スパッタ粒子を斜めに入射させることで、成長させた。さらに反転構造を作るために、途中で基板を180度反転させながら、成膜を行った。ここでは、12層反転層の形成を試みた。断面SEM測定からc軸が45度程度傾斜してかつ反転した柱状構造が確認できた。さらに極点X線回折法により3次元的な結晶配向性を調査したところ、0002面の極が仰角45度付近に明瞭に観測されて、実際の結晶のc軸方向も45度傾いていることもわかった。また、各層の傾斜角度のばらつきもさほど大きくなく、12層を一度に測定しても、45度付近に極が観測された。また動作周波数が数百MHz向けの数μmの多層構造と数GHz向けの数百nmのものと両方を得ることができた。

  • 高速負イオン発生抑制成膜による安価なCeを用いたAlN薄膜の圧電性増幅

    日本学術振興会  科学研究費助成事業 挑戦的研究(萌芽)

    研究期間:

    2018年06月
    -
    2021年03月
     

    柳谷 隆彦

     概要を見る

    FBAR(薄膜音響共振子)と呼ばれる周波数フィルタには、窒化物圧電材料が実用化されている。近年、希土類(Sc:スカンジウム)をAlNに添加することにより、圧電性が5倍以上に増幅することが発見されている。圧電性の大きさは直接、フィルタのバンド幅と挿入損失を決定づける。本研究では、RFマグネトロンスパッタリング法でCeAlN薄膜を成長させた。ω走査ロッキングカーブ半値幅3.3°の良好な結晶配向性が得られた。CeAlN薄膜の電気機械結合係数kt2は4.4%で良好な圧電特性を示した。

  • 横波超音波の固有振動数変動による抗原抗体反応の高感度質量計測

    日本学術振興会  科学研究費助成事業 基盤研究(B)

    研究期間:

    2016年04月
    -
    2019年03月
     

    柳谷 隆彦, 高柳 真司, 吉田 憲司

     概要を見る

    抗原抗体反応などの生体高分子を検出するセンサは、小型なものであることが望ましい。水晶振動子(QCM)を用いた抗原抗体反応測定において、測定感度を向上させるためには水晶板の薄片化が求められるが、機械強度の低下につながる。音響多層膜共振子(SMR)を用いることで機械強度を損なわない高感度測定が期待できるが、そこで、c軸傾斜ScAlN(傾斜角度: 48°)を用いた音響多層膜共振子を作製し、液体粘性の評価を試みた。k’15~2 = 13.0%と高品質なScAlN薄膜の作製に成功した。さらに、グリセリン水溶液の濃度変化に伴う反共振周波数ピークの変化が観測された。

  • 走査型非線形誘電率顕微法による極性反転圧電薄膜の層状構造測定法の研究

    日本学術振興会  科学研究費助成事業 基盤研究(C)

    研究期間:

    2015年04月
    -
    2018年03月
     

    小田川 裕之, 柳谷 隆彦, 長 康夫

     概要を見る

    最近の研究で、ZnO やAlNなどの圧電薄膜を用いて、層状に極性反転した構造の作製が可能になってきており、今後の圧電デバイスの開発に重要である。本研究では、走査型非線形誘電率顕微法(SNDM)を応用し、非破壊で表面から層構造を測定する方法の開発を行った。その結果、反転層が1層ある場合については、具体的な測定と層厚の決定手順を確立した。実験結果は実際の層厚によく一致し、更に、層厚の面内分布の計測も可能となった。次に、反転層が2層ある場合についても同様に検討した。探針の押し込み量を調節して電界分布を変える実験を行い、押し込み量による出力信号の変化を確認し、多層構造での層厚推定の可能性を示した。

  • 極性反転多層構造の巨大圧電性薄膜を用いたGHz帯高分解能超音波プローブの実現

    日本学術振興会  科学研究費助成事業 挑戦的萌芽研究

    研究期間:

    2015年04月
    -
    2017年03月
     

    柳谷 隆彦

     概要を見る

    極性反転構造トランスデューサは高次モードで共振し,ハイパワー動作に適している.これまで通常のスパッタ法で成膜した場合,ScAlN薄膜はAl極性(0001),ZnO薄膜は(000-1)となることを発見している.そこで,我々はScAlNとZnOを交互に成膜することで,(0001)/(000-1)の極性反転構造が簡単に得られるのではないかと考え実験を行った.単層のScAlNとZnO薄膜の極性はプレステストにより測定した.さらに実際に石英バッファロッド上にAl極性ScAlN/O極性ZnOの極性反転構造を作製しトランスデューサを作製した。縦波変換損失も測定し,良好な2次モードでの共振を達成した。

  • 超音波照射により生じる骨中の圧電現象の計測と評価

    日本学術振興会  科学研究費助成事業 基盤研究(B)

    研究期間:

    2012年04月
    -
    2015年03月
     

    松川 真美, 細川 篤, 長谷 芳樹, 柳谷 隆彦, 星野 裕信, 長谷 芳樹

     概要を見る

    MHzの超音波照射により骨中に生じる誘発電位について実験的検討を行った。その結果、10 kPa程度の超音波照射でも誘発電位が観測され、圧電性の存在が確認された。この結果は骨折治療に使用される低強度超音波法による治癒メカニズムに、圧電による電荷生成が関与する可能性を示唆している。またこの誘発電位は湿潤した骨でも観測されたほか、HApの配向量に依存しないこと、誘発電位の極性は部位に依存することを見出した。
    また、圧電FDTD法を用いて、超音波伝搬による骨中電界の空間分布推定を試み、骨折の有無によって、分布が大きく変化することを確認した。

  • 高感度センサMEMSを目指した巨大横波圧電薄膜の開発

    日本学術振興会  科学研究費助成事業 若手研究(B)

    研究期間:

    2012年04月
    -
    2015年03月
     

    柳谷 隆彦

     概要を見る

    横波を励振する圧電薄膜は液体の粘性,導電率センサなどに応用することができる.センサ応用の際には,高いすべりモード電気機械結合係数k15を持つ膜が要求される.
    本研究では, c軸傾斜Sc添加AlN薄膜を作製し,結晶配向性,k’15を評価し,Scを添加することでk’15が増幅するか調査した.また,薄膜中のSc濃度を変化させたc軸傾斜ScAlN薄膜を作製し,k’15,擬似横波速度のSc濃度依存性についても評価した.その結果、c軸傾斜Sc添加AlN薄膜のk’15は16.8 %となり,AlN単結晶の約3.2倍の値を示した.薄膜を使った横波励振効率では最大の値であり,ワールドレコードである.

  • 光散乱法を用いた非接触圧電特性評価システムの開発

    日本学術振興会  科学研究費助成事業 挑戦的萌芽研究

    研究期間:

    2012年
    -
    2013年
     

    松川 真美, 柳谷 隆彦

     概要を見る

    Brillouin光散乱法を用いて圧電性が存在すると予想されるGaN結晶中の非接触・非破壊音速測定に成功した。Brillouin光散乱ではGHz域の音速測定が可能であり、導電性の試料でもキャリアの影響を受けずに圧電性を評価できる可能性がある。まず、本研究ではこの手法を用いて導電性GaN試料の音速の温度変化係数を得ることに成功した。また、半導電性単結晶を評価したところ、縦波音速の分散が緩和挙動と似た変化を示した。音速の測定精度も、圧電に伴う音響電気効果の弱い緩和を評価可能なレベルであり、新たな計測システムを構築できた。

  • 圧電薄膜を用いた表面波型液体計測センサの開発

    日本学術振興会  科学研究費助成事業 若手研究(B)

    研究期間:

    2009年
    -
    2010年
     

    柳谷 隆彦

     概要を見る

    本研究では、横波型表面波を用いた薄膜センサの実現を目指して、結晶(c軸)が基板に対して平行なZnO膜を石英基板上に作製した。この膜にくし型電極を作製し高周波電界を印加した結果、初めて薄膜単体を用いた横波型表面波励振に成功した。また液体中での動作も確認された。このデバイスに液体測定プールを作製し、標準導電率液体の導電率の測定を試みた結果、表面波の音速変化から液体の導電率を検出することに成功した。

  • 面内配向六方晶系薄膜の創製および横波モード共振子型分子間相互作用センサへの応用

    日本学術振興会  科学研究費助成事業 特別研究員奨励費

    研究期間:

    2007年
    -
    2008年
     

    柳谷 隆彦

     概要を見る

    [センサ用材料の合成と圧電性能]ZnOと同じ六方晶系ウルツ型構造を有するAlN膜は耐薬品性に優れているためセンサ用材料に適している。本研究ではイオンビームスパッタ法を用いることで、初めて面内配向AlN膜の合成に成功した。さらに得られた薄膜と比較するために、AlN単結晶のセンサ感度関連物理定数をBrillouin散乱法により測定した。これによりAlN単結晶のバルク横波に関する電気⇔機械変換効率(k_<15>定数)を逆解析なしに決定した。AlN単結晶のk_<15>は0.10でZnOのk_<15>=0.26に比べて小さいことが明らかになった。電気⇔機械結合系センサでは、感度の点においてZnOの方が有利であることがわかった。作製されたAlN膜のk_<15>を測定した結果k_<15>=0.03で、AlN単結晶の約30%程度であった。
    [センサ安定性関連物理定数の測定]横波モード単結晶板共振子を作製し、AlN単結晶の横波に関する温度係数(TCF)を決定した。AlN単結晶のTCFは-20ppm/℃でZnOの-35ppm/℃に比べて小さいことが明らかになった。センサの温度安定性の点ではAlNの方が有利であることがわかった。
    [センサ材料(ZnO膜)の量産化に関する研究]面内配向ZnO膜の量産化に向けて従来使用していたの3インチ円形陰極ではなく、10インチの矩形陰極を搭載した大型成膜装置を設計し、成膜を行った。この結果、4インチ基板の大部分の領域において同一ウエハ上でc軸が面内に一方向に配向させることに成功した。さらに簡便に面内配向ZnO膜を合成する手法について研究を行い、陽極に直流バイアス電圧を-200V印加することで、大幅な装置の変更なしに面内配向ZnO膜の配向性を改善することができた。これにより面内配向ZnO膜形成のメカニズムの一端が明らかになり、今後さらなる量産化技術の進展が期待できる。

▼全件表示

講演・口頭発表等

  • Giga-Hertz Piezoelectric Epitaxial PZT/La-SrTiO3 Transducer for the Application of Fingerprint Imaging

    Yusuke Sato, Takahiko Yanagitani

    2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)   IEEE  

    発表年月: 2020年09月

    開催年月:
    2020年09月
     
     
  • Extracting mechanical Q factor of the pure AlN, ScAlN, and ZnO films without etching substrate

    Naoya Iwata, Sarina Kinoshita, Takahiko Yanagitani

    2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)   IEEE  

    発表年月: 2020年09月

    開催年月:
    2020年09月
     
     
  • ScAlN Nano-Rods Structure Thin Film Grown by a Self-Shadowing Oblique Sputtering for High Electromechanical Coupling Transducer Applications

    Takumi Soutome, Takahiko Yanagitani

    2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)   IEEE  

    発表年月: 2020年09月

    開催年月:
    2020年09月
     
     
  • c-Axis oriented ScAlN/SiO2 multilayer BAW transformer for rectifying antenna applications

    Kota Izumi, Takahiko Yanagitani

    2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)   IEEE  

    発表年月: 2020年09月

    開催年月:
    2020年09月
     
     
  • Accurate Extraction of kt2 of Piezoelectric Film/Substrate Structure by Conversion Loss Method Subtracting Experimental Acoustic Losses in the Substrate

    Ryota Tatsumi, Takahiko Yanagitani

    2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)   IEEE  

    発表年月: 2020年09月

    開催年月:
    2020年09月
     
     
  • Deterioration in the piezoelectric property of ScAlN thin films by negative ion bombardment increased in low-pressure sputtering deposition

    Takumi Tominaga, Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani

    2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)   IEEE  

    発表年月: 2020年09月

    開催年月:
    2020年09月
     
     
  • Extraction of kt2 of piezoelectric film/substrate structure by conversion loss derived by electromagnetic signal including no acoustic losses

    Ryota Tatsumi, Takahiko Yanagitani

    2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)   IEEE  

    発表年月: 2020年09月

    開催年月:
    2020年09月
     
     
  • Self-Standing FBAR Transformer based on Shear Mode Zig-zag ScAlN Multilayer for Rectenna Application

    Sarina Kinoshita, Takahiko Yanagitani

    2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)   IEEE  

    発表年月: 2020年09月

    開催年月:
    2020年09月
     
     
  • Zig-zag ScAlN multilayer SMR for high power BAW fileter application such as RF base station

    Yusuke Sato, Takahiko Yanagitani

    2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)   IEEE  

    発表年月: 2020年09月

    開催年月:
    2020年09月
     
     
  • Experimental and theoretical investigation of kt2and mechanical quality factor Qm in YbAlN films using DFT

    Naoya Iwata, Sarina Kinoshita, Junjun Jia, Masashi Suzuki, Takahiko Yanagitani

    2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)   IEEE  

    発表年月: 2020年09月

    開催年月:
    2020年09月
     
     
  • Enhancement of GHz electromechanical coupling coefficient kt2 of MgZnO and CaZnO thin film BAW resonators

    Kota Izumi, Takahiko Yanagitani

    2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)   IEEE  

    発表年月: 2020年09月

    開催年月:
    2020年09月
     
     
  • GHz BAW Piezoelectric Transformers with High Voltage Gain using the Combination of High and Low Dielectric Constant Thin Films

    Sarina Kinoshita, Takahiko Yanagitani

    2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)   IEEE  

    発表年月: 2020年09月

    開催年月:
    2020年09月
     
     
  • Multilayer Piezoelectric ScAlN Film Transducers for Ultrasonic Microscopy in the VHF Range

    Yusuke Korai, Masashi Suzuki, Takahiko Yanagitani

    2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  

    発表年月: 2020年09月

  • Effect of Negative-Ion-Bombardment Suppression by Applying Voltage to Grids Set Between Substrate and Sputtering Target During Sputtering Deposition on Crystalline Orientation of ZnO Film

    Kohei Tominaga, Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani

    2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  

    発表年月: 2020年09月

  • Improvement of Crystallization and Shear-Mode Electromechanical Coupling of c-Axis-ParallelOriented ZnO Film by Annealing Treatment

    Shinji Takayanagi, Kanae Kimoto, Takahiko Yanagitani

    2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  

    発表年月: 2020年09月

  • Measurement of Time Response of Electrical Properties in Thickness Shear Mode Resonator with Liquid Loadings

    Mao Watabe, Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani

    2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)  

    発表年月: 2020年09月

  • A Method for Extracting Mechanical Q Factor of the Piezoelectric Film without Etching Substrate

    Sarina Kinoshita, Takahiko Yanagitani

    2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)   IEEE  

    発表年月: 2019年10月

    開催年月:
    2019年10月
     
     
  • Shear Mode Polarity Inverted ScAlN Multilayer for Application to BAW Transformer in Rectifying Antenna

    Sarina Kinoshita, Takahiko Yanagitani

    2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)   IEEE  

    発表年月: 2019年10月

    開催年月:
    2019年10月
     
     
  • A method to estimate kt2 of piezoelectric films from the change of lattice strain by XRD without removing substrate

    Takumi Soutome, Takahiko Yanagitani

    2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)   IEEE  

    発表年月: 2019年10月

    開催年月:
    2019年10月
     
     
  • Improvement of c-Axis Parallel Orientaition of ZnO film on Silica Glass Pipes with Various Diameters for SH-SAW Pipe Sensor

    Takuya Wakabayashi, Shinji Takayanagi, Mami Matukawa, Yuta Takamura, Takahiko Yanagitani

    2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)   IEEE  

    発表年月: 2019年10月

    開催年月:
    2019年10月
     
     
  • Effect of negative ions generation from sputtering target on crystalline orientation and kt2 of ScAlN thin films

    Rui Kihara, Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani

    2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)   IEEE  

    発表年月: 2019年10月

    開催年月:
    2019年10月
     
     
  • Ion beam induced a-axis in-plane oriented c-axis oriented AlN thin film growth for high-Q BAW resonator application

    Chiaki Masamune, Takahiko Yanagitani

    2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)   IEEE  

    発表年月: 2019年10月

    開催年月:
    2019年10月
     
     
  • Frequency-switchable polarity-inverted BAW resonators based on electric-field-induced piezoelectric PMN-PT/PZT epitaxial film stacks

    Takahiro Shimidzu, Takahiko Yanagitani

    Journal of Applied Physics   AIP Publishing  

    発表年月: 2019年09月

    開催年月:
    2019年09月
     
     
  • Frequency-switchable polarity-inverted BAW resonators based on PZT/PTO epitaxial films using difference in coercive field

    Takahiro Shimidzu, Takeshi Mori, Takahiko Yanagitani

    Applied Physics Letters   AIP Publishing  

    発表年月: 2019年05月

    開催年月:
    2019年05月
     
     
  • Al金属ターゲットへのSc埋め込みの有無によるScAlN薄膜音響共振子の結晶化度の違いと圧電特性

    木原流唯, 高柳真司, 柳谷隆彦

    電子情報通信学会総合大会  

    発表年月: 2019年03月

  • 共振周波数比法を用いた基板付き薄膜共振子の電極付きkeff2の抽出

    龍見亮汰, 戸塚誠, 柳谷隆彦

    電子情報通信学会総合大会  

    発表年月: 2019年03月

  • SH型SAWパイプセンサの作製に向けた石英ガラス管へのc軸平行配向ZnO膜の形成

    篁 佑太, 高柳 真司, 柳谷隆彦, 松川 真美

    第66回応用物理学会 春季学術講演会  

    発表年月: 2019年03月

  • 溶融および焼結ScAl合金ターゲットを用いた高品質なScAlN薄膜の作製

    白寧蕊, 唐澤嶺, 高柳 真司, 今川 誠, 森坂啓介, 鈴木 雄, 柳谷隆彦

    第66回応用物理学会 春季学術講演会  

    発表年月: 2019年03月

  • ScAlN自立薄板を用いた30-40MHz帯振動子

    正宗千明, 唐澤 嶺, 柳谷隆彦

    第66回応用物理学会 春季学術講演会  

    発表年月: 2019年03月

  • 基板付き圧電薄膜の高次モード間共振周波数比を用いたFBARの電極考慮keff2抽出

    戸塚誠, 柳谷隆彦

    圧電材料・デバイスシンポジウム2019  

    発表年月: 2019年01月

  • 基板付き圧電薄膜の電気機械結合係数抽出時における電極サイズの影響

    山中恵理, 戸塚誠, 木下紗里那, 柳谷隆彦

    圧電材料・デバイスシンポジウム2019  

    発表年月: 2019年01月

  • ScAlN自立薄板を用いた30-40MHz帯振動子

    天野凌輔, 木下紗里那, 廣芝伸哉, 柳谷隆彦

    圧電材料・デバイスシンポジウム2019  

    発表年月: 2019年01月

  • スパッタ成膜中の負イオン照射抑制によるScAlN薄膜の圧電性向上

    高柳真司, 柳谷隆彦

    圧電材料・デバイスシンポジウム2019  

    発表年月: 2019年01月

  • 圧電薄膜デバイスと基板の選択

    和佐清孝, 清水貴博, 足立秀明, 吉田慎哉, 柳谷隆彦, 田中秀治

    圧電材料・デバイスシンポジウム2019  

    発表年月: 2019年01月

  • 「常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピ膜音響共振子の周波数スイッチング特性」

    野田隆太, 清水貴博, 柳谷隆彦

    電子回路研究会  

    発表年月: 2018年12月

  • 横波モードのc 軸傾斜配向 ScAlN 薄膜 / 音響多層膜反射器共振子を用いた UHF帯液体粘性評価

    五月女巧, 山川愉生, 唐澤 嶺, 柳谷隆彦

    電子回路研究会  

    発表年月: 2018年12月

  • 極性反転ZnO圧電多層構造を用いた高効率な超音波トランスデューサ

    間島 毅, 清水貴博, 柳谷隆彦

    電子回路研究会  

    発表年月: 2018年12月

  • A new electromechanical coupling coefficient extraction method of as-grown film/wafer structure by using the ratio of overtone mode resonant frequencies

    戸塚誠

    発表年月: 2018年10月

  • 圧電トランス薄膜音響共振子による電波発電

    柳谷隆彦  [招待有り]

    第4回分科会ワークショップ「革新的エナジー・ハーベスティングに向けた材料・デバイス技術」  

    発表年月: 2018年03月

  • c 軸傾斜配向 ScAlN 薄膜 / 音響多層膜構造の共振子を用いた 400MHz 付近における液体粘性評価

    山川 愉生, 五月女 巧, 唐澤 嶺, 柳谷 隆彦

    第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム  

    発表年月: 2018年

  • c 軸傾斜配向すべりモード ScAlN 薄膜共振子を用いた生体反応検出

    矢崎 花, 五月女 巧, 唐澤 嶺, 高柳 真司, 吉田 憲司, 柳谷 隆彦

    第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム  

    発表年月: 2018年

  • PZT エピタキシャル厚膜を用いた 80 MHz 帯の超音波トランスデューサ

    松田 友佳, 清水 貴博, 柳谷 隆彦

    第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム  

    発表年月: 2018年

  • 大きな圧電性を持つ ScAlN 自立薄板を用いた 30?40 MHz 帯振動子

    正宗 千明, 唐澤 嶺, 柳谷 隆彦

    第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム  

    発表年月: 2018年

  • 周波数スイッチナブルフィルタを目指した分極反転 PZT/PbTiO3エピタキシャル薄膜共振子

    清水 貴博, 森 剛志, 柳谷 隆彦

    第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム  

    発表年月: 2018年

  • 大きな電気機械結合係数 (kt 2 =22%) を持つ ScAlN 薄膜

    白 寧蕊, 正宗 千明, 唐澤 嶺, 柳谷 隆彦

    第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム  

    発表年月: 2018年

  • 溶融及び焼結 ScAl 合金ターゲットからの負イオン照射が ScAlN 薄膜成長へ及ぼす影響

    遠藤 結佳, 唐澤 嶺, 高柳 真司, 今川 誠, 森坂 啓介, 鈴木 雄, 柳谷 隆彦

    第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム  

    発表年月: 2018年

  • 基板付き薄膜構造における高次モード間共振周波数比を用いた圧電薄膜の kt 2 評価法

    戸塚 誠, 柳谷 隆彦

    第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム  

    発表年月: 2018年

  • 「サファイア基板上への高角度c軸傾斜ScAlN膜の作製と弾性表面波伝搬特性」

    徳田翔平, 高柳真司, 松川真美, 柳谷隆彦

    圧電材料・デバイスシンポジウム2018  

    発表年月: 2018年

  • 「スパッタ成膜中にSc金属から発生した負イオンの照射によるScAlN薄膜の結晶配向性および圧電性の劣化」

    高柳真司, 柳谷隆彦

    圧電材料・デバイスシンポジウム2018  

    発表年月: 2018年

  • 「厚みすべりモード薄膜共振子の液体負荷時における周波数変化及び減衰の検討」

    岩永陸弥, 高柳真司, 松川真美, 柳谷隆彦

    圧電材料・デバイスシンポジウム2018  

    発表年月: 2018年

  • 「PZT薄膜とバルク圧電材料」

    和佐清孝, 清水貴博, 足立秀明, 吉田慎哉, 柳谷隆彦, 田中秀治

    圧電材料・デバイスシンポジウム2018  

    発表年月: 2018年

  • 「スパッタ法により作製したGHz帯のPb(ZrxTi1-x)O3エピ膜にMPB特性は現れるか?」

    野田隆太, 清水貴博, 和佐清孝, 柳谷隆彦

    圧電材料・デバイスシンポジウム2018  

    発表年月: 2018年

  • 「極性反転ウルツ鉱系圧電薄膜を用いた高効率トランスデューサ」

    間島毅, 清水貴博, 柳谷隆彦

    圧電材料・デバイスシンポジウム2018  

    発表年月: 2018年

  • 「周波数スイッチナブルな常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピタキシャル薄膜共振子」

    清水貴博, 柳谷隆彦

    圧電材料・デバイスシンポジウム2018  

    発表年月: 2018年

  • 「擬似すべりモードc軸傾斜配向ScAlN薄膜を用いた複素反射率測定による液体試料のUHF帯粘弾性評価」

    山川愉生, 唐澤嶺, 柳谷隆彦

    圧電材料・デバイスシンポジウム2018  

    発表年月: 2018年

  • 「c軸ジグザグ配向ScAlN圧電トランス薄膜共振子のレクテナ昇圧回路への応用検討」

    唐澤嶺, 柳谷隆彦

    圧電材料・デバイスシンポジウム2018  

    発表年月: 2018年

  • 「高次モード間共振周波数比を用いた基板付き薄膜共振子からの電気機械結合係数の抽出」

    戸塚誠, 柳谷隆彦

    圧電材料・デバイスシンポジウム2018  

    発表年月: 2018年

  • 「圧電トランス薄膜音響共振子による電波発電」

    柳谷隆彦

    第4回分科会ワークショップ「革新的エナジー・ハーベスティングに向けた材料・デバイス技術」  

    発表年月: 2018年

  • 「電子ビーム真空溶融により合成したScAl合金スパッタターゲットを用いた高品質ScAlN薄膜の成長」

    遠藤 結佳, 佐野 耕平, 唐澤 嶺, 柳谷 隆彦

    第65回応用物理学会 春季学術講演会  

    発表年月: 2018年

  • 「高い圧電性を持つPZT厚膜を用いた80 MHz帯高効率トランスデューサ」

    松田友佳, 清水貴博, 柳谷隆彦

    第65回応用物理学会 春季学術講演会  

    発表年月: 2018年

  • 「90?mScAlN厚膜を用いた40MHz帯トランスデューサ」

    正宗 千明, 佐野 耕平, 柳谷 隆彦

    第65回応用物理学会 春季学術講演会  

    発表年月: 2018年

  • 「基本モードと3次モードの共振周波数比を用いた基板付き薄膜の電気機械結合係数kt2の評価法」

    戸塚誠, 柳谷隆彦

    第65回応用物理学会 春季学術講演会  

    発表年月: 2018年

  • 「極性反転ZnO圧電薄膜を用いた高効率トランスデューサ」

    間島毅, 柳谷 隆彦

    第65回応用物理学会 春季学術講演会  

    発表年月: 2018年

  • 「ScAlN/ZnO極性反転構造を用いた高次モードトランスデューサの水中放射特性」 「基本モード/高次モード切替可能な常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピ膜共振子」

    清水 貴博, 柳谷 隆彦

    第65回応用物理学会 春季学術講演会  

    発表年月: 2018年

  • 「c軸傾斜配向ScAlN薄膜を用いた擬似すべりモード基板付き共振子による液体試料のMHz帯-GHz帯にわたる粘性評」

    山川 愉生, 唐澤 嶺, 柳谷 隆彦

    第65回応用物理学会 春季学術講演会  

    発表年月: 2018年

  • 「c軸傾斜配向ScAlN薄膜を用いた横波超音波の斜入射による液体試料のVHF帯粘弾性評価」

    山川 愉生, 柳谷 隆彦

    第65回応用物理学会 春季学術講演会  

    発表年月: 2018年

  • 「低角スパッタ粒子入射を用いたc軸傾斜反転ジグザグScAlN圧電薄膜の成長とレクテナ昇圧素子への応用検討」

    唐澤嶺, 柳谷 隆彦

    第65回応用物理学会 春季学術講演会  

    発表年月: 2018年

  • 「最近のBAWデバイス(FBAR)の薄膜材料と評価手法」

    柳谷隆彦

    第65回応用物理学会 春季学術講演会  

    発表年月: 2018年

  • 「周波数スイッチナブルフィルタを目指した常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピ膜音響共振子」

    清水貴博, 柳谷隆彦

    電子情報通信学会超音波研究会  

    発表年月: 2018年

  • 「レクテナ昇圧素子への応用を目指したc軸ジグザグ配向ScAlN多層圧電薄膜共振子」

    唐澤嶺, 柳谷隆彦

    電子情報通信学会超音波研究会  

    発表年月: 2018年

  • 「PZT エピ厚膜および ScAlN 厚膜を用いた 30-90 MHz 帯トランスデューサ」

    正宗千明, 松田友佳, 唐澤嶺, 清水貴博, 柳谷隆彦

    第47回EMシンポジウム  

    発表年月: 2018年

  • 「溶融および焼結 ScAl 合金スパッタターゲットから発生する負イオンが ScAlN 薄膜の成長に及ぼす影響」

    唐澤嶺, 遠藤結佳, 高柳真司, 今川誠, 森坂啓介, 鈴木雄, 柳谷隆彦

    第47回EMシンポジウム  

    発表年月: 2018年

  • 「基板付き圧電薄膜の機械的品質係数 Q 値評価の検討」

    木下紗里那, 戸塚誠, 唐澤嶺, 柳谷隆彦

    第47回EMシンポジウム  

    発表年月: 2018年

  • 「基本モード/3 次モード間共振周波数比を用いた基板付き薄膜構造における圧電薄膜の kt抽出法と従来 法との比較」

    戸塚誠, 柳谷隆彦

    第47回EMシンポジウム  

    発表年月: 2018年

  • 「Pb(Zrx,Ti1-x)O3スパッタエピ膜における MPB 特性発現の検証」

    野田隆太, 清水貴博, 和佐清孝, 柳谷隆彦

    第47回EMシンポジウム  

    発表年月: 2018年

  • 「c 軸傾斜配向厚みすべりモード ScAlN 薄膜共振子を用いた生体高分子反応の検出」

    矢崎花, 唐澤嶺, 吉田憲司, 高柳真司, 柳谷隆彦

    第47回EMシンポジウム  

    発表年月: 2018年

  • 「(0001)ScAlN/(000-1)ZnO 極性反転構造を用いた 2 次モードトランスデューサの水中放射特性」

    間島毅, 清水貴博, 柳谷隆彦

    第47回EMシンポジウム  

    発表年月: 2018年

  • 「ウエハ付きAs-grown圧電薄膜のRFフィルタ向け特性評価法およびScAlN薄膜の成長ノウハウ」

    柳谷隆彦

    アルバックシンポジウム  

    発表年月: 2018年

  • New BAW filter materials for 5G smart phone

    T. Yanagitani

    LG化学 Tech Scouting Japan  

    発表年月: 2018年

  • 「抗電界差により周波数スイッチナブルとなるPZT/PbTiO3分極反転エピタキシャル薄膜音響共振子」

    清水貴博, 柳谷隆彦

    第79回応用物理学会秋季学術講演会  

    発表年月: 2018年

  • 「ScAlN, ZnOおよびPZT系薄膜の極性制御と分極反転デバイスへの応用」

    清水貴博, 柳谷隆彦

    第79回応用物理学会秋季学術講演会  

    発表年月: 2018年

  • 「最新の窒化物BAWフィルタの動向と酸化物圧電薄膜の位置づけ」

    柳谷隆彦

    第79回応用物理学会秋季学術講演会  

    発表年月: 2018年

  • 「FBARフィルタ用の圧電薄膜材料の進展とウエハの評価手法」

    柳谷隆彦

    第168回電子セラミック・プロセス研究会  

    発表年月: 2018年

  • 「c軸傾斜配向厚みすべりモードScAlN薄膜共振子を用いた液体中生体分子相互作用の検出」

    矢崎花, 五月女巧, 唐澤 嶺, 高柳真司, 吉田憲司, 柳谷隆彦

    電子情報通信学会超音波研究会  

    発表年月: 2018年

  • 「c軸傾斜配向ScAlN薄膜/音響多層膜構造の共振子を用いたUHF帯における液体粘性評価」

    山川愉生, 五月女巧, 唐澤嶺, 柳谷隆彦

    電子情報通信学会超音波研究会  

    発表年月: 2018年

  • 「基板付き薄膜共振子からの新規kt2評価法と従来法の比較 〜 共振周波数比法、変換損失法、共振スペクトル法、共振反共振法 〜」

    戸塚誠, 柳谷隆彦

    電子情報通信学会超音波研究会  

    発表年月: 2018年

  • 「分極反転PZT/PTOエピ膜を用いた周波数スイッチナブルなGHz帯共振子」

    清水貴博, 森剛志, 柳谷隆彦

    電子情報通信学会超音波研究会  

    発表年月: 2018年

  • 「製法の異なるScAl合金スパッタターゲットから発生する負イオンがScAlN薄膜の特性に及ぼす影響 〜 電子ビーム溶融、アーク溶融、焼結ScAl合金ターゲットの比較 〜」

    唐澤嶺, 高柳真司, 遠藤結佳, 今川 誠, 森坂啓介, 鈴木 雄, 柳谷隆彦

    電子情報通信学会超音波研究会  

    発表年月: 2018年

  • “Thick PZT epitaxial film growth for ultrasonic transducer application below 100 MHz" 12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics,”

    Y. Mazda, T. Yanagitani

    12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics  

    発表年月: 2018年

  • “Frequency switchable polarity inverted resonators based on cubic PMN-PT/tetragonal PZT epitaxial stack,”

    T. Shimidzu, T. Yanagitani

    12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics  

    発表年月: 2018年

  • “Investigation of MPB in Pb(Zrx,Ti1-x)O3 epitaxial films by RF magnetron sputtering growth,”

    R. Noda, T. Yanagitani

    12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics  

    発表年月: 2018年

  • “A method for extracting GHz electromechanical coupling coefficient from piezoelectric film/substrate structure without removing substrate,”

    T. Yanagitani

    12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics  

    発表年月: 2018年

  • “Influence of negative ions generation on the quality of ScAlN films grown by sputtering targets with different concentration of oxygen and carbon,”

    Y. Endo, R. Karasawa, S. Takayanagi, M. Imakawa, K. orisaka, Y. uzuki, T. anagitani

    International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators(IWPMA2018)  

    発表年月: 2018年

  • “Comparison of kt2 extraction method from film/substrate structure by using the ratio of resonant frequencies with conventional methods,”

    M. Totsuka, T. Yanagitani

    International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators(IWPMA2018)  

    発表年月: 2018年

  • “Polarity inverted high efficiency ultrasonic transducer with (0001)ZnO/(000-1)ZnO/SiO2 glass buffer rod,”

    T. Majima, T. Shimidzu, T. Yanagitani

    International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators(IWPMA2018)  

    発表年月: 2018年

  • “Thick PZT epitaxial film and ScAlN film for ultrasonic transducer below 100 MHz,”

    Y. Mazda, C. Masamune, R. Karasawa, T. Shimidzu, T. Yanagitani

    International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators(IWPMA2018)  

    発表年月: 2018年

  • “Temperature characteristics of ScAlN/SiO2 BAW resonators,”

    H.Igeta, M. Totsuka, M. Suzuki, T. Yanagitani

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2018年

  • “A new method for extracting Qfactor of the piezoelectric film without removing substrate,”

    S. Kinoshita, M. Totsuka, R. Karasawa, T. Yanagitani

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2018年

  • “Investigation of morphotropic phase boundary in sputter-grown Pb(Zrx, Ti1-x)O3 epitaxial films,”

    R. Noda, T. Shimidzu, K. Wasa

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2018年

  • “High efficiency ultrasonic transducer using polarity inverted ZnO thin film,”

    T. Majima, T. Shimidzu, T. Yanagitani

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2018年

  • “ScAlN free-standing 0.1mm plates with 30-50 MHz resonance frequency,”

    C. Masamune, R. Karasawa, T. Yanagitani

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2018年

  • “PZT epitaxial thick film for ultrasonic transducer at frequencies below 100MHz,”

    Y. Mazuda, T. Shimidzu, T. Yanagitani

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2018年

  • “The influence of negative ions generation on the arc-melted and hot press sintered ScAlN alloy targets to the crystalline orientation and kt2 of the ScAlN films,”

    Y. Endo, R. Karasawa, S. Takayanagi, M.Imakawa, K. Morisaka, T. Yanagitani

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2018年

  • “c-axis tilted ScAlN film shear mode resonators for biosensing,”

    H. Yazaki, T. Sotome, S. Takayanagi, K. Yoshida, T. Yanagitani

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2018年

  • “Evaluation of viscoelactic properties of liquids based on the oblique incidence technology using shear horizontal waves at frequencies above 100 megahertz from c-axis tilted ScAlN thin films,”

    Y. Yamakawa, T. Yanagitani

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2018年

  • “Extraction of electromechanical coupling coefficient of film / substrate structure by using the ration of a third mode resonant frequency to a fundamental mode resonant frequency,”

    M. Totsuka, T. Yanagitani

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2018年

  • “DC-induced piezoelectric cubic PMN-PT/piezoelectric tetragonal PZT epitaxial stack polarity inverted resonators for frequency switchable filters,”

    T. Shimidzu, T. Yanagitani

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2018年

  • “Polarity inverted ScAlN multilayer for application to transformer in rectifying antenna,”

    R. Karasawa, T. Yanagitani

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2018年

  • 「抗電界差による基本モード/高次モード周波数切替可能なPZT/PTエピ膜分極反転共振子」

    清水貴博, 森剛志, 柳谷隆彦, 和佐清孝

    圧電材料・デバイスシンポジウム  

    発表年月: 2017年

  • 「c軸傾斜配向ScAlN膜/ATカット水晶基板構造の低TCF横波共振子を用いた 広帯域周波数粘度測定」

    山川愉生, 佐野耕平, 唐澤嶺, 森剛志, 柳谷隆彦

    圧電材料・デバイスシンポジウム  

    発表年月: 2017年

  • 「c軸傾斜配向ScAlN膜/ブラック反射層構造のGHz帯厚みすべりモード共振子を用いた液体粘性評価」

    唐澤嶺, 山川愉生, 森剛志, 矢?花, 佐野耕平, 柳谷隆彦

    圧電材料・デバイスシンポジウム  

    発表年月: 2017年

  • 「RFマグネトロンスパッタ法を用いて作製したc軸平行配向ZnO膜の 圧電不活性層低減に関する検討」

    盛一馬, 高柳真司, 松川真美, 柳谷隆彦

    圧電材料・デバイスシンポジウム  

    発表年月: 2017年

  • 「電気機械結合係数 kt2=19%のScAlN厚膜を用いた低周波帯80 MHzトランスデューサ」

    佐野耕平, 唐澤嶺, 柳谷隆彦

    圧電材料・デバイスシンポジウム  

    発表年月: 2017年

  • 「縦波・横波の超音波伝搬時における骨中誘発電位の検討」

    松川沙弥果, 牧野大輝, 小山大介, 高柳真司, 水野勝紀, 柳谷隆彦, 松川真美

    圧電材料・デバイスシンポジウム  

    発表年月: 2017年

  • 「ScAlN薄膜トランスデューサを用いた縦波・横波のブリュアン散乱光の同時増幅」

    柴垣慶明, 川部昌彦, 柳谷隆彦, 高柳真司, 鈴木雅視, 松川真美

    日本音響学会2016年秋季研究発表会  

    発表年月: 2017年

  • 「単結晶PZT/PTエピタキシャル薄膜を用いた周波数切り替え可能な共振子」

    森剛志, 高柳真司, 清水貴博, 柳谷隆彦

    2017年電子情報通信学会総合大会  

    発表年月: 2017年

  • 「チューナブルフィルタを目指した PMN 常誘電相エピ膜の電界誘起圧電特性と分極反転特性」

    清水貴博, 柳谷隆彦, 和佐清孝

    第46回EMシンポジウム  

    発表年月: 2017年

  • 「c 軸傾斜配向 ScAlN/AT カット水晶基板構造の低 TCF 横波 HBAR を用いた MHz 帯-GHz 帯粘性評価」

    山川愉生, 佐野耕平, 唐澤嶺, 柳谷隆彦

    第46回EMシンポジウム  

    発表年月: 2017年

  • 「高電気機械結合係数を持つ80MHz 帯 ScAlN 厚膜のハイドロフォン応用への検討」

    佐野耕平, 唐澤嶺, 柳谷隆彦

    第46回EMシンポジウム  

    発表年月: 2017年

  • 「分極反転圧電薄膜の成長と応用〜レクテナ昇回路へ検討〜」

    柳谷隆彦, 唐澤嶺

    第46回EMシンポジウム  

    発表年月: 2017年

  • “PMN paraelectric phase epitaxial film for DC field-induced frequency switchable filter”

    T. Shimidzu, K. Wasa, T. Yanagitani

    The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics  

    発表年月: 2017年

  • “Film growth of c-axis parallel oriented ZnO films by RF magnetron sputtering for improvement of electromechanical properties”

    K. Mori, S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani

    The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics  

    発表年月: 2017年

  • “Simple and rapid measurement of hypersonic wave velocity by Brillouin scattering method”

    Y. Shibagaki, M. Kawabe, S. Takayanagi, T. Yanagitani

    The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics  

    発表年月: 2017年

  • “Simultaneous viscosity evaluation in the MHz to GHz range with low TCF resonators consisting of shear mode piezoelectric thin films on AT-cut quartz crystal”

    Y. Yamakawa, R. Karasawa, T. Shimidzu, T. Yanagitani

    The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics  

    発表年月: 2017年

  • “c-Axis tilted ScAlN film on sapphire substrate for SAW devices with high electromechanical coupling”

    S. Tokuda, S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani

    The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics  

    発表年月: 2017年

  • “Polarity inverted ScAlN films for application to transformer in rectenna”

    R. Karasawa, T. Yanagitani

    The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics  

    発表年月: 2017年

  • “Induced electrical potentials in cortical bone under shear ultrasound exposure”

    T. Makino, K. Takano, S. Nakanishi, D. Koyama, S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa

    The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics  

    発表年月: 2017年

  • “Effects of highly energetic negative ions generated from Sc grains during sputtering deposition on electromechanical properties of ScAlN film”

    S. Takayanagi, T. Yanagitani

    The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics  

    発表年月: 2017年

  • “High efficiency ScAlN thick film hydrophone operating in the ranges of 40-80 MHz”

    K-h. Sano, R. Karasawa, T. Yanagitani

    The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics  

    発表年月: 2017年

  • 「高品質ScAlN薄膜の成長条件と圧電特性および音響特性の評価」

    柳谷隆彦, 唐澤嶺, 佐野耕平

    EMデバイス・システムの新技術調査専門委員会  

    発表年月: 2017年

  • "Electromechanical coupling hysteresis curves of PZT epitaxial ferroelectric films determined by gigahertz ultrasonic method"

    T. Yanagitani, T. Mori, K. Wasa

    12th Pacific Rim Conference on Ceramic and Glass Technology (PACRIM 12)  

    発表年月: 2017年

  • "High electromechanical coupling thick ScAlN piezoelectric films for ultrasonic generation in low frequency of 80MHz"

    K. Sano, R. Karasawa, T. Yanagitani

    12th Pacific Rim Conference on Ceramic and Glass Technology (PACRIM 12)  

    発表年月: 2017年

  • "Liquid gigahertz viscosity sensors using shear mode c-axis tilted ScAlN piezoelectric thin films"

    Y. Yamakawa, R. Karasawa, T. Mori, K. Sano, M. Suzuki, T. Yanag

    12th Pacific Rim Conference on Ceramic and Glass Technology (PACRIM 12)  

    発表年月: 2017年

  • "Polarity inverted PZT/PbTiO3 ferroelectric epitaxial film for frequency switchable resonator filters"

    T. Shimizu, T.Mori, M. Suzuki, T. Yanagitani, K. Wasa

    12th Pacific Rim Conference on Ceramic and Glass Technology (PACRIM 12)  

    発表年月: 2017年

  • "Broadband frequency viscosity measurement using low TCF shear mode resonators consisting of c-axis tilted ScAlN thin film on thick AT-Cut quartz plate"

    Y. Yamakawa, K. Sano, R. Karasawa, T. Yanagitani

    The 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems  

    発表年月: 2017年

  • "Thick ScAlN film for high efficient ultrasonic transducer in low frequency of 81 MHz"

    K.-H. Sano, R. Karasawa, T. Yanagitani

    The 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems  

    発表年月: 2017年

  • “Film Growth of C-Axis parallel oriented ZnO on entire surface of silica glass pipe for SH-SAW pipe sensor,”

    Y. Takamura, S. Takayanagi, M. Matsukawa, C. Ishida, T. Yanagitani

    IEEE International Ultrason. Symp.  

    発表年月: 2017年

  • “Effects of negative oxygen ions generated during Sc ingot sputtering on electromechanical coupling of ScAlN film ,”

    S. Takayanagi, T. Yanagitani

    IEEE International Ultrason. Symp.  

    発表年月: 2017年

  • “Film growth of c-axis tilted ScAlN on the sapphire substrate for SAW devices,”

    S. Tokuda, S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani

    IEEE International Ultrason. Symp.  

    発表年月: 2017年

  • “The frequency wwitchable multi-layered BST/BaTiO3 epitaxial film resonator,”

    S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani

    IEEE International Ultrason. Symp.  

    発表年月: 2017年

  • “High electromechanical coefficient kt 2=19% thick ScAlN piezoelectric films for ultrasonic transducer in low frequency of 80 MHz,”

    K-h. Sano, R. Karasawa, T. Yanagitani

    IEEE International Ultrason. Symp.  

    発表年月: 2017年

  • “A new type wide-frequency-range shear viscosity sensor using caxis tilted ScAlN thin film on temperature stable AT-cut quartz thick plate,”

    Y. Yamakawa, K-h. Sano, R. Karasawa, T. Yanagitani

    IEEE International Ultrason. Symp.  

    発表年月: 2017年

  • “C-axis zig-zag polarization inverted ScAlN multilayer for FBAR transformer rectifying antenna,”

    R. Karasawa, T. Yanagitani

    IEEE International Ultrason. Symp.  

    発表年月: 2017年

  • “DC field-induced piezoelectricity of cubic perovskite 0.95Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-0.05PbTiO3 epitaxial film for RF switchable resonator,”

    T. Shimidzu, K. Wasa, T. Yanagitani

    IUMRS-ICA  

    発表年月: 2017年

  • “Frequency switchable multi-layered paraelectric-BST/ferroelectric-BaTiO3 stack epitaxial film resonator,”

    R. Noda, T. Shimidzu, K. Wasa, T. Yanagitani

    IUMRS-ICA  

    発表年月: 2017年

  • 「PZTと PT の抗電界差を利用した周波数スイッチナブル分極反転エピタキシャ薄膜共振子」

    森剛志, 柳谷隆彦, 和佐清孝

    第45回EMシンポジウム  

    発表年月: 2016年

  • 「ScAlN/ZnO極性反転圧電薄膜を用いた2次モード励振超音波トランスデューサ」

    森剛志, 鈴木雅視, 柳谷隆彦

    電子情報通信学会 超音波研究会  

    発表年月: 2016年

  • 「GHz帯で純横波超音波を高効率励振するc軸平行ZnO薄膜トランスデューサ」

    森剛志, 鈴木雅視, 柳谷隆彦

    電子情報通信学会 超音波研究会  

    発表年月: 2016年

  • 「励起フォノンを用いたBrillouin散乱測定の高速化に関する検討」

    柴垣慶明, 川部昌彦, 柳谷隆彦, 高柳真司, 鈴木雅視, 松川真美

    第58回光波センシング技術研究会  

    発表年月: 2016年

  • "Piezoelectric stiffening in the thickness direction of c-plane ZnO single crystal measured by Brillouin scattering"

    S. Tomita, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa

    The 37th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE2016).  

    発表年月: 2016年

  • "Evaluation of piezoelectricity in bone by ultrasound irradiation"

    S. Matsukawa, S.Mori, D. Koyama, S. Takayanagi, K. Mizuno, T. Yanagitani, M. Matsukawa

    The 37th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE2016).  

    発表年月: 2016年

  • "High electromechanical coupling of Sezawa mode SAW using a polarization-inverted ScAlN film/highvelocity substrate structure"

    S. Takayanagi, T. Yanagitani

    The 37th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE2016).  

    発表年月: 2016年

  • "Polarity inverted Pb(Zr,Ti)O3/PbTiO3 epitaxial multilayer frequency switchable resonator in the GHz range"

    T. Mori, T. Yanagitani, K. Wasa

    13th International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators & Energy Conversion Materials and Devices  

    発表年月: 2016年

  • "Electromechanical coupling hysteresis curves of Pb(Zr,Ti)O3 epitaxial films determined by GHz ultrasonic method using film/substrate structure"

    T. Yanagitani, T. Mori, K. Wasa

    13th International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators & Energy Conversion Materials and Devices  

    発表年月: 2016年

  • "Temperature stable liquid gigahertz viscosity sensors by combining shear mode piezoelectric ScAlN thin film and AT-cut quartz crystal plate"

    K-h. Sano, T. Mori, R. Karasawa, T. Yanagitani

    5th Joint Meeting of the Acoustical Society of America and Acoustical Society of Japan  

    発表年月: 2016年

  • "c-axis tilted ScAlN shear wave acoustic Bragg reflect resonator for gigahertz viscosity measurement"

    Takeshi Mori, Yui Yamakawa, Rei Karasawa, Ko-hei Sano, Takahiko Yanagitani, Shinji Takanayanagi

    5th Joint Meeting of the Acoustical Society of America and Acoustical Society of Japan  

    発表年月: 2016年

  • P5-C2-4 "Brillouin scatteringstudy on piezoelectricstiffening effect in thethickness direction ofc-plane ZnO single crystal"

    S. Tomita, T. Yanagitani, S. Takayanagi, H. Ichihashi, M. Matsukawa

    IEEE International Ultrason. Symp,  

    発表年月: 2016年

  • 4K-2 "Anisotropic behavior ofinduced electric potentialsin bone by ultrasoundirradiation"

    S. Matsukawa, S. Mori, Isao Mano, T. Yanagitani, K. Mizuno, S.Takayanagi, M. Matsukawa

    IEEE International Ultrason. Symp,  

    発表年月: 2016年

  • 6K-1 "Rapid and simultaneousmeasurement of longitudinaland shear wave velocitiesby Brillouin scattering fromartificially induced phonons"

    M. Kawabe, T. Yanagitani, S. Takayanagi, Y. Shibagaki, M. Suzuki, M. Matsukawa

    IEEE International Ultrason. Symp,  

    発表年月: 2016年

  • 6H-4 Improvement ofelectromechanical propertiesin c-axis parallel orientedZnO film by RF magnetronsputtering with negative ionbombardment"

    K. Mori, S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani

    IEEE International Ultrason. Symp,  

    発表年月: 2016年

  • 6H-3 "Effects of energeticnegative ions generatedfrom sputtering targets onScAlN film growth"

    S. Takayanagi, M.Matsukawa, T. Yanagitani

    IEEE International Ultrason. Symp,  

    発表年月: 2016年

  • H-2 "Evaluation of viscousliquid using resonance andanti-resonance of thicknessshearmode resonatorconsisting of c-axis paralleloriented ZnO film"

    R. Iwanaga, S. Takayanagi, Y. Watanabe, M. Matsukawa, T. Tsuchiya, T. Yanagitani

    IEEE International Ultrason. Symp,  

    発表年月: 2016年

  • 6H-1 "The frequencyswitchable resonatorconsisting of polarityinverted Pb(Zr,Ti)O3/PbTiO3epitaxial multilayer"

    T. Mori, M. Suzuki, T. Yanagitani

    IEEE International Ultrason. Symp,  

    発表年月: 2016年

  • P3-B2-7 "Electromechanicalcoupling hysteresis curvesof Pb(Zr,Ti)O3and PbTiO3epitaxial films determinedby ultrasonic measurementusing film/substratestructure"

    T. Mori, M. Suzuki, S. Takayanagi, T. Yanagitani

    IEEE International Ultrason. Symp,  

    発表年月: 2016年

  • P3-B2-1 "High electromechanical coupling of Sezawa mode SAW in c-axis-parallel-oriented ScAlN film/high-velocitysubstrate structures"

    S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani

    IEEE International Ultrason. Symp,  

    発表年月: 2016年

  • "Rapid wave velocity measurement by Brillouin scattering using artificially induced phonon"

    Y. Shibagaki, M. Kawabe, S. Takayanagi, K. Mori, T. Yanagitani, M. Matsukawa

    5th Joint Meeting of the Acoustical Society of America and Acoustical Society of Japan  

    発表年月: 2016年

  • "Liquid loading characteristics of multiple SH-wave roundtrip in c-axis parallel oriented ZnO film/silica glass pipe"

    S.Takayanagi, S.Hirayama, M.Matsukawa, T.Yanagitani

    5th Joint Meeting of the Acoustical Society of America and Acoustical Society of Japan  

    発表年月: 2016年

  • 陽極RFバイアス法による2次モード(000-1)/(0001)ScAlN FBAR

    鈴木雅視, 柳谷隆彦

    圧電材料・デバイスシンポジウム2015  

    発表年月: 2015年

  • ScAlN薄膜における弾性定数テンソルのSc濃度依存性

    柳谷隆彦, 市橋隼人, 鈴木雅視, 高柳真司, 松川真美

    圧電材料・デバイスシンポジウム2015  

    発表年月: 2015年

  • 走査型非線形誘電率顕微法による層状構造圧電薄膜の極性評価

    小田川裕之, 寺田浩士朗, 西川宏明, 柳谷隆彦, 長康雄

    圧電材料・デバイスシンポジウム2015  

    発表年月: 2015年

  • 基板付き圧電薄膜のkt評価法の比較

    小林勇太, 鈴木雅視, 柳谷隆彦, 荒川元孝, 大橋雄二

    圧電材料・デバイスシンポジウム2015  

    発表年月: 2015年

  • 超音波照射による骨中誘発電位の極性について

    常田裕子, 松川沙弥果, 真野功, 水野勝紀, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美

    圧電材料・デバイスシンポジウム2015  

    発表年月: 2015年

  • RFバイアス三極スパッタ法におけるイオン照射を利用したO面,Zn面,a面およびm面ZnO薄膜の形成

    橋本亮介, 高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美

    第62回応用物理学会春季学術講演会  

    発表年月: 2015年

  • 180°,90R散乱配置を用いたBrillouin散乱計測によるGaNの弾性定数測定

    市橋隼人, 柳谷隆彦, 高柳真司, 川部昌彦, 松川真美

    第62回応用物理学会春季学術講演会  

    発表年月: 2015年

  • (EM44-2-05) 「c 軸傾斜ScAlN 薄膜における擬似すべりモード電気機械結合係数のSc 濃度依存性」

    鈴木雅視, 柳谷隆彦

    第44回EMシンポジウム  

    発表年月: 2015年

  • (EM44-2-03) 「スパッタ成膜の高速負イオン照射を用いたc 軸平行配向ZnO 膜の形成と圧電デバイス応用」

    高柳真司, 柳谷隆彦, Jean-Claude Gerbedoen、Abdelkrim Talbi, 松川真美, Philippe Pernod

    第44回EMシンポジウム  

    発表年月: 2015年

  • 「Brillouin散乱法を用いた圧電性ScAlN薄膜による励起フォノンの測定」

    川部 昌彦, 柳谷 隆彦, 市橋 隼人, 高柳 真司, 鈴木 雅視, 松川 真美

    第76回応用物理学会秋季学術講演会  

    発表年月: 2015年

  • 「イオンビーム照射によるc軸平行極性反転構造ZnO薄膜の形成」

    森 剛志, 鈴木 雅視, 柳谷 隆彦

    第76回応用物理学会秋季学術講演会  

    発表年月: 2015年

  • 「斜めスパッタ蒸着法によるc軸傾斜ScAlN薄膜の形成」

    鈴木 雅視, 柳谷 隆彦

    第76回応用物理学会秋季学術講演会  

    発表年月: 2015年

  • 「Al極性(0001)ScAlN/O極性(000-1)ZnO極性反転構造の薄膜音響共振子」

    森 剛志, 鈴木 雅視, 柳谷 隆彦

    第76回応用物理学会秋季学術講演会  

    発表年月: 2015年

  • 「MHz 域における皮質骨の逆圧電効果」

    松川 沙弥果, 森 駿貴, 眞野 功, 水野 勝紀, 柳谷 隆彦, 高柳 真司, 松川 真美

    日本音響学会2016年春季研究発表会  

    発表年月: 2015年

  • 「c軸平行配向ZnO膜によるSH-SAWを用いた液体の粘度・導電率測定」

    日山彰子, 高柳真司, 松川真美, 柳谷隆彦

    圧電材料・デバイスシンポジウム2016  

    発表年月: 2015年

  • 「Brillouin散乱法を用いたc面ZnO単結晶の音響電気効果による緩和測定」

    富田昇太, 高柳真司, 松川真美, 柳谷隆彦

    圧電材料・デバイスシンポジウム2016  

    発表年月: 2015年

  • 「c軸平行配向ScAlN膜/高音速基板構造を用いたセザワ波の高い電気機械結合係数」

    高柳真司, 岡峰生, 松川真美, 柳谷隆彦

    圧電材料・デバイスシンポジウム2016  

    発表年月: 2015年

  • 「RFマグネトロンスパッタにおけるc軸平行配向ZnO膜の高品質化の検討」

    高田千裕, 高柳真司, 松川真美, 柳谷隆彦

    圧電材料・デバイスシンポジウム2016  

    発表年月: 2015年

  • 「イオンビーム照射を用いたc軸平行極性反転構造ZnO薄膜共振子」

    森剛志, 鈴木雅視, 柳谷隆彦

    圧電材料・デバイスシンポジウム2016  

    発表年月: 2015年

  • 「通常のスパッタ法を用いたAl極性ScAlN/O極性ZnO極性反転構造トランスデューサ」

    森剛志, 鈴木雅視, 柳谷隆彦

    圧電材料・デバイスシンポジウム2016  

    発表年月: 2015年

  • 「スパッタターゲットから発生するイオン種がScAlN薄膜の結晶性に及ぼす影響」

    高柳真司, 松川真美, 柳谷隆彦

    圧電材料・デバイスシンポジウム2016  

    発表年月: 2015年

  • 「IBAD 法による c 軸平行配向 ScAlN 薄膜の形成とすべりモード共振子への応用」

    岡 峰生, 高柳 真司, 柳谷 隆彦, 松川 真美

    第 36 回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム  

    発表年月: 2015年

  • 「c 軸傾斜 ScxAl-xN 薄膜(0<0.55)における擬似すべりモード電気機械結合係数」

    鈴木 雅視, 柳谷 隆彦

    第 36 回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム  

    発表年月: 2015年

  • 「Al 極性 ScAlN/O 極性 ZnO 極性反転多層構造を用いた GHz 帯高効率トランスデューサ 」

    森 剛志, 鈴木 雅視, 柳谷 隆彦

    第 36 回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム  

    発表年月: 2015年

  • 「走査型非線形誘電率顕微法による層状極性反転圧電膜の層厚の定量測定」

    寺田 浩士朗, 西川 宏明, 田中 陽, 小田川 裕之, 柳谷 隆彦, 長 康雄

    第 36 回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム  

    発表年月: 2015年

  • 「H2O 導入スパッタ法を用いて作製した c 軸平行配向 ZnO 膜のすべりモード電気機械結合係数」

    高田 千裕, 高柳 真司, 柳谷 隆彦, 松川 真美

    第 36 回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム  

    発表年月: 2015年

  • 「皮質骨中における超音波誘発電位に関する検討」

    松川 沙弥果, 森 駿貴, フォタネル エロディー, 眞野 功, 水野 勝紀, 柳谷 隆彦, 高柳 真司, 松川 真美

    第 36 回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム  

    発表年月: 2015年

  • 「Brillouin光散乱を用いたc軸配向薄膜の音速および常屈折率の同時測定」

    富田昇太, 柳谷隆彦, 鈴木雅視, 高柳真司, 松川真美

    電子情報通信学会 超音波研究会vol. 115, no02, pp.23-28  

    発表年月: 2015年

  • 「低圧RFマグネトロンスパッタ法によるc軸平行配向ZnO膜の形成とSAW、Lamb波デバイスへの応用」

    高柳真司, 柳谷隆彦, Jean-Claude Gerbedoen, Abdelkrim Talbi, 松川真美, Philippe Pernod

    電子情報通信学会 超音波研究会vol. 115, no07, pp.25-30  

    発表年月: 2015年

  • 「c軸平行配向ZnO膜/円管石英構造におけるSH波の多重周回伝搬特性と導電率測定への応用」

    日山彰子, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美

    電子情報通信学会 超音波研究会vol. 115, no07, pp.19-24  

    発表年月: 2015年

  • 「イオンビームアシストRFマグネトロンスパッタ法を用いて作製したc軸平行配向ScAlN薄膜の電気機械結合係数」

    岡峰生, 高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美

    電子情報通信学会 超音波研究会vol. 115, no07, pp.31-35  

    発表年月: 2015年

  • 「共振法およびBrillouin散乱法で測定したScAlN薄膜の弾性定数テンソルのSc濃度依存性」

    柳谷隆彦, 市橋隼人, 鈴木雅視, 高柳真司, 松川真美

    電子情報通信学会 超音波研究会vol. 115, no07, pp.37-42  

    発表年月: 2015年

  • 「ScAlN圧電薄膜から励起されたコヒーレントフォノンのBrillouin散乱」

    趙恩慧, 川部昌彦, 高柳真司, 鈴木雅視, 柳谷隆彦, 松川真美

    電子情報通信学会 超音波研究会vol. 115, no46, pp.27-30,  

    発表年月: 2015年

  • 「走査型非線形誘電率顕微法による極性反転層状構造圧電膜の層厚の定量測定」

    寺田浩士朗, 西川宏明, 田中陽平, 小田川裕之, 柳谷隆彦, 長康雄

    電子情報通信学会 超音波研究会vol. 115, no46, pp.23-26  

    発表年月: 2015年

  • “Multiple SH wave roundtrip type liquid sensor of pipe structure with c-axis parallel oriented ZnO film”

    S. Hiyama, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa

    International Congress of Ultrasonics  

    発表年月: 2015年

  • “High Tc /High Coupling Perovskite Thin Films,”

    K. Wasa, T. Matsushima, H. Adachi, T. Matsunaga, T. Yanagitani, T. Yamamoto

    IEEE ISAF/IWATMD/PFM, pp. 1-4, (2014).  

    発表年月: 2015年

  • “ScAlN thin film transducers for ultrasonic microscopy in the VHF range”

    Y. Korai, M.i Suzuki, T. Yanagitani

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2015年

  • “Measurement of acoustic wave velocity and refractive index in thickness direction of c-axis oriented ScAlN films by Brillouin scattering”

    S. Tomita, T. Yanagitani, M. Suzuki, H. Ichihashi, S. Takayanagi, M. Matsukawa

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2015年

  • “Shear mode properties of c-axis parallel oriented ScxAl1-xN films grown by RF bias sputtering“

    S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2015年

  • “c-axis parallel polarity inverted multilayer ZnO film resonators fabricated by grazing ion beam assisted RF magnetron sputtering”

    T. Mori, T. Yanagitani, M. Suzuki

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2015年

  • “Ultrasound radiation from bone transducer in the MHz range”

    S. Matsukawa, H. Tsuneda, I. Mano, K. Mizuno, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2015年

  • “Quasi-shear mode electromechanical coupling k'15 and shear wave velocity in c-axis tilted ScxAl1-xN films”

    M. Suzuki, T. Yanagitani

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2015年

  • “Elastic constant cij E tensors of (0001) ScxAl1-xN films (x=0-0.63)”

    T. Yanagitani, H. Ichihashi, M. Suzuki, S. Takayanagi, M. Matsukawa

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2015年

  • “c-Axis parallel oriented ScAlN films grown by ion-beam assisted RF magnetron sputtering”

    M. Oka, S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2015年

  • “Conductivity measurement of liquid by SH-SAW sensor consisting of IDT/(11-20) oriented ZnO film/silica glass substrate “

    S. Hiyama, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2015年

  • “High order mode polarity inverted Al-polar (0001) ScAlN/O-polar (000-1) ZnO film resonator”

    T. Mori, T. Yanagitani, M. Suzuki

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2015年

  • “Fast wave velocity measurement by Brillouin scattering using induced phonon from ScAlN piezoelectric thin film”

    M. Kawabe, T. Yanagitani, H. Ichihashi, S. Takayanagi, M. Suzuki, M. Matsukawa

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2015年

  • Elastic constants c11 and c66 in ScxAl1-xN films determined by Brillouin scattering method

    H. Ichihashi, T. Yanagitani, M. Suzuki, S. Takayanagi, M. Kawabe, M. Matsukawa

    The 35th Symposium on Ultrasonic Electronics  

    発表年月: 2014年

  • Brillouin scattering measurement using induced phonon from ScAlN piezoelectric thin film

    M. Kawabe, T. Yanagitani, H. Ichihashi, S. Takayanagi, M. Suzuki, M. Matsukawa

    The 35th Symposium on Ultrasonic Electronics  

    発表年月: 2014年

  • Effects of microstructure on bone piezoelectricity in the MHz range

    H. Tsuneda, S. Matsukawa, I. Mano, K. Mizuno, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa

    The 35th Symposium on Ultrasonic Electronics  

    発表年月: 2014年

  • Propagation characteristics of SH-wave in c-axis parallel oriented ZnO film/silica glass pipe

    S. Hiyama, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa

    The 35th Symposium on Ultrasonic Electronics  

    発表年月: 2014年

  • Second overtone mode (0001)/(000-1) ScAlN multilayer FBARs fabricated by anode RF bias

    M. Suzuki, T. Yanagitani

    The 35th Symposium on Ultrasonic Electronics  

    発表年月: 2014年

  • Second overtone mode polarization inverted HBAR consisting of (001)/(00-1) PbTiO3 epitaxial

    T. Yanagitani, K. Katada, M. Suzuki, K. Wasa

    The 35th Symposium on Ultrasonic Electronics  

    発表年月: 2014年

  • PbTiO3エピタキシャル薄膜を用いた二次モード分極反転共振子

    片田克吉, 柳谷隆彦, 鈴木雅視, 和佐清孝

    電子情報通信学会 超音波研究会  

    発表年月: 2014年

  • 極性反転ScAlN系薄膜の境界を伝搬するセザワ波の高い電気機械結合係数

    高柳真司, 柳谷隆彦, 松川 真美

    EMシンポジウム2014  

    発表年月: 2014年

  • イオン照射による極性反転 ScAlN 薄膜の形成と高次モードFBAR への応用

    柳谷隆彦, 鈴木雅視

    EMシンポジウム2014  

    発表年月: 2014年

  • 超音波照射により皮質骨に発生する誘発電位の検討

    常田裕子, 都築温実, 水野勝紀, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美

    圧電材料・デバイスシンポジウム2014  

    発表年月: 2014年

  • 極性反転ZnOおよびAlN系薄膜の境界を伝搬するセザワ波の高い電気機械結合係数

    高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美

    圧電材料・デバイスシンポジウム2014  

    発表年月: 2014年

  • RFバイアス三極スパッタ法によるイオン照射を用いたO面,Zn面,a面およびm面ZnO薄膜の配向制御

    橋本亮介, 高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美

    圧電材料・デバイスシンポジウム2014  

    発表年月: 2014年

  • c軸平行配向ZnO膜/平面・円管状石英上を伝搬するSH-SAWの液体センサ応用

    加藤善也, 柳谷隆彦, 高柳真司, 日山彰子, 横山晋哉, 松川真美

    圧電材料・デバイスシンポジウム2014  

    発表年月: 2014年

  • Bi(Me)O3-PbTiO3 高キュリー温度セラミックスの単結晶薄膜化

    和佐清孝, 松嶋朝明, 足立秀明, 松永利之, 柳谷隆彦, 山本孝

    圧電材料・デバイスシンポジウム2014  

    発表年月: 2014年

  • イオンビーム照射成膜によるc軸垂直配向希土類GaN薄膜の形成

    鈴木雅視, 柳谷隆彦

    第61 回応用物理学会春季学術講演会  

    発表年月: 2014年

  • エピタキシャルPZT 厚膜を用いた高温600℃における高効率超音波励振

    片田 克吉, 鈴木雅視, 柳谷隆彦, 和佐清孝

    日本音響学会春季研究発表会  

    発表年月: 2014年

  • 圧電効果を利用した導電率計測技術

    柳谷隆彦

    研究集会「地震学をとりまく固体地球物理学」  

    発表年月: 2014年

  • PZT系エピタキシャル薄膜を用いた二次モード分極反転共振子

    片田克吉, 柳谷隆彦, 鈴木雅視, 和佐清孝

    圧電材料・デバイスシンポジウム2014  

    発表年月: 2014年

  • c軸傾斜ScAlN薄膜の擬似すべりモード電気機械結合係数

    鈴木雅視, 片田克吉, 柳谷隆彦

    圧電材料・デバイスシンポジウム2014  

    発表年月: 2014年

  • 音響電気効果を考慮したGaN単結晶のGHz域音速の温度・周波数分散測

    市橋隼人, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美

    圧電材料・デバイスシンポジウム2014  

    発表年月: 2014年

  • エピタキシャルPZT系厚膜の高温550℃における高い電気機械結合係数

    柳谷隆彦, 片田克吉, 鈴木雅視, 和佐清孝

    圧電材料・デバイスシンポジウム2014  

    発表年月: 2014年

  • Second overtone mode polarization inverted resonator consisting of (001)/(00-1) PbTiO3 thin film

    S. Hiyama, T. Yanagitani, S. Takayanagi, Y. Kato, M. Matsukawa

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2014年

  • RF bias induced polarity inversion of ScAlN film for overtone mode BAW resonator

    M. Suzuki, T. Yanagitani

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2014年

  • Effect of Sc concentration on shear wave velocities in ScAlN films measured by micro-Brillouin scattering technique

    H. Ichihashi, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2014年

  • Effect of sputtering target temperature on crystalline orientations of ZnO piezoelectric films in RF magnetron sputtering

    C. Takata, S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2014年

  • Polarity of piezoelectric properties in bone induced by ultrasound irradiation

    H. Tsuneda, I. Mano, E. Hernanz, K. Mizuno, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2014年

  • Sezawa mode SAW with high electromechanical coupling at the boundary of polarization-inverted (000-1)/(0001) ZnO, AlN and ScAlN films

    S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2014年

  • Multiple shear wave roundtrips liquid sensor by c-axis parallel oriented ZnO film/silica glass pipe structure

    S. Hiyama, T. Yanagitani, S. Takayanagi, Y. Kato, M. Matsukawa

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2014年

  • Measurement of Polarization Structure in Layered Piezoelectric Thin Films Using Scanning Nonlinear Dielectric Microscopy

    H. Odagawa, T. Yanagitani, Y. Cho

    European Conference on Application of Polar Dielectrics 2014  

    発表年月: 2014年

  • High electromechanical coupling in PZT epitaxial thick film resonators at 550 degC

    T. Yanagitani, K. Katada, M. Suzuki, K . Wasa

    IEEE International Frequency Control Symposium  

    発表年月: 2014年

  • Second harmonic mode polarization inverted resonator consisting of PbTiO3 thin film

    K. Katada, T. Yanagitani, M. Suzuki, K . Wasa

    IEEE International Frequency Control Symposium  

    発表年月: 2014年

  • High Tc / High Coupling Perovskite Thin Films

    K. Wasa, T. Matsushima, H. Adachi, T. Matsunaga, T. Yanagitani, T. Yamamoto, S. Yoshina, S. Tanaka

    2014 Joint IEEE ISAF-IWATMD-PFM  

    発表年月: 2014年

  • Sezawa Mode SAW with High Electromechanical Coupling at The Boundary of Polarization-Inverted ScAlN Film Stuructures

    発表年月: 2014年

  • Polarity-inverted ScAlN film growth by ion beam irradiation and application to high overtone acoustic wave film resonators

    発表年月: 2014年

  • RFバイアススパッタ法により生じる高エネルギー正イオン照射を利用した六方晶系薄膜の配向制御

    高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美

    第60回応用物理学会春季学術講演会  

    発表年月: 2013年

  • c軸配向ZnO薄膜を用いた極性反転高次モード多層共振子

    生駒遼, 柳谷隆彦, 高柳真司, 鈴木雅視, 小田川裕之, 松川真美

    第60回応用物理学会春季学術講演会  

    発表年月: 2013年

  • c軸傾斜配向ZnOまたはScAlN膜のレイリーSAWにおける高い電気機械結合

    加藤善也, 柳谷隆彦, 高柳真司, 今村功祐, 松川真美

    第60回応用物理学会春季学術講演会  

    発表年月: 2013年

  • Brillouin散乱法によるGaN単結晶の音波物性測定

    市橋隼人, 杉本剛士, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美

    第60回応用物理学会春季学術講演会  

    発表年月: 2013年

  • c軸配向ZnO膜の極性制御と極性反転高次モード共振子への応用

    生駒遼, 柳谷隆彦, 高柳真司, 鈴木雅視, 小田川裕之, 松川真美

    圧電材料・デバイスシンポジウム2013  

    発表年月: 2013年

  • IDT/c軸平行配向ZnO膜/円柱状石英ガラス上を多重周回するSH-SAWの液体中伝搬特性

    今村功祐, 柳谷隆彦, 加藤善也, 松川真美

    圧電材料・デバイスシンポジウム2013  

    発表年月: 2013年

  • c軸平行配向ZnO膜を用いた厚みすべりモード共振子によるアポリポタンパク質の濃度評価

    吉田憲司, 柳谷隆彦, 川本貴之, 佐々木昌, 大場正利, 加藤善也, 高柳真司, 渡辺好章

    圧電材料・デバイスシンポジウム2013  

    発表年月: 2013年

  • c軸傾斜配向ZnOまたはScAlN膜のレイリーSAWにおける高い電気機械結合係数

    加藤善也, 柳谷隆彦, 高柳真司, 今村功佑, 松川真美

    圧電材料・デバイスシンポジウム2013  

    発表年月: 2013年

  • 高温で高い圧電性を持つMnドープZnO薄膜

    橋本亮介, 柳谷隆彦, 今村功祐, 生駒遼, 高柳真司, 松川真美

    圧電材料・デバイスシンポジウム2013  

    発表年月: 2013年

  • 厚み共振を利用した圧電薄膜成長初期における無配向層の厚み評価

    高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美

    第74回応用物理学会秋季学術講演会  

    発表年月: 2013年

  • 超音波照射による骨の誘発電位

    常田裕子, 沖野正裕, 水野勝紀, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美

    平成25年度第2回アコースティックイメージング研究会  

    発表年月: 2013年

  • MHz域の超音波照射による骨の誘発電位

    常田裕子, 沖野正裕, 水野勝紀, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美

    第33回日本骨形態計測学会  

    発表年月: 2013年

  • 超音波骨トランスデューサの受波感度の検討

    常田裕子, 沖野正裕, 水野勝紀, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美

    日本音響学会2013年春季研究発表会  

    発表年月: 2013年

  • RFバイアススパッタ法による高エネルギー正イオン照射を用いた六方晶系圧電薄膜の配向制御

    高柳 真司, 柳谷隆彦, 松川 真美

    圧電材料・デバイスシンポジウム2013  

    発表年月: 2013年

  • c-axis parallel oriented multilayer AlN film grown by ion-beam assisted deposition

    鈴木雅視, 柳谷隆彦

    第23回日本MRS年次大会  

    発表年月: 2013年

  • Brillouin 散乱法を用いたGaN 単結晶の音速分散測定

    市橋隼人, 柳谷隆彦, 高柳真司, 川部昌彦, 松川真美

    第34回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム  

    発表年月: 2013年

  • ScAlN 膜における相境界付近のGHz 帯圧電特性と弾性温度係数

    鈴木雅視, 柳谷隆彦

    第34回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム  

    発表年月: 2013年

  • GHz 帯超音波励振を用いたエピタキシャルPZT 薄膜の分極反転挙動観察

    柳谷隆彦, 鈴木雅視, 和佐清孝

    第34回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム  

    発表年月: 2013年

  • c 軸傾斜および平行配向ScAlN 薄膜/ 基板構造における弾性表面波の高い電気機械結合係数

    高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美

    第34回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム  

    発表年月: 2013年

  • イオンビームアシスト成膜法によるc軸平行螺旋構造AlN薄膜の形成

    鈴木雅視, 柳谷隆彦

    第74回応用物理学会秋季学術講演会  

    発表年月: 2013年

  • イオンビームアシスト成膜によるc軸平行極性反転AlN多層構造の形成

    鈴木雅視, 柳谷隆彦

    第60回応用物理学会春季学術講演会  

    発表年月: 2013年

  • 希土類を添加したGaN薄膜の相境界付近における巨大圧電性

    鈴木雅視, 伊藤一也, 柳谷隆彦

    第60回応用物理学会春季学術講演会  

    発表年月: 2013年

  • PZT系単結晶薄膜のGHz帯圧電特性とバイアス印可時の分極反転挙動

    柳谷隆彦, 鈴木雅視, 和佐清孝

    圧電材料・デバイスシンポジウム2013  

    発表年月: 2013年

  • 希土類を添加したAlNおよびGaN薄膜の圧電特性

    伊藤一也, 鈴木雅視, 柳谷隆彦

    圧電材料・デバイスシンポジウム2013  

    発表年月: 2013年

  • AlN系薄膜におけるイオンビームを用いたc軸平行螺旋構造およびc軸垂直極性反転構造の形成

    鈴木雅視, 柳谷隆彦

    圧電材料・デバイスシンポジウム2013  

    発表年月: 2013年

  • 平行配向ZnO圧電薄膜を用いた液中横波励振デバイス

    柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章

    マイクロEMデバイス・システムとICの融合化技術調査専門委員会  

    発表年月: 2013年

  • 「講演奨励賞受賞記念講演」イオンビーム照射成膜によるAlN薄膜の極性・配向制御および極性反転多層構造の形成

    鈴木雅視, 柳谷隆彦

    第74回応用物理学会秋季学術講演会  

    発表年月: 2013年

  • Characterization of GHz electromechanical properties of PZT single crystalline thin Films without removing substrate

    T. Yanagitani, M. Suzuki, K. Wasa

    IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium  

    発表年月: 2013年

  • PZT-based high coupling with low permittivity thin films

    K. Wasa, T. Matsushima, H. Adachi, T. Matsunaga, T. Yanagitani, T. Yamamoto, S. Trolier-McKinstry

    IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium  

    発表年月: 2013年

  • Enhancement of electromechanical coupling kt in rare earth doped c-axis oriented GaN films

    M. Suzuki, T. Yanagitani

    IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium  

    発表年月: 2013年

  • Electromechanical coupling kt and GHzl ongitudinal wave velocity in ScAlN films near phase boundary

    M. Suzuki, T. Yanagitani

    IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium  

    発表年月: 2013年

  • Polarity control of c-axis oriented ZnO films and application to polarity-inverted ZnO multilayer resonators

    R. Hashimoto, T. Yanagitani, Ryo Ikoma, S. Takayanagi, M. Suzuki, H. Odagawa, M. Matsukawa

    IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium  

    発表年月: 2013年

  • Shear and longitudinal GHz elastic properties in GaN single crystals determined by Brillouin scattering method

    H. Ichihashi, T. Sugimoto, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa

    IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium  

    発表年月: 2013年

  • Orientation control of ZnO films by highly-energetic positive ion irradiation using RF substrate bias sputtering

    S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa

    IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium  

    発表年月: 2013年

  • Multiple roundtrip SH-SAW liquid sensor using c-axis parallel oriented ZnO films on silica glass pipe

    Y. Kato, T. Yanagitani, K. Imamura, S. Takayanagi, M. Matsukawa

    IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium  

    発表年月: 2013年

  • Detection of antigen-antibody reaction by thickness-shear mode resonators consisting of caxis parallel oriented ZnO films

    K. Yoshida, T. Yanagitani, T. Kawamoto, S. Sasaki, M. Oba, Y. Kato, S. Takayanagi, Y. Watanabe

    IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium  

    発表年月: 2013年

  • Electrical potentials in wet induced by ultrasound irradiation

    H. Tsuneda, M. Okino, K. Mizuno, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa

    European Symposium on Ultrasonic Characterization of Bone 2013  

    発表年月: 2013年

  • Polarization control of c-axis normal ScAlN film by ion beam irradiation

    M. Suzuki, Y. Takahiko, H. Odagawa

    International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications  

    発表年月: 2013年

  • c軸配向ZnO薄膜における基板へのイオン照射を用いたZn面またはO面極性制御

    生駒 遼, 柳谷隆彦, 高柳, 真司, 鈴木, 雅視, 小田川, 裕之, 松川 真美

    第33回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム  

    発表年月: 2012年

  • MHz域における骨の電気機械変換特性

    沖野 正裕, 水野, 勝紀, 柳谷隆彦, クテル サビーヌ, 松川 真美

    第33回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム  

    発表年月: 2012年

  • c軸傾斜配向ZnO膜/石英基板構造のレイリーSAWにおける高い電気機械結合係数

    高柳 真司, 柳谷隆彦, 今村 功祐, 生駒 遼, 杉本 剛士, 松川 真美

    第33回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム  

    発表年月: 2012年

  • RFバイアススパッタ法によるc軸平行配向AlN及びScAlN薄膜の形成

    高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美

    第73回応用物理学会学術講演会  

    発表年月: 2012年

  • RFマグネトロンスパッタ法における基板へのイオン照射を用いた c軸配向ZnO薄膜の極性制御

    生駒遼, 柳谷隆彦, 高柳真司, 鈴木雅視, 小田川裕之

    第73回応用物理学会学術講演会  

    発表年月: 2012年

  • 圧電薄膜の配向制御技術と液中横波励振

    柳谷隆彦

    スマート・アクチュエータ/センサ委員会定例会  

    発表年月: 2012年

  • マグネトロンスパッタ源から生成される高エネルギー負イオン照射によるZnO膜の配向制御

    高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章

    応用物理学関係連合講演会  

    発表年月: 2012年

  • c軸平行配向ZnO膜を用いたSH-SAWセンサによる液体の導電率測定

    中東佑太, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章

    応用物理学関係連合講演会  

    発表年月: 2012年

  • イオンビームアシストスパッタ法によるc軸平行AlN薄膜/石英基板の形成

    鈴木雅視, 柳谷隆彦

    応用物理学関係連合講演会  

    発表年月: 2012年

  • マグネトロンスパッタ源から生成する高速負イオンを利用したZnO膜の配向制御

    高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章

    圧電材料・デバイスシンポジウム2012  

    発表年月: 2012年

  • (0001)配向AlNおよびScAlN薄膜を用いた極性反転共振子

    鈴木雅視, 菅沼信広, 柳谷隆彦, 小田川裕之

    圧電材料・デバイスシンポジウム2012  

    発表年月: 2012年

  • Sc粒スパッタによる巨大圧電性(0001)ScAlN薄膜の作製 -効率的なSc代替材料探索を目指した成膜法-

    菅沼信広, 鈴木雅視, 柳谷隆彦

    圧電材料・デバイスシンポジウム2012  

    発表年月: 2012年

  • 希土類-III-IV族系巨大圧電性薄膜やPZT単結晶薄膜の相境界の実験的研究

    関西・中部誘電体セミナー  

    発表年月: 2012年

  • Al2O3粒スパッタ法よる(0001)配向ScAlN薄膜の極性制御と極性反転共振子

    鈴木雅視, 柳谷隆彦, 小田川裕之

    第33回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム  

    発表年月: 2012年

  • 巨大圧電性 (0001) ScAlGaN薄膜

    伊藤 一也, 鈴木 雅視, 柳谷隆彦

    第33回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム  

    発表年月: 2012年

  • c 軸垂直極性反転ScAlN 多層膜を用いた高次モード音響共振子

    鈴木雅視, 柳谷隆彦

    日本音響学会2012年秋季研究発表会  

    発表年月: 2012年

  • イオンビーム照射成膜による(0001)配向ScAlN薄膜の極性制御と極性反転構造の実現

    鈴木雅視, 柳谷隆彦, 小田川裕之

    第73回応用物理学会学術講演会  

    発表年月: 2012年

  • Sc粒スパッタによる巨大圧電性(0001)ScAlN薄膜共振子の作製

    柳谷隆彦, 菅沼信広, 鈴木雅視

    応用物理学関係連合講演会  

    発表年月: 2012年

  • c軸平行配向AlN圧電膜を用いた高次モード極性反転すべりモード共振子

    鈴木雅視, 柳谷隆彦

    日本音響学会2012年春季研究発表会  

    発表年月: 2012年

  • High electromechanical coupling of PMnN-PZT thin film resonator operating in the GHz range

    T. Yanagitani, M. Suzuki, K. Wasa

    IEEE International Ultrason. Symp  

    発表年月: 2012年

  • Fast hypersonic velocity measurement by Brillouin scattering from induced phonons

    T. Sugimoto, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa

    IEEE International Ultrason. Symp  

    発表年月: 2012年

  • Metal grain ingot sputtering method for ScAlN film fabrication and for searching alternative element of Sc

    T. Yanagitani, M. Suzuki, N. Suganuma

    IEEE International Ultrason. Symp  

    発表年月: 2012年

  • Polarization inverted (0001)/(000-1) ScAlN film resonators operating in second overtone mode

    M. Suzuki, T. Yanagitani, H. Odagawa

    IEEE International Ultrason. Symp  

    発表年月: 2012年

  • Micro liquid viscometer by thickness-shear mode resonator with c-axis parallel oriented ZnO film

    Y. Kato, T. Yanagitani, M. Matsukawa, M. Sawasaki, T. Kawamoto, Y. Mori, S. Takayanagi, S. Sasaki, M. Oba, Y. Watanabe

    IEEE International Ultrason. Symp  

    発表年月: 2012年

  • Bone ultrasound transducer in the MHz range

    M. Okino, K. Mizuno, S. Takayanagi, D. Suga, T. Yanagitani, M. Matsukawa

    IEEE International Ultrason. Symp  

    発表年月: 2012年

  • Fabrication of c-axis parallel oriented AlN and ScAlN films by RF bias sputtering

    S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa

    IEEE International Ultrason. Symp  

    発表年月: 2012年

  • Polarization control of the c-axis oriented ZnO films by ion bombardment during an RF magnetron sputtering

    R. Ikoma, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Suzuki, H. Odagawa, M. Matsukawa

    IEEE International Ultrason. Symp  

    発表年月: 2012年

  • Sc 粒のスパッタにより作製したScAlN 薄膜の電気機械結合係数

    菅沼信広, 鈴木雅視, 柳谷隆彦

    第32回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム  

    発表年月: 2011年

  • IBAD 法によるc 軸平行配向AlN 薄膜を用いた極性反転多層膜すべり共振子

    鈴木雅視, 菅沼信広, 柳谷隆彦

    第32回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム  

    発表年月: 2011年

  • IBAD法を用いたc軸平行配向AlN薄膜の作製および極性反転すべり共振子への応用

    鈴木雅視, 菅沼信広, 柳谷隆彦

    電子情報通信学会超音波研究会  

    発表年月: 2011年

  • c軸平行配向ZnO膜/非晶質基板上を伝搬するSH-SAWの電気機械結合係数

    中東佑太, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章

    電子情報通信学会超音波研究会  

    発表年月: 2011年

  • ZnO圧電薄膜によるGHz域の励起フォノンを利用した高速Brillouin散乱測定

    杉本剛士, 佐野広幸, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美

    電子情報通信学会超音波研究会  

    発表年月: 2011年

  • 曲面試料上に成膜したZnO 薄膜からの励起フォノンによるBrillouin 散乱

    杉本剛士, 佐野広幸, 中東佑太, 高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美

    日本音響学会春季研究発表会  

    発表年月: 2011年

  • c軸平行配向ZnO膜/非圧電性基板構造におけるSH-SAWの電気機械結合係数およびセンサ応用の検討

    中東佑太, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章

    圧電材料・デバイスシンポジウム2011  

    発表年月: 2011年

  • c軸平行配向AlN薄膜を用いた極性反転すべり共振子

    鈴木雅視, 柳谷隆彦

    圧電材料・デバイスシンポジウム2011  

    発表年月: 2011年

  • Polarizaion-inverted multilayered pure shear mode AlN film resonator

    M. Suzuki, T. Yanagitani

    IEEE International Ultrason. Symp  

    発表年月: 2011年

  • c-axis parallel oriented AlN film resonator fabricated by ion-beam assisted RF magnetron sputtering

    M. Suzuki, T. Yanagitani

    IEEE International Ultrason. Symp  

    発表年月: 2011年

  • Brillouin scattering from induced phonons excited by the ZnO piezoelectric thin film with a coaxial resonator

    T. Sugimoto, H. Sano, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa

    IEEE International Ultrason. Symp  

    発表年月: 2011年

  • High temperature piezoelectricity in Mn doped ZnO film

    K. Imamura, S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe

    IEEE International Ultrason. Symp  

    発表年月: 2011年

  • c-axis parallel oriented ZnO film SH-SAW sensor for electrical conductivity measurement in liquid

    Y. Nakahigashi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe

    IEEE International Ultrason. Symp  

    発表年月: 2011年

  • Quantitative analysis of the effect of energetic particle bombardment during deposition on (11-20) ZnO piezoelectric films

    S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe

    IEEE International Ultrason. Symp  

    発表年月: 2011年

  • Three dimensional anisotropy of ultrasonic wave velocity in bovine cortical bone - Effects of HAp crystallites orientation and microstructure -

    中辻 知宏, 山本, 和史, 山下, 圭祐, 柳谷隆彦, 松川, 真美, 山崎, 薫, 松山 幸弘

    第31回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム  

    発表年月: 2010年

  • c-axis parallel oriented ZnO film depositions by variable frequency RF bias sputtering

    S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe

    第31回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム  

    発表年月: 2010年

  • Giant shear mode electromechanical coupling in c-axis tilted ScAlN films

    Takahiko Yanagitani, Arakawa Kazuki, Suzuki Masashi, Kano Kazuhiko, T.Akihiko

    第31回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム  

    発表年月: 2010年

  • In-plane and out-of-plane orientation control of AlN films by ion beam assisted RF magnetron sputtering

    鈴木 雅視, 柳谷隆彦

    第31回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム  

    発表年月: 2010年

  • Observation of induced phonons by ZnO transducer with coaxial microwave resonator using Brillouin scattering

    H. Sano, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa, N. Ohtori

    第31回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム  

    発表年月: 2010年

  • ウシ左右大腿骨皮質骨中の特徴的な3次元音速異方性 ~ 最大音速方向の骨軸からのずれについて ~

    中辻知宏, 山本和史, 高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美, 山崎薫

    電子情報通信学会超音波研究会  

    発表年月: 2010年

  • Brillouin散乱法による同軸共振器と圧電薄膜を用いた励起フォノンの観測

    佐野広幸, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美

    電子情報通信学会超音波研究会  

    発表年月: 2010年

  • RFバイアススパッタ法によるc軸平行配向ZnO薄膜の形成 ~ バイアス周波数が配向性に及ぼす影響 ~

    高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章

    電子情報通信学会超音波研究会  

    発表年月: 2010年

  • c 軸傾斜配向ScAlN 膜の擬似すべりモードにおける巨大圧電性

    柳谷隆彦, 秋山守人

    日本音響学会秋季研究発表会  

    発表年月: 2010年

  • Brillouin 散乱法による導電性ZnO 単結晶を用いた擬似すべりモード電気機械結合係数k15´の評価

    佐野広幸, 柳谷隆彦, 松川真美

    日本音響学会秋季研究発表会  

    発表年月: 2010年

  • RFバイアススパッタ法による簡便な(11-20)および(10-10)配向ZnO膜の形成

    高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章

    第57回 応用物理学関係連合講演会  

    発表年月: 2010年

  • 傾斜配向AlN膜の結晶粒界と横波音響特性

    鈴木雅視, 柳谷隆彦

    日本音響学会春季研究発表会  

    発表年月: 2010年

  • Brillouin散乱法による圧電半導体の面内方向抵抗率評価

    柳谷隆彦, 佐野広幸, 松川真美

    日本音響学会春季研究発表会  

    発表年月: 2010年

  • 傾斜配向AlN膜の構造が横波音響特性におよぼす影響

    鈴木雅視, 柳谷隆彦

    圧電材料・デバイスシンポジウム2010  

    発表年月: 2010年

  • RFバイアススパッタ法による簡便な面内配向ZnO薄膜の形成

    高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章

    圧電材料・デバイスシンポジウム2010  

    発表年月: 2010年

  • Highest wave velocity direction in the bovine cortical bone: observation of a small tilt relative to the bone axis

    T. Nakatsuji, K. Yamamoto, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2010年

  • Deposition techniques of c-axis-tilted ScAlN films by conventional RF magnetron sputtering

    K. Arakawa, T. Yanagitani, K. Kano, A. Teshigahara, M. Akiyama

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2010年

  • Influence of shadowing effect on shear mode acoustic properties in the c-axis tilted AlN films

    M Suzuki, T. Yanagitani

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2010年

  • Effects of HAp alignment and microstructure on the anisotropy of longitudinal wave velocity in bovine cortical bone

    K. Yamamoto, T. Nakatsuji, Y. Yamato, T. Yanagitani, K. Yamazaki, M. Matsukawa, Y. Matsuyama

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2010年

  • A simple technique for obtaining (11-20) or (10-10) textured ZnO films by RF bias sputtering

    S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2010年

  • Giant shear mode electromechanical coupling coefficient k15 in c-axis tilted ScAlN films

    T. Yanagitani, K. Arakawa, M. Suzuki, K. Kano, T. Akihiko, A. Morito

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2010年

  • Anisotropy of longitudinal wave velocity in spherically shaped bovine cortical bone

    K. Yamamoto, T. Nakatsuji, M. Indo, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki

    The third international conference on the development of Biomedical Engineering  

    発表年月: 2010年

  • Piezoelectric properties of c-axis highly tilted AlN films

    鈴木雅視, 柳谷隆彦

    The 30th Symposium on Ultrasonic Electronics  

    発表年月: 2009年

  • Multilayer shear mode resonator consisting of c-axis tilted ZnO films

    守里直希, 高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章

    The 30th Symposium on Ultrasonic Electronics  

    発表年月: 2009年

  • Crystallographic characteristics of (11-20) textured ZnO piezoelectric films fabricated by magnetron sputtering with linear erosion

    川本貴之, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章, 森嘉一, 佐々木昌, 大場正利

    The 30th Symposium on Ultrasonic Electronics  

    発表年月: 2009年

  • Measurement of in-plane electric properties in a wide band-gap semiconductor by Brillouin scattering method

    柳谷隆彦, 佐野広幸, 松川真美

    The 30th Symposium on Ultrasonic Electronics  

    発表年月: 2009年

  • ウシ大腿骨皮質骨の縦波音速異方性とHAp結晶配向

    山本 和史, 大和 雄, 山崎 薫, 長野 昭, 矢追 佑一郎, 中辻 智宏, 松川 真美, 柳谷隆彦

    日本整形外科学会基礎学術集会  

    発表年月: 2009年

  • 直線状エロージョンマグネトロンスパッタリングによる(11-20)配向ZnO圧電膜の大面積成膜

    川本貴之, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章, 森嘉一, 佐々木昌, 大場正利

    電子情報通信学会超音波研究会  

    発表年月: 2009年

  • Brillouin散乱法による圧電半導体の面内方向電気特性評価に関する検討

    柳谷隆彦, 佐野広幸, 松川真美

    電子情報通信学会超音波研究会  

    発表年月: 2009年

  • c軸傾斜反転配向ZnO多層膜の作製と横波共振子への応用

    守里直希, 高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章

    電子情報通信学会超音波研究会  

    発表年月: 2009年

  • ウシ大腿骨皮質骨中の超音波縦波音速 ハイドロキシアパタイト結晶配向と微細構造の影響

    矢追佑一郎, 松川真美, 山本和史, 山崎薫, 柳谷隆彦

    電子情報通信学会超音波研究会  

    発表年月: 2009年

  • ヒト及びウシ円環状皮質骨における骨軸方向への超音波伝搬特性

    大和雄, 山崎薫, 長野昭, 松川真美, 矢追佑一郎, 中辻智宏, 柳谷隆彦

    日本骨形態計測学会  

    発表年月: 2009年

  • Brillouin散乱法による圧電半導体の面内方向抵抗率分布の評価

    柳谷隆彦, 佐野広幸, 松川真美

    第56回応用物理学関係連合講演会  

    発表年月: 2009年

  • Relationships between anisotropy of longitudinal wave velocity and HAp orientation in bovine cortical bone

    Kazufumi YAMAMOTO, Tomohiro NAKATSUJI, Yuichiro YAOI, Yu YAMATO, Takahiko YANAGITANI, Mami MATSUKAWA, Kaoru YAMAZAKI

    3rd European Symposium on Ultrasonic Characterization of Bone  

    発表年月: 2009年

  • Measurement of electric properties in a ZnO single crystal via electromechanical coupling using Brillouin scattering method

    N. Morisato, S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2009年

  • Multilayered shear wave resonator consisting of c-axis tilted ZnO films

    N. Morisato, S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2009年

  • Anisotropy of longitudinal wave velocity and HAp orientation in bovine cortical bone

    Yaoi Y, Yamamoto K, Yanagitani T, Koizumi T, Matsukawa M, Yamazaki K, Nagano A

    International Congress on Ultrasonics (ICU) 2009  

    発表年月: 2009年

  • Ultrasonic wave properties in the bone axis direction of human and bovine cortical bone

    Yamamoto K, Yaoi Y, Grondin J, Grimal Q, Yamato Y, Yanagitani T, Matsukawa M, Laugier P, Yamazaki K, Nagano A

    International Congress on Ultrasonics (ICU) 2009  

    発表年月: 2009年

  • Anisotropy of longitudinal ultrasound velocity and HAp orientation in bovine cortical bone

    Y. Yaoi, K.i Yamamot, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki, A. Nagano

    The 29th Symposium on Ultrasonic Electronics  

    発表年月: 2008年

  • Pure-shear mode BAW resonator consisting of (1120) textured AlN films

    T. Yanagitani, M. Kiuchi

    The 29th Symposium on Ultrasonic Electronics  

    発表年月: 2008年

  • Electromechanical coupling coefficient of semiconducting piezoelectric crystal measured by Brillouin scattering

    T. Yoshida, T. Yanagitani, M. Matsukawa

    The 29th Symposium on Ultrasonic Electronics  

    発表年月: 2008年

  • イオン照射による六方晶系薄膜の配向制御と横波モード圧電デバイス

    柳谷隆彦, 木内正人

    日本セラミック協会第21 回秋季シンポジウム  

    発表年月: 2008年

  • (11-20)配向AlN圧電薄膜を用いた純横波モード共振子

    柳谷隆彦, 木内正人, 松川真美

    第69回応用物理学会学術講演会  

    発表年月: 2008年

  • Brillouin散乱法を用いた六方晶系圧電薄膜の評価

    吉田泰祐, 坂本雅則, 柳谷隆彦, 松川真美

    圧電材料・デバイスシンポジウム2008  

    発表年月: 2008年

  • Pure-shear mode BAW resonators consisting of (11-20) textured ZnO films

    T. Yanagitani, M. Kiuch, M. Matsukawa, Y. Watanabe

    Acoustics 08  

    発表年月: 2008年

  • Observation of induced shear acoustic phonons by Brillouin scattering

    T. Yoshida, S. Murata, T. Yanagitani, M. Matsukawa

    Acoustic 08  

    発表年月: 2008年

  • Ultrasonic wave properties in the bone axis direction of bovine cortical bone

    K. Yamamoto, Y. Yaoi, Y. Yamato, T. Yanagitani, T. Koizumi, M. Matsukawa, K. Yamazaki, A. Nagano

    Acoustic 08  

    発表年月: 2008年

  • Pure-shear mode BAW resonator consisting of (10-10) and (11-20) textured AlN films

    T. Yanagitani, M. Kiuchi

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2008年

  • Electromechanical coupling coefficient of semiconducting hexagonal crystal measured by Brillouin scattering

    T. Yanagitani, Y. Yoshida, M. Matsukawa

    IEEE International Ultrasonics Symposium  

    発表年月: 2008年

  • 超音波による骨質の評価

    山崎薫, 大和雄, 山本和史, 長野昭, 松川真美, 矢追祐一郎, 柳谷隆彦

    第9回日本骨粗鬆症学会  

    発表年月: 2007年

  • Propagation characteristics of SH-SAW in (11-20) ZnO film/silica glass substrate structures

    A. Tanaka, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe

    The 28th Symposium on Ultrasonic Electronics  

    発表年月: 2007年

  • A c-axis tilted ZnO film transducer for simultaneous excitation of longitudinal and shear waves

    T. Matsuo, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe

    The 28th Symposium on Ultrasonic Electronics  

    発表年月: 2007年

  • Texture control of ZnO piezoelectric films by ion beam irradiation

    柳谷隆彦, 木内正人

    The 28th Symposium on Ultrasonic Electronics  

    発表年月: 2007年

  • (11-20)ZnO膜/石英基板構造のSH型SAW伝搬特性

    田中厚志, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章

    電子情報通信学会超音波研究会  

    発表年月: 2007年

  • c軸傾斜配向ZnO膜を用いたVHF帯縦波横波同時励振トランスデューサ

    松尾卓也, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章

    第68回応用物学会学術講演会  

    発表年月: 2007年

  • c軸傾斜配向ZnO 膜を用いた縦波横波同時励振トランスデューサ

    松尾卓也, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章

    日本音響学会秋季研究発表会  

    発表年月: 2007年

  • (11-20)面配向ZnO膜/石英基板構造のSH型SAW伝搬特性

    田中厚志, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章

    第68回応用物学会学術講演会  

    発表年月: 2007年

  • Brillouin 散乱法を用いたガラス中の横波励起フォノンの観測

    吉田 泰祐, 村田 茂雄, 松川 真美, 柳谷隆彦

    日本音響学会春季研究発表会  

    発表年月: 2007年

  • 面内配向ZnO 多結晶膜/基板構造におけるSH 型SAW 特性

    田中 厚志, 松川 真美, 渡辺 好章, 柳谷隆彦

    日本音響学会春季研究発表会  

    発表年月: 2007年

  • (11-20)ZnO膜/石英基板構造におけるSH型SAW特性

    田中厚志, 松川真美, 渡辺好章, 柳谷隆彦

    圧電材料・デバイスシンポジウム2007  

    発表年月: 2007年

  • イオンチャネリング効果によるZnO圧電膜の配向制御に関する検討

    柳谷隆彦, 木内正人

    圧電材料・デバイスシンポジウム2007  

    発表年月: 2007年

  • c軸傾斜配向ZnO膜の電気機械結合係数と縦波横波同時励振トランスデューサへの適用

    松尾卓也, 松川真美, 渡辺好章, 柳谷隆彦

    圧電材料・デバイスシンポジウム2007  

    発表年月: 2007年

  • Thin film stack transducer for simultaneous generation of longitudinal and shear waves at same frequency

    T. Yanagitani, T. Matsuo, M. Matsukawa, Y. Watanabe

    IEEE Ultrason. Symp  

    発表年月: 2007年

  • Ion beam sputter-deposited ZnO thin film for broadband shear wave excitation in the GHz range

    T. Yanagitani, M. Kiuchi

    IEEE Ultrason. Symp  

    発表年月: 2007年

  • Highly oriented c-axis 23° tilted ZnO films with high quasi-shear mode electromechanical coupling coefficients

    T. Matsuo, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe

    IEEE Ultrason. Symp  

    発表年月: 2007年

  • Propagation characteristics of SH-SAW in (11 0) ZnO layer/silica glass substrate structures

    A. Tanaka, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe

    IEEE Ultrason. Symp  

    発表年月: 2007年

  • Effect of the preference of hydroxyapatite crystallites on longitudinal wave velocity at small ROIs in bovine cortical bone

    Y. Yamato, M. Matsukawa, H. Mizukawa, T. Yanagitani, K. Yamamoto, K. Yamazaki, A. Nagano

    International congress on Ultrasonics  

    発表年月: 2007年

  • 横波モード圧電デバイスを目的としたイオンビームアシスト蒸着法による面内配向ZnO薄膜の作製

    柳谷隆彦, 木内正人

    表面技術フォーラム  

    発表年月: 2006年

  • Observation of induced shear acoustic phonons by Brillouin scattering

    S. Murata, T. Kawamoto, M. Matsukawa, T. Yanagitani

    第27回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム  

    発表年月: 2006年

  • Longitudinal wave velocity and orientation of HAp crystallites in local area of bovine femoral cortical bone

    Y. Yamato, Hamamatsu, H. Mizukawa, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki, A. Nagano

    第27回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム  

    発表年月: 2006年

  • Characteristics of shear mode FBAR using (11-20) textured ZnO films

    T. Yanagitan, M. Kiuchi, M. Matsukawa, Y. Watanabe

    第27回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム  

    発表年月: 2006年

  • Effects of sputtering gas on the formation of (11-20) textured ZnO films

    T. Kawamoto, M. Matsukawa, Y. Watanabe, T. Yanagitani

    第27回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム  

    発表年月: 2006年

  • c軸傾斜配向ZnO 膜の形成および圧電特性

    松尾 卓也, 田中 厚志, 松川 真美, 渡辺 好章, 柳谷隆彦

    日本音響学会秋季研究発表会  

    発表年月: 2006年

  • 面内配向ZnO 膜を用いたすべりモード薄膜共振子の特性

    柳谷隆彦, 松川 真美, 渡辺 好章

    日本音響学会春季研究発表会  

    発表年月: 2006年

  • ウシ皮質骨の弾性異方性と結晶配向性

    水川 裕文, 松川 真美, 柳谷隆彦, 大和 雄, 山崎 薫, 長野 昭

    日本音響学会春季研究発表会  

    発表年月: 2006年

  • 面内配向ZnO膜のk15の評価およびすべりモード薄膜共振子への応用

    川本貴之, 三島夏樹, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章

    圧電材料・デバイスシンポジウム2006  

    発表年月: 2006年

  • Elastic anisotropy and crystallites orientation of the bovine cortical bone

    M. Matsukawa, H. Mizukawa, T. Yanagitani, Y. Yamato, K. Yamazaki, A. Nagano

    17th International Bone Densitometry Workshop  

    発表年月: 2006年

  • The effect of hydroxyapatite crystallite orientation on ultrasonic velocity in bovine cortical bone

    Y. Yamato, K. Yamazaki, A. Nagano, H. Mizukawa, T. Yanagitani, M. Matsukawa

    4th Joint Meeting Acoustical Society of America and Acoustical Society of Japan  

    発表年月: 2006年

  • Elastic Anisotropy and Crystallites Orientation in Bovine Cortical Bone

    Y. Yamato, H. Mizukawa, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki, A. Nagano

    IEEE Ultrason. Symp  

    発表年月: 2006年

  • Temperature Characteristics of Pure Shear Mode FBARs Consisted of (11 0) Textured

    T. Yanagitani, M. Kiuchi, M. Matsukawa, Y. Watanabe

    IEEE Ultrason. Symp  

    発表年月: 2006年

  • Study on Formation Mechanism of (11-20) Textured ZnO Films

    K. Kawamoto, M. Matsukawa, Y. Watanabe, T. Yanagitani

    IEEE Ultrason. Symp  

    発表年月: 2006年

  • Effect of the crystallites orientation on the elastic anisotropy in the bovine cortical bone

    M. Matsukawa, H. Mizukawa, T. Yanagitani, Y. Yamato, K. Yamazaki, A. Nagano

    The 9th Western Pacific Acoustics Conference  

    発表年月: 2006年

  • The relationship between acoustic anisotropy and crystal orientation in bovine cortical bone

    Y. Yamato, M. Matsukawa, T. Yanagitani, T. Otani, K. Yamazaki, A. Nagano

    1st European Symposium on Ultrasonic Characterization of Bone  

    発表年月: 2006年

  • 牛皮質骨の超音波伝搬特性と結晶配向

    大和雄, 松川真美, 柳谷隆彦, 水川裕文, 山崎薫, 大谷隆彦, 長野昭

    第26回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム  

    発表年月: 2005年

  • 面内配向ZnO薄膜の結晶性向上と膜厚均一化に関する検討

    宮本善則, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章, 大谷隆彦

    面内配向ZnO薄膜の結晶性向上と膜厚均一化に関する検討  

    発表年月: 2005年

  • 面内配向ZnO膜の圧電性評価と共振器への応用

    三島夏樹, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章

    電子情報通信学会超音波研究会  

    発表年月: 2005年

  • 面内配向ZnO膜の電気機械結合係数k15の評価

    三島夏樹, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章

    日本音響学会秋季研究発表会  

    発表年月: 2005年

  • 面内配向ZnO薄膜の作製条件に関する検討

    川本貴之, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章

    日本音響学会秋季研究発表会  

    発表年月: 2005年

  • 面内配向ZnO膜の圧電性

    柳谷隆彦, 三島夏樹, 松川真美, 渡辺好章, 大谷隆彦

    第34回EMシンポジウム  

    発表年月: 2005年

  • 顕微ブリユアン光散乱法を用いたZnO薄膜の非破壊評価

    村田茂雄, 大和哲郎, 新谷和明, 柳谷隆彦, 松川真美

    日本音響学会春季研究発表会  

    発表年月: 2005年

  • (11-20)面配向ZnO圧電膜の結晶性向上および膜厚分布の低減

    柳谷隆彦, 野原拓也, 松川真美, 渡辺好章, 大谷隆彦

    圧電材料・デバイスシンポジウム2005  

    発表年月: 2005年

  • 面内配向ZnO薄膜を用いた横波トランスデューサの変換特性

    野原拓也, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章, 大谷隆彦

    圧電材料・デバイスシンポジウム2005  

    発表年月: 2005年

  • Higher-order shear mode FBAR using polarization-inverted layers of (11 0) textured

    Y. Miyamoto, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe

    IEEE Ultrason. Symp  

    発表年月: 2005年

  • Electromechanical coupling coefficient k15 of (11 0) textured ZnO films

    T. Yanagitani, N. Mishima, M. Matsukawa, Y. Watanabe

    IEEE Ultrason. Symp  

    発表年月: 2005年

  • 顕微ブリユアン光散乱法による面内配向ZnOフィルムの評価

    新谷和明, 柳谷隆彦, 松川真美, 大谷隆彦

    第25回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム  

    発表年月: 2004年

  • 面内配向ZnO薄膜を用いたトランスデューサの評価

    柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章, 大谷隆彦

    第25回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム  

    発表年月: 2004年

  • 横波励振を目的とした面内配向ZnO薄膜の結晶性向上に関する検討

    宮本善則, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章, 大谷隆彦

    日本音響学会秋季研究発表会  

    発表年月: 2004年

  • 面内配向ZnO 薄膜を用いた横波トランスデューサ

    柳谷隆彦, 野原拓也, 松川真美, 渡辺好章, 大谷隆彦

    日本音響学会春季研究発表会  

    発表年月: 2004年

  • (11-20)面配向ZnO薄膜による横波トランスデューサの作製

    柳谷隆彦, 野原拓也, 松川真美, 渡辺好章, 大谷隆彦

    圧電材料・デバイスシンポジウム2004  

    発表年月: 2004年

  • Shear Wave Transducer Using (11-20) Textured ZnO Film

    T. Yanagitani, T. Nohara, M. Matsukawa, T. Otani

    IEEE Ultrason. Symp  

    発表年月: 2004年

  • Nondestructive evaluation of thin ZnO shear transducer by Brillouin scattering

    K. Shintani, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe, T. Otani

    IEEE Ultrason. Symp  

    発表年月: 2004年

  • 面内配向ZnO 薄膜による横波励振の検討

    柳谷隆彦, 野原拓也, 松川真美, 渡辺好章, 大谷隆彦

    第24回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム  

    発表年月: 2003年

  • 横波励振を目的とした面内配向ZnO薄膜の開発

    柳谷隆彦, 野原拓也, 松川真美, 渡辺好章, 大谷隆彦

    電子情報通信学会超音波研究会  

    発表年月: 2003年

  • ZnO薄膜を用いた横波トランスデューサの検討

    野原拓也, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章, 大谷隆彦

    日本音響学会秋季研究発表会  

    発表年月: 2003年

  • 金属膜上に作製されたZnO 面内一方向配向膜の特性

    柳谷隆彦, 松川真美, 大谷隆彦, 三原敏行

    日本音響学会2003年春季研究発表会  

    発表年月: 2003年

▼全件表示

特定課題研究

  • 分極反転構造圧電薄膜を用いた耐電力性RFフィルタ

    2021年  

     概要を見る

    圧電効果を用いて波長の短い音波に用いることで、1 mm 角程度の小型フィルタ(BAWフィルタ)がスマートフォンに実用化している。しかし、この方式では耐電力性は1 W程度で、20 W以上が必要な基地局用途では使えない。そのため、基地局用途では、耐電力性を重視して、電磁波をそのまま使った空洞共振器フィルタが使われている。速度の速い電磁波を使うため波長が長く、10 cm以上のサイズとなる。しかしながら、基地局を手軽に大量に設置するニーズは高まるばかりで、小型化が急務である。本研究では、耐電力性の向上が見込まれる分極反転ScAlN多層薄膜SMRの作製および耐電力性の評価系構築に成功した。

  • 5G向け高耐圧RFフィルタ応用に向けた分極反転多層構造の圧電薄膜の開発

    2020年  

     概要を見る

    同じ動作周波数の薄膜共振子において、n層の分極反転多層構造の膜厚はn倍となり、耐電圧性を向上できると考えられる。基板をターゲットに対して斜めに配置することで、スパッタされた粒子を基板に対して斜めに入射させて、c軸傾斜したScAlN膜を成長させた。c軸ジグザグ構造は、各層の成膜後に基板を180度回転させることによって得た。4層c軸ジグザグ構造ScAlN薄膜を用いた基板なし(FBAR型)圧電共振子についてネットワークアナライザを用いてSパラメータ測定を行い、4次モードの共振特性を確認した。Masonの等価回路モデルによる計算結果ともよく一致した。

  • 巨大圧電性窒化物の厚膜化による高電圧用圧電アクチュエータの実現

    2019年  

     概要を見る

    計画通り、電子ビーム加熱真空溶解法によるScAl合金スパッタターゲットの合成を行った。ターゲットから飛来する酸素負イオンによって下することが予想されている。ScとAlを合金化すると酸化しにくくなる傾向があることがわかっている。今回、高真空還元雰囲気化で、Sc金属とAl金属を混合溶解させ、ScAl合金スパッタターゲットを作製することに成功した。さらに、。Matlabを用いて電気―機械結合等価回路モデルの構築と分極反転層の圧電薄膜の特性シミュレーションを行った。積層の設計やインピーダンスを含めた挿入損失や整合の特性をシミュレーションすることができた。また、圧電厚膜の電気機械結合係数の新しい評価法および計測系の構築も行っている。

  • 高速負イオン発生抑制成膜による希土類添加AIN薄膜の巨大圧電性発現

    2018年   唐澤嶺, 遠藤結佳, 清水貴博, 正宗千明, 松田有佳

     概要を見る

    本研究では,製法及び不純物含有量の異なるScAl合金ターゲットを用意し,スパッタ成膜時に発生する負イオン照射量及びScAlN薄膜の圧電性へ及ぼす影響を比較した.アーク溶融ターゲット,焼結ターゲット,電子ビーム溶融ターゲットの3種類のScAl合金ターゲットについてスパッタ成膜中の酸素負イオンO-及び窒化炭素負イオンCN-の発生量を計測した.ScAlN薄膜共振子を作製し,電気機械結合係数kt2を推定した結果,アーク溶融ターゲットで20.6%,焼結ターゲットで20.1%,電子ビーム溶融ターゲットで20.3%と,いずれのターゲットを用いても共に先行研究(kt2=18.5%)よりも高い圧電性を示したが,3種類のターゲットに大きな差は見られなかった.

  • 巨大圧電性薄膜を用いた高感度プローブによる高分解能超音波像装置

    2017年  

     概要を見る

    本研究は、超音波映像装置に応用することを目指して、巨大圧電効果を持つ常誘電体薄膜について数十μm以上の厚膜成長させる技術を確立することを目的としている。RFマグネトロンスパッタ法を用いて膜応力を低減することで厚さ43μmのScAlN厚膜トランスデューサの作製に成功した.ScAlN(0002)X線回折ピークのロッキングカーブ半値幅が4.4ºであり良好な配向性を示した。ネットワークアナライザで縦波変換損失を測定した結果、共振周波数が81MHzのときの電気機械結合係数ktは0.43とPZT系に匹敵する値であった.現在、広く実用化されているPVDF高分子膜と比べるとktがはるかに大きいこと示された。

  • 極性反転多層構造の圧電薄膜を用いた高分解能超音波プロープの実現

    2015年   鈴木雅視

     概要を見る

    超音波顕微鏡装置において画像を高分解能化するには、超音波の高周波化と高出力化が必要である。また、高周波化するには使用する圧電体を薄膜化する。本研究では、圧電薄膜を極性反転多層させることにより、周波数を保ったまま耐電圧性を向上させかつ励振面積を大きくし、超音波出力を向上させるものである。本研究では、圧電薄膜の中では最も圧電性の大きなScAlN薄膜とZnO薄膜についてスパッタリング成膜法による成長実験を行った。その結果、ZnO薄膜では300℃以上でプラズマ柱外では配向性が良いものが得られ、極性はO極性となることがわかった。これに対して、ScAlN薄膜では室温でプラズマ柱内では配向性が良いものが得られ、極性はAl極性となることを発見した。そこで、この技術を用いてAu上部電極薄膜/Al極性ScAlN薄膜/O極性ZnO薄膜/高配向Ti下部電極薄膜/石英ガラス基板構造の極性反転超音波プローブの作製に成功した。励振面積は2層反転することにより予想どおり2倍となった(50Ω整合時の面積が2倍)。この研究成果に基づいてIEEE超音波国際会議おける受賞(2016年)、超音波シンポジウム奨励賞(2016年)、応用物理学会講演奨励賞(2016年)を受賞した。

  • 横波超音波の固有振動数変動による抗原抗体反応の高感度質量計測

    2015年   鈴木雅視

     概要を見る

    圧電薄膜の固有振動数変動を用いた高感度質量計測センサについて研究を行った。センサの面積を大きくすれば、それに比例して雑音(共振ピークの雑音)を小さくしていくことができ、測定感度を高くすることができると考えられる。しかし、50Ω計測系と整合させるにはセンサのキャパシタンスが定まり、おのずと電極面積が決定される。(膜厚は共振周波数で決定)。本研究では、イオンビームスパッタ法を用いて、酸素イオンビームの照射法を反転させることにより、極性が互いに反転したZnO圧電薄膜を積層成長する技術を開発した。作製した薄膜は高い横波圧電効果を有していることも確認した。これにより、共振周波数を維持したまま膜厚を反転層数倍させ、50Ω整合したままセンサ面積を反転層数倍させたセンサの作製に成功した。

▼全件表示

 

現在担当している科目

▼全件表示

 

委員歴

  • 2014年12月
    -
    継続中

    Scientific Reports (Nature Publishing Group) 編集委員 Scientific Reports (IF:5.078, Nature Publishing Group) 編集委員 (2014年12月-現在)

  • 2013年10月
    -
    継続中

    IEEE UFFC ( IUS Technical Program Committee) IEEE IUS Technical Program Committee (Physical Acoustics)(2013年10月-現在)

  • 2012年04月
    -
    継続中

    日本音響学会誌査読委員 日本音響学会誌 査読委員(2012年04月-現在)

  • 2010年04月
    -
    継続中

    超音波エレクトロニクスシンポジウム運営委員 運営委員(2010年04月-現在)

  •  
     
     

    弾性波素子技術コンソーシアム 幹事

  •  
     
     

    電気情報通信学会超音波研究会専門員

  •  
     
     

    日本学術振興会弾性波素子技術第150委員会委員

  •  
     
     

    圧電材料・デバイスシンポジウム運営委員

  •  
     
     

    EMデバイス・システムの新技術調査専門委員会 幹事

▼全件表示