2024/12/21 更新
早稲田大学 理工学術院 先進理工学部 電気・情報生命工学科 教授
早稲田大学理工学術院 先進理工学部 電気・情報生命工学科 准教授
JSTさきがけ研究員（兼任）
名古屋工業大学 機械工学科 助教（任期なし）
名古屋工業大学 機械工学科 助教（任期あり）
産業技術総合研究所 ナノテクノロジー部門 日本学術振興会PD
東北大学 日本学術振興会ＰＤ
産業技術総合研究所 関西産学官連携センター 特別研究員
同志社大学 工学研究科 電気工学専攻博士後期課程
同志社大学 工学研究科 電気工学専攻博士前期課程
同志社大学 工学部 電子工学科
Scientific Reports (Nature Publishing Group) 編集委員 Scientific Reports (IF:5.078, Nature Publishing Group) 編集委員 （2014年12月-現在）
IEEE UFFC ( IUS Technical Program Committee) IEEE IUS Technical Program Committee (Physical Acoustics)（2013年10月-現在）
日本音響学会誌査読委員 日本音響学会誌 査読委員（2012年04月-現在）
超音波エレクトロニクスシンポジウム運営委員 論文委員（2010年04月-現在）
弾性波素子技術コンソーシアム 幹事
電気情報通信学会超音波研究会専門員
日本学術振興会弾性波素子技術第１５０委員会委員
圧電材料・デバイスシンポジウム運営委員
EMデバイス・システムの新技術調査専門委員会 幹事
応用物理学会
IEEE
文部科学大臣表彰
2018年
早稲田大学リサーチアワード（国際研究発信力）
2016年
名古屋工業大学 優秀賞（教員評価）
2013年11月
名古屋工業大学 褒賞
2013年11月
名古屋工業大学 特別優秀賞（教員評価）
2013年01月
粟屋潔学術奨励賞
2010年09月
超音波シンポジウム奨励賞(Symposium on Ultrasonic Electronics : Young Scientist Award)
2007年11月
Symposium on Ultrasonic Electronics : Young Scientist Award
2007年11月
GHz voltage amplification in stack of piezoelectric ScAlN and non-piezoelectric SiO2 layers
S. Kinoshita, H. Kishi, K. Izumi, T. Yanagitani
Appl. Phys. Express in press 2024年10月 [査読有り]
担当区分：最終著者, 責任著者
K-H Sano, Y. Ono, R. Tobinaga, Y. Imamura, Y. Hayashi, T. Yanagitani
ACS Appl. Mater. Interfaces 16 ( 17 ) 22657 - 22664 2024年04月 [査読有り]
担当区分：最終著者, 責任著者
Enhanced electromechanical coupling in Yb-Substituted III−V nitride alloys,
J. Jia, N. Iwata, M. Suzuki, T. Yanagitani
ACS Appl. Electron. Mater. 4 ( 7 ) 3448 - 3456 2022年06月 [査読有り]
担当区分：最終著者, 責任著者
Negative-ion bombardment increases during low-pressure sputtering deposition and their effects on the crystallinities and piezoelectric properties of scandium aluminum nitride films
T. Tominaga, S. Takayanagi, T. Yanagitani
J. Phys. D: Appl. Phys., 55 105306 2021年12月
担当区分：最終著者
Ion-beam-induced in-plane a-axis oriented (0001) AlN and ScAlN thin film BAW resonators
【Editor's Pick】C. Masamune, T. Yanagitani
AIP Advances 11 ( 12 ) 125215 2021年12月 [査読有り]
担当区分：最終著者, 責任著者
Origin of Enhanced Electromechanical Coupling in (Yb,Al)N Nitride Alloys,
J. Jia, T. Yanagitani
Phys. Rev. Appl., 16 ( 4 ) 44009 2021年10月 [査読有り]
担当区分：最終著者, 責任著者
Polarization control of ScAlN, ZnO, and PbTiO3 piezoelectric films: Application to polarization inverted multilayer BAW and SAW devices
解説記事, T. Yanagitani, S. Takayanagi
Jpn. J. Appl. Phys 60 SD0803-1 - SD0803-10 2021年07月 [査読有り] [招待有り]
担当区分：筆頭著者, 最終著者, 責任著者
Bulk acoustic wave transformer based on the combination of the high-ε epitaxial PbTiO3 and low-ε ScAlN thin films
S. Kinoshita, T. Yanagitani
Appl. Phys. Lett., 118 212901 2021年05月 [査読有り]
担当区分：最終著者, 責任著者
Theoretical and experimental study of shear mode bulk acoustic wave transformer based on c-axis zigzag ScAlN multilayer for rectenna application
S. Kinoshita, T. Yanagitani
Appl. Phys. Lett., 118 142903 2021年04月 [査読有り]
担当区分：最終著者, 責任著者
T. Shimidzu, T. Yanagitani
J. Appl. Phys. 126 ( 11 ) 114104 - 114104 2019年09月 [査読有り]
担当区分：最終著者, 責任著者
ScAlN圧電薄膜の高品質化に向けたScAl合金スパッタターゲットから発生する負イオンの抑制～電子ビーム溶融、アーク溶融、焼結ScAl合金ターゲットの比較～
柳谷隆彦
真空ジャーナル 11 - 15 2019年09月
担当区分：筆頭著者, 最終著者, 責任著者
T. Shimidzu, T. Mori, T. Yanagitani
Appl. Phys. Lett., 114 ( 21 ) 212902 - 212902 2019年05月 [査読有り]
担当区分：最終著者, 責任著者
Rapid wave velocity measurement by Brillouin scattering using coherent phonons induced by ScAlN piezoelectric thin-film transducer,”
M. Kawabe, S. Takayanagi, H, Ichihashi, M. Suzuki, T. Yanagitani, M. Matsukawa
IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq.Contr. 2018年10月 [査読有り]
担当区分：責任著者
ScAlN thick film ultrasonic transducer in 40 MHz -80 MHz,”
K-H. Sano, R. Karasawa, T. Yanagitani
IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq.Contr. 65 ( 11 ) 2097 - 2102 2018年10月 [査読有り]
担当区分：最終著者, 責任著者
Evaluation of the acoustoelectric effect in the thickness direction of c-plane ZnO single crystals by Brillouin scattering
S. Tomita, T. Yanagitani, S. Takayanagi, H. Ichihashi, Y. Shibagaki, H. Hayashi, M. Matsukawa
J. Appl. Phys. 121 235102 2017年07月 [査読有り]
担当区分：責任著者
Acoustic wave velocities and refractive indices in an m-plane GaN single crystal plate and c-axis oriented ScAlN films measured by Brillouin scattering tecniques,”
H. Ichihashi, T. Yanagitani, M. Suzuki, S. Takayanagi, M. kawabe, S. Tomita, M. Matsukawa?
IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq.Contr. 63 ( 5 ) 717 - 725 2016年05月 [査読有り] [招待有り]
担当区分：責任著者
High-performance Brillouin spectroscopy of phonons induced by a piezoelectric thin film with a coaxial microwave resonator,”
H. Sano, T. Yanagitani, S. Takayanagi, T. Sugimoto, M. Matsukawa
IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr. 60 ( 5 ) 873 - 876 2013年07月 [査読有り]
担当区分：責任著者
Three-Dimensional anisotropy of ultrasonic wave velocity in bovine cortical bone: Effects of hydroxyapatite crystallites orientation and microstructure,”
Nakatsuji, K. Yamamoto, D. Suga, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki, Y. Matsuyama
Jpn. J. Appl. Phys. 50 ( 7 ) 07HF18-1 - 07HF18-6 2011年07月 [査読有り]
c-axis zig-zag ZnO film ultrasonic transducers for designing longitudinal and shear wave resonant frequencies and modes,”
T. Yanagitani, N. Morisato, S. Takayanagi, M. Matsukawa, Y. Watanabe
IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr. 58 ( 5 ) 1062 - 1068 2011年05月 [査読有り]
Relationships between the anisotropy of longitudinal wave velocity and hydroxyapatitecrystallite orientation in bovine cortical bone,”
K. Yamamoto, T. Nakatsuji, Y. Yaoi, Yu. Yamato, T. Yanagitani, K. Yamazaki, M. Matsukawa, Y. Matsuyama
Ultrasonics 52 ( 3 ) 377 - 386 2011年03月 [査読有り]
Propagation characteristics of shear horizontal surface acoustic wave in (11-20) ZnO film/silica glass substrate structures,”
A. Tanaka, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe
IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr. 55 ( 12 ) 2709 - 2713 2008年12月 [査読有り]
担当区分：責任著者
Electromechanical coupling coefficient k15 and crystallites alignment of (11-20) textured ZnO film,”
T. Yanagitani, M. Kiuchi, M. Matsukawa, Y. Watanabe
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1463 - 1466 2006年06月 [査読有り]
Characteristics of (10-10) and (11-20) textured ZnO piezofilms for a shear mode resonator in the VHF-UHF frequency ranges,”
T. Yanagitani, T. Nohara, M. Matsukawa, Y. Watanabe, T. Otani
IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr. 52 ( 11 ) 2140 - 2145 2005年11月 [査読有り]
「Brillouin散乱法による圧電半導体の面内方向抵抗率評価に関する検討」
柳谷隆彦, 吉田泰祐, 佐野 広幸, 松川真美
超音波テクノ(日本工業出版) 21 35 - 38 1905年07月
Shear wave transducer using (11-20) textured ZnO film,”
T. Yanagitani, T. Nohara, M. Matsukawa, Y. Watanabe, T. Otani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 906 - 909 1905年06月 [査読有り]
Naoki Tomiyama, Taiki Sato, Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani
Proc. 2023 IEEE Ultrason. Symp. 2023年09月
担当区分：最終著者
Simple microfabrication process for quartz crystal using HF gas and catalytic materials
Ko-Hei Sano, Yoshitaka Ono, Yutaka Imamura, Yasuo Hayashi, Takahiko Yanagitani
Proc 2023 IEEE Ultrason. Symp. 2023年09月
担当区分：責任著者
c-Axis-tilted ScAlN films grown on silicon substrates for surface acoustic wave devices
T. Tominaga, S. Takayanagi, T. Yanagitani
Jpn. J. Appl. Phys. 61 SG1054 2022年05月
担当区分：最終著者
Takumi Soutome, Takahiko Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1 - 4 2020年09月 [査読有り]
Sarina Kinoshita, Takahiko Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1 - 4 2020年09月 [査読有り]
Kota Izumi, Takahiko Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1 - 3 2020年09月 [査読有り]
Naoya Iwata, Sarina Kinoshita, Junjun Jia, Masashi Suzuki, Takahiko Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1 - 2 2020年09月 [査読有り]
Zig-zag ScAlN multilayer SMR for high power BAW fileter application such as RF base station
Yusuke Sato, Takahiko Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1 - 3 2020年09月 [査読有り]
Self-Standing FBAR Transformer based on Shear Mode Zig-zag ScAlN Multilayer for Rectenna Application
Sarina Kinoshita, Takahiko Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1 - 4 2020年09月 [査読有り]
Ryota Tatsumi, Takahiko Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1 - 3 2020年09月 [査読有り]
Takumi Tominaga, Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1 - 4 2020年09月 [査読有り]
Ryota Tatsumi, Takahiko Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1 - 3 2020年09月 [査読有り]
c-Axis oriented ScAlN/SiO2 multilayer BAW transformer for rectifying antenna applications
Kota Izumi, Takahiko Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1 - 4 2020年09月 [査読有り]
Takumi Soutome, Takahiko Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1 - 4 2020年09月 [査読有り]
Extracting mechanical Q factor of the pure AlN, ScAlN, and ZnO films without etching substrate
Naoya Iwata, Sarina Kinoshita, Takahiko Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1 - 2 2020年09月 [査読有り]
Yusuke Sato, Takahiko Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1 - 3 2020年09月 [査読有り]
Chiaki Masamune, Takahiko Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1127 - 1128 2019年10月 [査読有り]
Rui Kihara, Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1120 - 1123 2019年10月 [査読有り]
Takuya Wakabayashi, Shinji Takayanagi, Mami Matukawa, Yuta Takamura, Takahiko Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 671 - 674 2019年10月 [査読有り]
Takumi Soutome, Takahiko Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 301 - 304 2019年10月 [査読有り]
Sarina Kinoshita, Takahiko Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1118 - 1119 2019年10月 [査読有り]
A Method for Extracting Mechanical Q Factor of the Piezoelectric Film without Etching Substrate
Sarina Kinoshita, Takahiko Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 229 - 300 2019年10月 [査読有り]
Temperature characteristics of ScAlN/SiO2 BAW resonators,
H.Igeta, M. Totsuka, M. Suzuki, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2018年10月 [査読有り]
A new method for extracting Qfactor of the piezoelectric film without removing substrate,
S. Kinoshita, M. Totsuka, R. Karasawa, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2018年10月 [査読有り]
Investigation of morphotropic phase boundary in sputter-grown Pb(Zrx, Ti1-x)O3 epitaxial films,
R. Noda, T. Shimidzu, K. Wasa, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2018年10月 [査読有り]
High efficiency ultrasonic transducer using polarity inverted ZnO thin film,”
T. Majima, T. Shimidzu, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2018年10月 [査読有り]
ScAlN free-standing 0.1mm plates with 30-50 MHz resonance frequency,”
C. Masamune, R. Karasawa, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2018年10月 [査読有り]
PZT epitaxial thick film for ultrasonic transducer at frequencies below 100MHz,”
Y. Mazuda, T. Shimidzu, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2018年10月 [査読有り]
The influence of negative ions generation on the arc-melted and hot press sintered ScAlN alloy targets to the crystalline orientation and kt2 of the ScAlN films,”
Y. Endo, R. Karasawa, S. Takayanagi, M.Imakawa, K. Morisaka, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2018年10月 [査読有り]
c-axis tilted ScAlN film shear mode resonators for biosensing,”
H. Yazaki, T. Sotome, S. Takayanagi, K. Yoshida, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2018年10月 [査読有り]
Evaluation of viscoelactic properties of liquids based on the oblique incidence technology using shear horizontal waves at frequencies above 100 megahertz from c-axis tilted ScAlN thin films,”
Y. Yamakawa, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2018年10月 [査読有り]
Extraction of electromechanical coupling coefficient of film / substrate structure by using the ration of a third mode resonant frequency to a fundamental mode resonant frequency,”
M. Totsuka, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2018年10月 [査読有り]
DC-induced piezoelectric cubic PMN-PT/piezoelectric tetragonal PZT epitaxial stack polarity inverted resonators for frequency switchable filters,”
T. Shimidzu, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2018年10月 [査読有り]
Polarity inverted ScAlN multilayer for application to transformer in rectifying antenna,”
R. Karasawa, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2018年10月 [査読有り]
Shinji Takayanagi, Mami Matsukawa, Takahiko Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2015年11月
Masahiko Kawabe, Hayato Ichihashi, Shinji Takayanagi, Mami Matsukawa, Takahiko Yanagitani, Masashi Suzuki
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2015年11月
Distribution of hydroxyapatite crystallites orientation and longitudinal wave velocity in ring-shaped cortical bone of bovine femur,”
Y. Yamato, M. Matsukawa, H. Mizukawa, T. Yanagitani, K. Yamazaki, A. Nagano
IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr. 55 ( 6 ) 1298 - 1303 2008年06月 [査読有り]
Fast wave velocity measurement by Brillouin scattering using coherent induced phonon from ScAlN piezoelectric thin film,”
M. Kawabe, H. Ichihashi, S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2005年06月 [査読有り]
Shear mode properties of c-axis parallel oriented ScxAl1-xN films grown by RF bias sputtering,”
S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2004年06月 [査読有り]
Observation of induced shear acoustic phonons by Brillouin scattering
T. Yoshida, S. Murata, T. Yanagitani, M. Matsukawa
Proceedings - Acoustics 08 4605 - 4609 1905年12月
Al極性ScAlNとO極性ZnO薄膜を用いた多層構造の高効率超音波トランスデューサ
森剛志, 柳谷隆彦
超音波テクノ(日本工業出版) 29 84 - 87 1905年07月
Second harmonic mode polarization inverted resonator consisting of PbTiO3 thin film,”
K. Katada, T. Yanagitani, M, Suzuki, K. Wasa
Proc. IEEE Freq. Contr. Symp. 119 - 120 1905年07月 [査読有り]
「RFバイアススパッタ法による簡便なc軸平行配向ZnO膜の形成--RFバイアスを用いたイオン照射による結晶配向制御」
高柳 真司, 松川真美, 渡辺好章, 柳谷隆彦
超音波テクノ(日本工業出版) 22 59 - 62 1905年07月
「c軸平行配向AlN薄膜を用いた極性反転すべり共振子」
鈴木雅視, 柳谷隆彦
超音波テクノ(日本工業出版) 23 40 - 44 1905年07月
「(11-20)配向AlN薄膜を用いた純横波モード共振子」
柳谷隆彦, 木内正人, 松川真美
超音波テクノ(日本工業出版) 22 46 - 49 1905年07月
「c軸傾斜反転配向ZnO多層膜の作製」
守里直希, 高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
超音波テクノ(日本工業出版) 22 60 - 65 1905年07月
「c軸傾斜配向ZnO膜の開発〜高い横波変換効率の実現〜」
松尾卓也, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
超音波テクノ(日本工業出版) 20 75 - 78 1905年06月
「イオン照射によるZnO圧電膜の配向制御に関する検討」
柳谷隆彦, 木内正人
超音波テクノ(日本工業出版) 20 67 - 70 1905年06月
Pure-shear mode BAW resonators consisting of (11-20) textured ZnO films,”
T. Yanagitani, M. Kiuch, M. Matsukawa, Y. Watanabe
Acoustics 08 Paris 4987 - 4992 1905年06月 [査読有り]
「面内配向ZnO膜のSH型SAW伝搬特性」
田中厚志, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
超音波テクノ(日本工業出版) 19 1905年06月
Film growth of c-axis tilted ScAlN on the sapphire substrate for SAW devices,”
S. Tokuda, S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1 - 4 1905年06月 [査読有り]
The frequency wwitchable multi-layered BST/BaTiO3 epitaxial film resonator,”
S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1 - 4 1905年06月 [査読有り]
High electromechanical coefficient kt 2=19% thick ScAlN piezoelectric films for ultrasonic transducer in low frequency of 80 MHz,”
K-h. Sano, R. Karasawa, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1 - 4 1905年06月 [査読有り]
A new type wide-frequency-range shear viscosity sensor using caxis tilted ScAlN thin film on temperature Stable AT-cut quartz thick plate,”
Y. Yamakawa, K-h. Sano, R. Karasawa, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1 - 4 1905年06月 [査読有り]
C-axis zig-zag polarization inverted ScAlN multilayer for FBAR transformer rectifying antenna,”
R. Karasawa, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1 - 4 1905年06月 [査読有り]
次世代医療・ヘルスケア機器のデバイス技術と最新開発事例集
技術情報協会 2014年05月
次世代医療・ヘルスケア機器のデバイス技術と最新開発事例集
技術情報協会 2014年05月
Acoustic Waves - From Microdevices to Helioseismology Chapter 22 Shear Mode Piezoelectric Thin Film Resonators pp.501-520
Intech 2011年10月 ISBN: 9789533075723
エピタキシャルYSZ薄膜およびYHfO2薄膜の誘起圧電性
勝又 彩馨, 島野 耀康, 柳谷 隆彦
応用物理学会 (東京都市大学)
発表年月： 2024年03月
純 AlN 薄膜 SMR の kt2ヒステリシス特性
花井 彩香, 柳谷 隆彦
応用物理学会 (東京都市大学)
発表年月： 2024年03月
周期的傾斜分極反転構造とベタ電極からなるSAWデバイス
松村 理司, 島野 耀康, 大野 直輝, 柳谷 隆彦,長康雄
応用物理学会 (東京都市大学)
発表年月： 2024年03月
c 軸傾斜 ScAlN 薄膜を用いた送受波型ジャイロセンサの作製
小池由奈, 柳谷隆彦
応用物理学会 (東京都市大学)
発表年月： 2024年03月
エピタキシャル PbTiO3薄膜を用いた ブラッグ反射器型共振子の分極反転特性
下山 航, 島野 耀康, 國信 聡太, 柳谷 隆彦
応用物理学会 (東京都市大学)
発表年月： 2024年03月
分極反転もしくは中間電極を用いたScAlN多層薄膜SMRによる二重モード型BAWフィルタ(DMB)
松村 桃佳, 柴田 真之, 柳谷 隆彦
圧電・材料デバイスシンポジウム2024 (東北大学)
発表年月： 2024年01月
AOGsレスSc0.4Al0.6N薄膜の大面積成膜を目指した矩形カソード平行平板スパッタリング
浴田 航平, 石井 直輝, 島野 耀康, 柳谷 隆彦
圧電・材料デバイスシンポジウム2024 (東北大学)
発表年月： 2024年01月
純AlN薄膜共振子の強誘電性とヒステリシス特性
花井 彩香, 柳谷 隆彦
圧電・材料デバイスシンポジウム2024 (東北大学)
発表年月： 2024年01月
周期的傾斜分極反転構造を用いたベタ電極によるSAWの励振
松村 理司, 島野 耀康, 大野 直輝, 柳谷 隆彦, 長康雄
圧電・材料デバイスシンポジウム2024 (東北大学)
発表年月： 2024年01月
エピタキシャルYSZ薄膜およびYHfO2薄膜の電界誘起圧電性
勝又 彩馨, 島野 耀康, 柳谷隆彦
圧電・材料デバイスシンポジウム2024 (東北大学)
発表年月： 2024年01月
パルスエコー法による減衰定数測定を用いたScAlN薄膜のQ値評価
島野 耀康, 柳谷 隆彦
圧電・材料デバイスシンポジウム2024 (東北大学)
発表年月： 2024年01月
電極抵抗低減に向けて上下電極に金属音響ブラッグ反射器を採用したSMR
富岡 美咲, 渡海 智, 柳谷隆彦
圧電・材料デバイスシンポジウム2024 (東北大学)
発表年月： 2024年01月
エピタキシャルPbTiO3薄膜を用いたブラッグ反射器型共振子
下山 航, 島野 耀康, 國信 聡太, 柳谷 隆彦
圧電・材料デバイスシンポジウム2024 (東北大学)
発表年月： 2024年01月
数百MHz帯超音波を用いた複素反射率測定による生体物質の相互作用の検出
茂木彩音, 柳谷隆彦
電子情報通信学会応用音響研究会 (九州大学)
発表年月： 2023年12月
エピタキシャルZnO犠牲層を用いたc軸傾斜エピタキシャルScAlN自立薄膜共振子
小林栞, 柳谷隆彦
電子情報通信学会応用音響研究会 (九州大学)
発表年月： 2023年12月
c軸傾斜Sc0.4Al0.6N薄膜の大面積成膜を目指した矩形カソードによる平行平板スパッタリング
石井直輝, 柳谷隆彦
電子情報通信学会応用音響研究会 (九州大学)
発表年月： 2023年12月
厚みすべりモードc軸ジグザグScAlN積層を用いたSMR型圧電トランス
白岩和剛, 柳谷隆彦
電子情報通信学会応用音響研究会 (九州大学)
発表年月： 2023年12月
PbTiO3エピタキシャル自立薄膜共振子の電気機械結合係数ヒステリシスカーブ
國信聡太, 柳谷隆彦
電子情報通信学会応用音響研究会 (九州大学)
発表年月： 2023年12月
積層電極によるScAlN多層薄膜SMRを用いた二重モードBAWフィルタ(DMB)
柴田真之, 柳谷隆彦
電子情報通信学会応用音響研究会 (九州大学)
発表年月： 2023年12月
エピ犠牲層エッチングを用いたエピ圧電層/音響ブラッグ反射器構造の作製
渡海智, 柳谷隆彦
電子情報通信学会応用音響研究会 (九州大学)
発表年月： 2023年12月
c軸傾斜エピPbTiO3薄膜の高い擬似すべりモード電気機械結合係数
國信聡太, 柳谷隆彦
電子情報通信学会超音波研究会 (静岡大学)
発表年月： 2023年11月
高電力性向上を目的とした高次モード分極反転ScAlN薄膜SMR
柴田真之, 柳谷隆彦
電子情報通信学会超音波研究会 (静岡大学)
発表年月： 2023年11月
圧電層と基板の音響分離を目指した30層分極反転HBAR
白岩和剛, 柳谷隆彦
電子情報通信学会超音波研究会 (静岡大学)
発表年月： 2023年11月
エピ圧電薄膜/エピ音響ブラッグ反射器構造のSMR
渡海智, 柳谷隆彦
電子情報通信学会超音波研究会 (静岡大学)
発表年月： 2023年11月
高い横波電気機械結合係数を持つc軸傾斜PbTiO3薄膜/オフ角La-SrTiO3基板共振子
國信聡太, 柳谷隆彦
第44回 超音波エレクトロニクスの 基礎と応用に関するシンポジウムUSE2023 (富山国際会議場)
発表年月： 2023年11月
エピ音響ブラッグ反射器上に成長させたエピScAlN, MgZnO圧電薄膜SMR
渡海智, 柳谷隆彦
第44回 超音波エレクトロニクスの 基礎と応用に関するシンポジウムUSE2023 (富山国際会議場)
発表年月： 2023年11月
c軸ジグザグ分極反転ScAlN薄膜を用いたトランスバーサル型BAWフィルタ
柴田真之, 柳谷隆彦
第44回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウムUSE2023 (富山国際会議場)
発表年月： 2023年11月
Acoustic separation of piezoelectric layer and substrate using 30-layer c-axis zigzag ScAlN polarization inversion resonator
(中国、深圳)
発表年月： 2023年11月
kt2 Hysteresis curves of PbTiO3 epitaxial film resonators before and after removing substrate
(中国、深圳)
発表年月： 2023年11月
Characteristics of piezoelectric LiNbO3 epitaxial thin films grown on off-angle Al2O3 substrate
(中国、深圳)
発表年月： 2023年11月
Polarization-inverted c-axis zigzag ScAlN multilayers for transversal type BAW filter
(中国、深圳)
発表年月： 2023年11月
Full epitaxial ZnO, MgZnO and ScAlN piezoelectric thin film BAW resonators based on epitaxial acoustic Bragg refractor
(中国、深圳)
発表年月： 2023年11月
Shear mode electromechanical coupling coefficient of c-axis tilted PbTiO3 epitaxial thin film/off-angle La-SrTiO3 substrate
(中国、深圳)
発表年月： 2023年11月
Characteristics of acoustic resonators using YbAlN and YbGaN epitaxial piezoelectric thin films
(中国、深圳)
発表年月： 2023年11月
RF power durability of polarization-inverted c-axis zigzag ScAlN piezoelectric multilayers
(中国、深圳)
発表年月： 2023年11月
基地局向けRFフィルタを目指した多層圧電薄膜共振子
白岩和剛, 柳谷隆彦
革新的無線通信技術に関する横断型研究会 (沖縄市町村自治会館)
発表年月： 2023年10月
RFフィルタ向け窒化物多層圧電薄膜のハイパワー特性
柴田真之, 柳谷隆彦
革新的無線通信技術に関する横断型研究会 (沖縄市町村自治会館)
発表年月： 2023年10月
横波型RFフィルタを目指したPbTiO3圧電薄膜
國信聡太, 柳谷隆彦
革新的無線通信技術に関する横断型研究会 (沖縄市町村自治会館)
発表年月： 2023年10月
RFフィルタ向けエピタキシャル圧電薄膜多層構造
渡海智, 柳谷隆彦
革新的無線通信技術に関する横断型研究会 (沖縄市町村自治会館)
発表年月： 2023年10月
多重エコー集約による基板付き圧電薄膜の電気機械結合係数keff2の新規評価法
島野耀康, 柳谷隆彦
日本音響学会第150回(2023年秋季)研究発表会 (名古屋工業大学)
発表年月： 2023年09月
c-axis tilted LiNbO3 epitaxial thin film grown on off-angle Al2O3 single crystal substrate
(カナダ、モントリオール)
発表年月： 2023年09月
Hysteresis curves of ferroelectric ScAlN films for fabricating periodically polarization inverted structure
(カナダ、モントリオール)
発表年月： 2023年09月
Investigation of the origins of electrode area dependence in kt2 evaluation using FEM analysis in comparison with experimental data
(カナダ、モントリオール)
発表年月： 2023年09月
New method for extracting keff2 from HBAR by producing pseudo FBAR characteristics without substrate removal
(カナダ、モントリオール)
発表年月： 2023年09月
30-layer polarization inversion resonator for acoustic separation of the piezoelectric layer and the substrate
(カナダ、モントリオール)
発表年月： 2023年09月
High quasi-shear mode electromechanical coupling of c-axis tilted PbTiO3 epitaxial thin film grown on off-angle SrTiO3 single crystal substrate
(カナダ、モントリオール)
発表年月： 2023年09月
Quasi-shear mode excitation of c-axis tilted ScAlN and MgZnO epitaxial thin films on off-angle sapphire single crystal substrates
(カナダ、モントリオール)
発表年月： 2023年09月
Shear mechanical properties of acoustic Bragg reflector measured by GHz pulse echo method
(カナダ、モントリオール)
発表年月： 2023年09月
Full-epitaxial ScAlN, ZnO and MgZnO SMR based on epitaxial metal acoustic Bragg reflector
(カナダ、モントリオール)
発表年月： 2023年09月
強誘電性ScAlN薄膜SMRのkt2ヒステリシス特性
松村理司, 柳谷隆彦
第52回EMシンポジウム (東京理科大学)
発表年月： 2023年07月
厚さ0.1 mmのc軸傾斜ScAlN 厚膜の擬似横波励振特性
國信聡太, 柳谷隆彦
第52回EMシンポジウム (東京理科大学)
発表年月： 2023年07月
エピ金属薄膜から成る音響ブラッグ反射器上にエピ圧電薄膜を持つSMR
渡海智, 柳谷隆彦
第52回EMシンポジウム (東京理科大学)
発表年月： 2023年07月
圧電層と基板の音響分離を目指した30層c軸ジグザグScAlN分極反転共振子
白岩和剛, 柳谷隆彦
第11回弾性波素子技術コンソーシアム研究会 (機械振興会館)
発表年月： 2023年06月
基板除去前後におけるPbTiO3エピタキシャル薄膜共振子のkt2ヒステリシスカーブ
國信聡太, 柳谷隆彦
第11回弾性波素子技術コンソーシアム研究会 (機械振興会館)
発表年月： 2023年06月
GHz帯パルスエコー法による音響ブラッグ反射層の横波特性の抽出
鈴木基嗣, 柳谷隆彦
第11回弾性波素子技術コンソーシアム研究会 (機械振興会館)
発表年月： 2023年06月
エピScAlN, MgZnO圧電薄膜/エピ音響ブラッグ反射器構造のSMR
渡海智, 柳谷隆彦
第11回弾性波素子技術コンソーシアム研究会 (機械振興会館)
発表年月： 2023年06月
(10-12)LiNbO3スパッタエピ薄膜のGHz帯擬似横波励振特性
内田拓希, 工藤慎也, 柳谷隆彦
第70回応用物理学会春季学術講演会
発表年月： 2023年03月
オフ角基板を用いたc軸傾斜エピPbTiO 3 薄膜の擬似横波励振特性
國信聡太, 柳谷隆彦
第70回応用物理学会春季学術講演会
発表年月： 2023年03月
Li0.65Nb0.3Ta0.05O3 スパッタエピ薄膜のGHz帯励振特性
中村華英, 工藤慎也, 柳谷隆彦
第70回応用物理学会春季学術講演会
発表年月： 2023年03月
オフ角サファイア単結晶基板上 c 軸傾斜MgZnO, ScAlN,エピタキシャル薄膜の擬似横波励振特性
小林栞, 岸大貴, 柳谷隆彦
第70回応用物理学会春季学術講演会
発表年月： 2023年03月
30 層分極反転共振子による圧電層と基板の音響分離
白岩和剛, 柳谷隆彦
第70回応用物理学会春季学術講演会
発表年月： 2023年03月
YbGaNおよびYbAlNエピタキシャル薄膜を用いたBAW共振子の特性
馮子泰, 李嵩, 柳谷隆彦
第70回応用物理学会春季学術講演会
発表年月： 2023年03月
基板付き薄膜共振子における共振反共振法用いた電極を含む電気機械結合係数keff2の直接評価
島野耀康, 矢田部浩平, 柳谷隆彦
第70回応用物理学会春季学術講演会
発表年月： 2023年03月
基板付き圧電薄膜構造の kt2評価における電極面積依存性の実験データとFEM解析データの比較
関崚, 清水祐樹, 柳谷隆彦
第70回応用物理学会春季学術講演会
発表年月： 2023年03月
エピ音響ブラッグ反射器およびエピScAlN, MgZnO圧電薄膜から成るSMR
渡海智, 柳谷隆彦
第70回応用物理学会春季学術講演会
発表年月： 2023年03月
オフ角 La-SrTiO3 基板を用いた c 軸傾斜エピ PbTiO3 薄膜の高い横波圧電性
國信聡太, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2023
発表年月： 2023年01月
オフ角 Al2O3 基板を用いた LiNbO3 薄膜の c 軸傾斜エピタキシャル成長
工藤慎也, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2023
発表年月： 2023年01月
オフ角サファイア基板を用いた ScAlN および MgZnO 薄膜の c 軸傾斜エピタキシャル成長と横波圧電特性
岸大貴, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2023
発表年月： 2023年01月
圧電層と基板の音響分離を目指した 30 層分極反転共振子案
白岩和剛, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2023
発表年月： 2023年01月
エピタキシャル金属薄膜から成る音響ブラッグ反射器を用いたフルエピタキシャル SMR の作製
渡海智, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2023
発表年月： 2023年01月
基板付き薄膜共振子において通常の共振反共振法を用いる新しい kt2 評価法の提案
島野耀康, 矢田部浩平, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2023
発表年月： 2023年01月
基板付き圧電薄膜の様々な kt2評価法における電極面積依存性
関崚, 清水祐樹, 近藤圭太, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2023
発表年月： 2023年01月
GHz 帯パルスエコー法による音響ブラッグ反射層の横波機械的通過損失の測定
鈴木基嗣, 石井直輝, 近藤圭太, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2023
発表年月： 2023年01月
YbGaNおよびYbAlNエピタキシャル薄膜共振子の特性
李嵩, 賈軍軍, 柳谷隆彦
電子情報通信学会超音波研究会
発表年月： 2022年12月
SiO2遅延層を用いたGHz帯パルスエコー法による音響ブラッグ反射層の機械的通過損失の測定
近藤圭太, 石井直輝, 鈴木基嗣, 柳谷隆彦
電子情報通信学会超音波研究会
発表年月： 2022年12月
LiNbO3スパッタエピ薄膜のGHz帯励振特性
工藤慎也, 柳谷隆彦
電子情報通信学会超音波研究会
発表年月： 2022年12月
c軸20°傾斜配向MgZnOエピタキシャル薄膜の擬似横波励振特性
岸大貴, 柳谷隆彦
電子情報通信学会超音波研究会
発表年月： 2022年12月
基板付き圧電薄膜の kt2評価における電極面積の影響
関崚, 清水祐樹, 近藤圭太, 柳谷隆彦
電子情報通信学会超音波研究会
発表年月： 2022年12月
基板付き薄膜共振子を用いたScAlN、ZnO、PZT圧電薄膜層のQ値抽出
清水祐樹, 柳谷隆彦
電子情報通信学会超音波研究会
発表年月： 2022年12月
Fingerprint imaging using GHz PbTiO3 epitaxial thin film ultrasonic transducer
K. Nakamura, Takahiko Yanagitani
2022 US-Japan Seminar on Dielectric and Piezoelectric Ceramics IEEE
発表年月： 2022年11月
kt2 hysteresis curves of PbTiO3 epitaxial film resonators before and after removing substrate
S. Kuninobu, Takahiko Yanagitani
2022 US-Japan Seminar on Dielectric and Piezoelectric Ceramics IEEE
発表年月： 2022年11月
Mechanical Q factor extraction of sputter-grown Pb(ZrxTi1-x)O3 epitaxial thin films without removing substrate
Y. Shimizu, Takahiko Yanagitani
2022 US-Japan Seminar on Dielectric and Piezoelectric Ceramics IEEE
発表年月： 2022年11月
Thickness shear mode BAW resonator based on epitaxial (10-12) LiNbO3 (11-20) AZO/(10-12) Al2O3
S. Kudo ,Takahiko Yanagitani
The 43rd Symposium on UltraSonic Electronics (USE2022)
発表年月： 2022年11月
Mechanical Q factor dependence on Zr/Ti ratio of sputter-grown PZT epitaxial thin films
Y. Shimizu,Takahiko Yanagitani
The 43rd Symposium on UltraSonic Electronics (USE2022)
発表年月： 2022年11月
Extraction of mechanical reflectance of acoustic Bragg reflector by GHz pulse echo technique
M. Suzuki,Takahiko Yanagitani
The 43rd Symposium on UltraSonic Electronics (USE2022)
発表年月： 2022年11月
Quasi-shear mode excitation of c-axis tilted MgZnO epitaxial thin film
H. Kishi,Takahiko Yanagitani
The 43rd Symposium on UltraSonic Electronics (USE2022)
発表年月： 2022年11月
Extracting Q factor of the piezoelectric thin films from film/high-Q substrate HBAR structure
M. Suzuki,Takahiko Yanagitani
2022 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
発表年月： 2022年10月
piezoelectric gyroscope with tilted c-axis ScAlN thin-films
Y. Koike and T. Yanagitani
2022 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
発表年月： 2022年10月
GHz electromechanical coupling hysteresis curves for ferroelectric ScAlN and epitaxial MgZnO films
N. Ishi,Takahiko Yanagitani
2022 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
発表年月： 2022年10月
Evaluation of mechanical Q factor of sputter-grown Pb(ZrxTi1-x)O3 epitaxial films without removing substrate
Y. Shimizu,Takahiko Yanagitani
2022 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
発表年月： 2022年10月
Grow of O-polar and Zn polar ferroelectric MgZnO thin films controlled by sputtering geometry
Y. Shimano,Takahiko Yanagitani
2022 IEEE Ultrasonic Symposium (IUS2022) IEEE
発表年月： 2022年10月
Experimental and theoretical investigation of enhanced electromechanical properties in YbAlN and YbGaN films
S. Li, Takahiko Yanagitani
2022 IEEE Ultrasonic Symposium (IUS2022) IEEE
発表年月： 2022年10月
IBAD c-axis parallel ZnO piezoelectric film stack for gyroscope applications
S. Kudo, Takahiko Yanagitani
2022 IEEE Ultrasonic Symposium (IUS2022) IEEE
発表年月： 2022年10月
Sputter epitaxial (101 ̅2) LiNbO3 film / (112 ̅0) AZO / (101 ̅2) Al2O3 shear mode thin film resonators
S. Kudo, Takahiko Yanagitani
2022 IEEE Ultrasonic Symposium (IUS2022) IEEE
発表年月： 2022年10月
Fabrication of high kt2 and k’352 Sc0.4Al0.6N thin films by RF magnetron sputtering
Y. Shimizu,Takahiko Yanagitani
2022 IEEE Ultrasonic Symposium (IUS2022) IEEE
発表年月： 2022年10月
Improvement of electromechanical coupling coefficient of piezoelectric LiNbO3 by doping praseodymium
K. Nakamura,Takahiko Yanagitani
2022 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
発表年月： 2022年10月
A method for evaluating sole mechanical properties of acoustic Bragg reflector by pulse echo technique in the GHz range
M. Suzuki,Takahiko Yanagitani
2022 IEEE Ultrasonic Symposium (IUS2022) IEEE
発表年月： 2022年10月
Quasi-shear mode electromechanical coupling coefficient of c-axis tilted MgZnO thin films
Y. Shimano,Takahiko Yanagitani
2022 IEEE Ultrasonic Symposium (IUS2022) IEEE
発表年月： 2022年10月
Fabrication of epitaxial piezoelectric layer on acoustic Bragg reflector using epitaxial sacrificial layer
S. Tokai, Takahiko Yanagitani
2022 IEEE Ultrasonic Symposium (IUS2022) IEEE
発表年月： 2022年10月
SMR-type piezoelectric transformer based on c-axis zig-zag polarization inverted ScAlN multilayer
K. Shiraiwa, Takahiko Yanagitani
2022 IEEE Ultrasonic Symposium (IUS2022) IEEE
発表年月： 2022年10月
Epitaxial PbTiO3 ultrasonic transducer for higher resolution of fingerprint imaging using GHz reflectometry of back side of substrate
Y. Koike, Takahiko Yanagitani
2022 IEEE Ultrasonic Symposium (IUS2022) IEEE
発表年月： 2022年10月
Power Durability Evaluation of Higher-order Mode Polarization-inverted ScAlN Thin Film Resonators
S. Shibata and T. Yanagitan
2022 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
発表年月： 2022年10月
Transversal type BAW filter based on polarization-inverted ScAlN multilayers
S. Shibata and T. Yanagitan
2022 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
発表年月： 2022年10月
Polarization inverted 2 layer ScAlN thin film resonator fabricated by applying external electric field
N. Ishi and T. Yanagitani
2022 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
発表年月： 2022年10月
基板付き薄膜構造からの圧電薄膜のQ値抽出における横方向伝搬の影響
清水祐樹, 柳谷隆彦
第92回応用物理学会秋季学術講演会
発表年月： 2022年09月
GHz帯パルスエコー法による音響多層膜単体の機械特性評価
鈴木基嗣, 石井直輝, 近藤圭太, 柳谷隆彦
第83回応用物理学会秋季学術講演会
発表年月： 2022年09月
(100)AgNbO3エピタキシャル薄膜/(100)STO基板のGHz帯超音波励振特性
浴田航平, 大森拳, 工藤慎也, 柳谷隆彦
第83回応用物理学会秋季学術講演会
発表年月： 2022年09月
分極反転多層デバイスに向けた極性制御MgZnO圧電薄膜の作製
島野耀康, 高柳真司, 柳谷隆彦
第83回応用物理学会秋季学術講演会
発表年月： 2022年09月
c軸10°傾斜配向ZnOエピタキシャル薄膜の成長と擬似横波励振特性
岸大貴, 柳谷隆彦
第83回応用物理学会秋季学術講演会
発表年月： 2022年09月
(10-12)LiNbO3スパッタエピ薄膜のGHz帯擬似横波励振特性
工藤慎也, 柳谷隆彦
第83回応用物理学会秋季学術講演会
発表年月： 2022年09月
耐電力性向上を目的とした分極反転ScAlN薄膜ブラッグ反射共振子
柴田真之, 柳谷隆彦
第83回応用物理学会秋季学術講演会
発表年月： 2022年09月
20%を超える高いkt2値のc軸配向Sc0.4Al0.6N薄膜および高いk´352値のc軸傾斜配向Sc0.4Al0.6N薄膜
内田拓希, 清水 祐樹, 鈴木 雅視, 高柳 真司, 柳谷 隆彦
第83回応用物理学会秋季学術講演会
発表年月： 2022年09月
基板付きの圧電薄膜と自立構造の圧電薄膜に対する 各種 kt2値評価法の比較
関崚, 清水祐樹, 柳谷隆彦
第83回応用物理学会秋季学術講演会
発表年月： 2022年09月
ウルツ鉱型強誘電体薄膜におけるGHz帯kt2-Eヒステリシス特性
石井直輝, 小林栞, 柳谷隆彦
第83回応用物理学会秋季学術講演会
発表年月： 2022年09月
PZTエピタキシャル薄膜のZr/Ti比における機械的品質Qmの依存性
國信聡太, 清水祐樹, 柳谷隆彦
第83回応用物理学会秋季学術講演会
発表年月： 2022年09月
(10-12)LiNbO3エピタキシャル薄膜/(10-12)Al2O3基板のGHz帯向け擬似横波励振特性
工藤慎也, 柳谷隆彦
日本音響学会第148回
発表年月： 2022年09月
c軸10°傾斜配向ZnOエピタキシャル薄膜における擬似横波励振特性
岸大貴, 柳谷隆彦
日本音響学会第148回
発表年月： 2022年09月
c軸傾斜MgZnO薄膜における擬似横波励振特性
島野耀康, 柳谷隆彦
日本音響学会第148回
発表年月： 2022年09月
A method to evaluate the mechanical transmission loss of the sole Bragg reflector by using GHz pulse echo technique
N. ishi, Takahiko Yanagitani
IEEE IC-MAM 2022 IEEE
発表年月： 2022年07月
Epitaxial piezoelectric layer SMR fabricated using epitaxial sacrificial layer process
S. Kudo, Takahiko Yanagitani
IEEE IC-MAM 2022 IEEE
発表年月： 2022年07月
Thickness shear mode epitaxial (10¯("1" ) "2") LiNbO3 (11¯("2" )0) AZO/(10¯("1" ) "2") Al2O3 BAW resonator
S. Kudo, Takahiko Yanagitani
IEEE IC-MAM 2022 IEEE
発表年月： 2022年07月
Fingerprint imaging in GHz using PbTiO3 epitaxial piezoelectric thin films
Y. Koike, Takahiko Yanagitani
IEEE IC-MAM 2022 IEEE
発表年月： 2022年07月
「III-V族窒化物圧電薄膜へのYb添加効果」
賈軍軍、岩田直也、柳谷隆彦
第69回応用物理学会春季学術講演会
発表年月： 2022年03月
「外部電場によるScAlN薄膜の分極反転と圧電特性」
石井直輝、柳谷隆彦
第69回応用物理学会春季学術講演会
発表年月： 2022年03月
「スパッタ法による透明 ScAlN 薄板の成長」
李嵩、柳谷隆彦
第69回応用物理学会春季学術講演会
発表年月： 2022年03月
「音響ブラッグ反射器上へのエピ圧電層の形成」
渡海智、柳谷隆彦
第69回応用物理学会春季学術講演会
発表年月： 2022年03月
「c軸ジグザグ分極反転ScAlN薄膜を用いたBAW送受波型トランスバーサルフィルタ」
柴田真之、佐藤裕友、柳谷隆彦
第69回応用物理学会春季学術講演会
発表年月： 2022年03月
「PbTiO3 アレイトランスデューサの基板裏面での反射率測定によるGHz帯超音波イメージング」
小池由奈、柳谷隆彦
第69回応用物理学会春季学術講演会
発表年月： 2022年03月
「高Q基板を用いた圧電薄膜/基板構造からの圧電薄膜層のQ値抽出」
小林栞、柳谷隆彦
第69回応用物理学会春季学術講演会
発表年月： 2022年03月
「PbTiO3 薄膜共振子の基板除去前後における kt2 ヒステリシスカーブの比較 」
國信聡太、柳谷隆彦
第69回応用物理学会春季学術講演会
発表年月： 2022年03月
「c軸傾斜配向MgZnO薄膜の作製」
岸大貴、柳谷隆彦
第69回応用物理学会春季学術講演会
発表年月： 2022年03月
「LiNbO3 エピタキシャル薄膜の共振特性」
工藤慎也、柳谷隆彦
第69回応用物理学会春季学術講演会
発表年月： 2022年03月
「c軸傾斜反転ScAlN薄膜を用いたブラッグ反射器型圧電トランス」
白岩和剛、柳谷隆彦
第69回応用物理学会春季学術講演会
発表年月： 2022年03月
「超音波顕微鏡による音響ブラッグ反射層の機械的通過損失の測定」
鈴木基嗣、柳谷隆彦
第69回応用物理学会春季学術講演会
発表年月： 2022年03月
「c軸傾斜配向ScAlN薄膜を用いた複素反射法による生体物質の相互作用の検出」
茂木彩音、柳谷隆彦
第69回応用物理学会春季学術講演会
発表年月： 2022年03月
「GHz 帯パルスエコー法による音響ブラッグ反射層単体の機械的通過特性の評価」
近藤圭太、石井直輝、柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2022
発表年月： 2022年01月
「(0001)YbAlN／(0001)Ti／(0001)Al2 O3 エピタキシャル薄膜共振子」
李嵩、柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2022
発表年月： 2022年01月
「外部電場により分極反転処理した強誘電性 ScAlN 薄膜共振子」
石井直輝、岩田直也、柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2022
発表年月： 2022年01月
「高 Q 基板を用いた基板付き薄膜共振子からの圧電薄膜層のQ 値抽出」
清水祐樹、小林栞、柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2022
発表年月： 2022年01月
「厚みすべりモード c 軸ジグザグ ScAlN 積層を用いたブラッグ反射器型圧電トランス」
白岩和剛、佐藤裕友、柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2022
発表年月： 2022年01月
「PbTiO3 エピ薄膜の基板裏面反射率測定を用いたGHz帯音響イメージングの高分解能化」
佐藤裕友、柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2022
発表年月： 2022年01月
「スパッタによる透明 ScAlN 薄板の成長と10 MHz帯トランスデューサへの応用」
岩田直也、柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2022
発表年月： 2022年01月
「エピ犠牲層を用いた音響ブラッグ反射器上へのエピ圧電層の形成」
渡海智、柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2022
発表年月： 2022年01月
「耐電力性向上に向けた高次モード分極反転ScAlN薄膜の作製およびサブ W 耐電力性の評価」
柴田真之、柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2022
発表年月： 2022年01月
「分極反転 ScAlN 薄膜を用いたBAW送受波型トランスバーサルフィルタ」
泉航太、柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2022
発表年月： 2022年01月
「GHz 帯 PbTiO3 エピ薄膜を用いた基板裏面での反射率測定によるイメージング」
佐藤裕友、柳谷隆彦
The 42th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2021)
発表年月： 2021年10月
「ブラッグ反射器を用いた厚みすべりモード c 軸ジグザグ ScAlN 積層型圧電トランス」
白岩和剛、柳谷隆彦
第５０回ＥＭシンポジウム
発表年月： 2021年09月
「自立構造 PbTiO3薄膜共振子における kt2ヒステリシスカーブの測定」
國信聡太、柳谷隆彦
第５０回ＥＭシンポジウム
発表年月： 2021年09月
「5GHz 帯に向けた自立構造 ScAlN エピタキシャル薄膜共振子」
関崚、柳谷隆彦
第５０回ＥＭシンポジウム
発表年月： 2021年09月
“Experimental and Theoretical Investigation of kt2 and Velocity in YbGaN Films by DFT,”
Y. Koike, J. Jia, M. Suzuki,,Takahiko Yanagitani,
2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
発表年月： 2021年09月
“GHz BAW Piezoelectric Transformers for Passive Voltage Amplification Using the Epitaxial ZnO Thin Films”
H. Kishi, S. Kobayashi,,Takahiko Yanagitani,
2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
発表年月： 2021年09月
“Detection of Protein Binding by Shear Mode Ultrasonic Reflection Coefficients Using c-Axis Tilted ScAlN Film Above 100MHz”
Y. Miho,,Takahiko Yanagitani,
2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
発表年月： 2021年09月
A Method for Evaluating Acoustic Bragg Reflector by Ultrasonic Microscope
N. Ishi, K. Kondo, T. Yanagitani
2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
発表年月： 2021年09月
Epitaxial PbTiO3 Ultrasonic Transducer for Fingerprint Imaging in the Giga-Hertz Range Using the Reflectometry of Back Side of Substrate
Y. Sato, T. Yanagitani
2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
発表年月： 2021年09月
“Thick Epitaxial ScAlN Film/ (111) Pt/ (0001) Sapphire Ultrasonic Transducer in the 30 MHz”
N. Iwata,,Takahiko Yanagitani,
2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
発表年月： 2021年09月
“Precise Extraction of kt2 for Piezoelectric Film/Substrate Structure by Unembedding Parasitic Inductance”
K. Kondo,,Takahiko Yanagitani,
2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
発表年月： 2021年09月
“Effect of Epitaxial Stress in PbTiO3 Epitaxial Film Resonators on kt2 Hysteresis Curve”
S. Kuninobu, N. Iwata,,Takahiko Yanagitani,
2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
発表年月： 2021年09月
“0.1 mm Thick ScAlN Film: Application to MHz Transducer and Precise Lattice Constant Measurement”
N. Bai,,Takahiko Yanagitani,
2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
発表年月： 2021年09月
“Comparison of the kt2 Extraction Methods of Piezoelectric Films in Film/Substrate Structure and SelfStanding Film Structure”
Y. Shimizu, K. Kondo,,Takahiko Yanagitani,
2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
発表年月： 2021年09月
“Effect of Lateral Propagation on Extraction of Mechanical Q Factor of the Piezoelectric Films Without Removing Substrate”
Y. Shimizu,,Takahiko Yanagitani,
2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
発表年月： 2021年09月
誘電率の異なる材料を組み合わせた圧電薄膜トランスの作製
岸大貴、木下紗里那、泉航太、柳谷隆彦
第68回応用物理学会春季学術講演会
発表年月： 2021年03月
エピタキシャルPbTiO3 自立薄膜共振子のGHz 帯圧電特性
渡海智、國信 総太、柳谷 隆彦
第68回応用物理学会春季学術講演会
発表年月： 2021年03月
MgおよびCaドーピングによるZnO薄膜のUHF帯電気機械結合係数kt2の向上
泉航太、柳谷隆彦
第68回応用物理学会春季学術講演会
発表年月： 2021年03月
基板付き圧電薄膜構造におけるkt2評価法に寄生インダクタンスが与える影響
山中恵理、近藤圭太、龍見亮汰、柳谷隆彦
第68回応用物理学会春季学術講演会
発表年月： 2021年03月
c軸傾斜配向ScAlN薄膜の横波反射率測定による液体の粘性評価
山下美穂、木下紗里那、柳谷隆彦
第68回応用物理学会春季学術講演会
発表年月： 2021年03月
PbTiO3エピタキシャル薄膜の基板裏面における反射率測定を用いたGHz帯指紋イメージング
佐藤裕友、石井直輝、柳谷隆彦
第68回応用物理学会春季学術講演会
発表年月： 2021年03月
イオン照射を用いたScAlN薄膜の極性制御
工藤慎也、天野凌輔、柳谷隆彦
第68回応用物理学会春季学術講演会
発表年月： 2021年03月
基板付き圧電薄膜構造における変換損失kt2評価法に寄生インダクタンスが与える影響
近藤圭太、龍見亮汰、柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2021
発表年月： 2021年01月
基板付きAlN、ScAlN、ZnO薄膜共振子の機械的Qm値の抽出
清水祐樹、木下紗里那、岩田直也、柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2021
発表年月： 2021年01月
AlNとScAlN薄膜共振子の非線形性に起因する周波数シフトとDCバイアス時の格子ひずみの比較
五月女巧、柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2021
発表年月： 2021年01月
厚膜成長と粉体化により応力を緩和したScAlNにおける結晶構造のSc濃度依存性
白寧蕊、柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2021
発表年月： 2021年01月
基板へのイオン照射を抑制したスパッタ法によるZnO 薄膜形成と結晶性および圧電性への影響
富永浩平、高柳真司、柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2021
発表年月： 2021年01月
円管構造 SH-SAW センサに向けた c 軸平行配向 ZnO 薄膜の石英ガラス管への成膜
若林拓也、高柳真司、柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2021
発表年月： 2021年01月
低圧スパッタ成膜で増大する負イオン照射と ScAlN 薄膜の結晶性および圧電性の劣化
冨永卓海、高柳真司、柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2021
発表年月： 2021年01月
自立薄膜共振子の作製を目指したPbTiO3エピタキシャル薄膜のMgO下地エッチング
國信聡太、岩田直也、柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2021
発表年月： 2021年01月
GHz帯PbTiO3エピ薄膜の基板裏面における反射率差を用いた指紋イメージング
佐藤裕友、柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2021
発表年月： 2021年01月
ウェハー状態の圧電薄膜共振子の基板内音響損失を除いた変換損 kt2 導出法
龍見亮汰、柳谷隆彦
The 41th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2020)
発表年月： 2020年11月
円管構造 SH-SAW センサに向けた c 軸平行配向 ZnO 薄膜の石英ガラス管回転成膜
若林拓也、髙柳真司、柳谷隆彦
The 41th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2020)
発表年月： 2020年11月
スパッタ成膜中に基板へ照射されるイオンの抑制をした ZnO 薄膜の形成と圧電性への影響
富永浩平、髙柳真司、柳谷隆彦
The 41th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2020)
発表年月： 2020年11月
低圧スパッタ成膜において増大する負イオン照射が ScAlN 薄膜の圧電性に及ぼす影響
冨永卓海、髙柳真司、柳谷隆彦
The 41th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2020)
発表年月： 2020年11月
AlNとScAlNにおける非線形性に起因するDCバイアス時の周波数シフトおよび格子ひずみの比較
五月女巧、柳谷隆彦
電子情報通信学会超音波研究会
発表年月： 2020年11月
低圧スパッタ成膜で増大する負イオン照射がScAlN薄膜の結晶性と圧電性に及ぼす影響
冨永卓海、髙柳真司、柳谷隆彦
電子情報通信学会超音波研究会
発表年月： 2020年11月
レクテナ昇圧素子に向けたScAlN/SiO2積層型圧電薄膜トランス
岸大貴、泉航太、木下紗里那、柳谷隆彦
第４９回ＥＭシンポジウム
発表年月： 2020年10月
GHz帯PZT系エピ薄膜トランスデューサを用いた指紋イメージング
佐藤裕友、柳谷隆彦
第４９回ＥＭシンポジウム
発表年月： 2020年10月
ZnO薄膜のMgおよびCaドーピングによるUHF帯電気機械結合係数kt2の向上
泉航太、柳谷隆彦
第４９回ＥＭシンポジウム
発表年月： 2020年10月
基板付き薄膜共振子の基板内損失を含まない新規kt2評価法と従来法の比較
龍見亮汰、柳谷隆彦
電子情報通信学会超音波研究会
発表年月： 2020年09月
ScAlスパッタターゲットから生じる負イオンがScAlN圧電薄膜の結晶配向性や電気機械結合係数に及ぼす影響
木原流唯、高柳真司、柳谷隆彦
電子情報通信学会超音波研究会
発表年月： 2020年09月
レクテナ昇圧素子に向けた傾斜反転ScAlN圧電薄膜トランス
木下紗里那、柳谷隆彦
電子情報通信学会超音波研究会
発表年月： 2020年09月
Yusuke Sato, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) IEEE
発表年月： 2020年09月
Extracting mechanical Q factor of the pure AlN, ScAlN, and ZnO films without etching substrate
Naoya Iwata, Sarina Kinoshita, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) IEEE
発表年月： 2020年09月
Takumi Soutome, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) IEEE
発表年月： 2020年09月
c-Axis oriented ScAlN/SiO2 multilayer BAW transformer for rectifying antenna applications
Kota Izumi, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) IEEE
発表年月： 2020年09月
Ryota Tatsumi, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) IEEE
発表年月： 2020年09月
Takumi Tominaga, Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) IEEE
発表年月： 2020年09月
Ryota Tatsumi, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) IEEE
発表年月： 2020年09月
Self-Standing FBAR Transformer based on Shear Mode Zig-zag ScAlN Multilayer for Rectenna Application
Sarina Kinoshita, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) IEEE
発表年月： 2020年09月
Zig-zag ScAlN multilayer SMR for high power BAW fileter application such as RF base station
Yusuke Sato, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) IEEE
発表年月： 2020年09月
Naoya Iwata, Sarina Kinoshita, Junjun Jia, Masashi Suzuki, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) IEEE
発表年月： 2020年09月
Kota Izumi, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) IEEE
発表年月： 2020年09月
Sarina Kinoshita, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) IEEE
発表年月： 2020年09月
Multilayer Piezoelectric ScAlN Film Transducers for Ultrasonic Microscopy in the VHF Range
Yusuke Korai, Masashi Suzuki, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
発表年月： 2020年09月
Effect of Negative-Ion-Bombardment Suppression by Applying Voltage to Grids Set Between Substrate and Sputtering Target During Sputtering Deposition on Crystalline Orientation of ZnO Film
Kohei Tominaga, Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
発表年月： 2020年09月
Improvement of Crystallization and Shear-Mode Electromechanical Coupling of c-Axis-ParallelOriented ZnO Film by Annealing Treatment
Shinji Takayanagi, Kanae Kimoto, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
発表年月： 2020年09月
Measurement of Time Response of Electrical Properties in Thickness Shear Mode Resonator with Liquid Loadings
Mao Watabe, Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
発表年月： 2020年09月
A Method for Extracting Mechanical Q Factor of the Piezoelectric Film without Etching Substrate
Sarina Kinoshita, Takahiko Yanagitani
2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) IEEE
発表年月： 2019年10月
Sarina Kinoshita, Takahiko Yanagitani
2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) IEEE
発表年月： 2019年10月
Takumi Soutome, Takahiko Yanagitani
2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) IEEE
発表年月： 2019年10月
Takuya Wakabayashi, Shinji Takayanagi, Mami Matukawa, Yuta Takamura, Takahiko Yanagitani
2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) IEEE
発表年月： 2019年10月
Rui Kihara, Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani
2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) IEEE
発表年月： 2019年10月
Chiaki Masamune, Takahiko Yanagitani
2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) IEEE
発表年月： 2019年10月
Takahiro Shimidzu, Takahiko Yanagitani
Journal of Applied Physics AIP Publishing
発表年月： 2019年09月
Takahiro Shimidzu, Takeshi Mori, Takahiko Yanagitani
Applied Physics Letters AIP Publishing
発表年月： 2019年05月
Al金属ターゲットへのSc埋め込みの有無によるScAlN薄膜音響共振子の結晶化度の違いと圧電特性
木原流唯, 高柳真司, 柳谷隆彦
電子情報通信学会総合大会
発表年月： 2019年03月
共振周波数比法を用いた基板付き薄膜共振子の電極付きkeff2の抽出
龍見亮汰, 戸塚誠, 柳谷隆彦
電子情報通信学会総合大会
発表年月： 2019年03月
SH型SAWパイプセンサの作製に向けた石英ガラス管へのc軸平行配向ZnO膜の形成
篁 佑太, 高柳 真司, 柳谷隆彦, 松川 真美
第66回応用物理学会 春季学術講演会
発表年月： 2019年03月
溶融および焼結ScAl合金ターゲットを用いた高品質なScAlN薄膜の作製
白寧蕊, 唐澤嶺, 高柳 真司, 今川 誠, 森坂啓介, 鈴木 雄, 柳谷隆彦
第66回応用物理学会 春季学術講演会
発表年月： 2019年03月
ScAlN自立薄板を用いた30-40MHz帯振動子
正宗千明, 唐澤 嶺, 柳谷隆彦
第66回応用物理学会 春季学術講演会
発表年月： 2019年03月
基板付き圧電薄膜の高次モード間共振周波数比を用いたFBARの電極考慮keff2抽出
戸塚誠, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2019
発表年月： 2019年01月
基板付き圧電薄膜の電気機械結合係数抽出時における電極サイズの影響
山中恵理, 戸塚誠, 木下紗里那, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2019
発表年月： 2019年01月
ScAlN自立薄板を用いた30-40MHz帯振動子
天野凌輔, 木下紗里那, 廣芝伸哉, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2019
発表年月： 2019年01月
スパッタ成膜中の負イオン照射抑制によるScAlN薄膜の圧電性向上
高柳真司, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2019
発表年月： 2019年01月
圧電薄膜デバイスと基板の選択
和佐清孝, 清水貴博, 足立秀明, 吉田慎哉, 柳谷隆彦, 田中秀治
圧電材料・デバイスシンポジウム2019
発表年月： 2019年01月
「常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピ膜音響共振子の周波数スイッチング特性」
野田隆太, 清水貴博, 柳谷隆彦
電子回路研究会
発表年月： 2018年12月
横波モードのc 軸傾斜配向 ScAlN 薄膜 / 音響多層膜反射器共振子を用いた UHF帯液体粘性評価
五月女巧, 山川愉生, 唐澤 嶺, 柳谷隆彦
電子回路研究会
発表年月： 2018年12月
極性反転ZnO圧電多層構造を用いた高効率な超音波トランスデューサ
間島 毅, 清水貴博, 柳谷隆彦
電子回路研究会
発表年月： 2018年12月
A new electromechanical coupling coefficient extraction method of as-grown film/wafer structure by using the ratio of overtone mode resonant frequencies
戸塚誠
The 39th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2018)
発表年月： 2018年10月
圧電トランス薄膜音響共振子による電波発電
柳谷隆彦 [招待有り]
第4回分科会ワークショップ「革新的エナジー・ハーベスティングに向けた材料・デバイス技術」
発表年月： 2018年03月
c 軸傾斜配向 ScAlN 薄膜 / 音響多層膜構造の共振子を用いた 400MHz 付近における液体粘性評価
山川 愉生, 五月女 巧, 唐澤 嶺, 柳谷 隆彦
第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
発表年月： 2018年
c 軸傾斜配向すべりモード ScAlN 薄膜共振子を用いた生体反応検出
矢崎 花, 五月女 巧, 唐澤 嶺, 高柳 真司, 吉田 憲司, 柳谷 隆彦
第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
発表年月： 2018年
PZT エピタキシャル厚膜を用いた 80 MHz 帯の超音波トランスデューサ
松田 友佳, 清水 貴博, 柳谷 隆彦
第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
発表年月： 2018年
大きな圧電性を持つ ScAlN 自立薄板を用いた 30?40 MHz 帯振動子
正宗 千明, 唐澤 嶺, 柳谷 隆彦
第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
発表年月： 2018年
周波数スイッチナブルフィルタを目指した分極反転 PZT/PbTiO3エピタキシャル薄膜共振子
清水 貴博, 森 剛志, 柳谷 隆彦
第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
発表年月： 2018年
大きな電気機械結合係数 (kt 2 =22%) を持つ ScAlN 薄膜
白 寧蕊, 正宗 千明, 唐澤 嶺, 柳谷 隆彦
第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
発表年月： 2018年
溶融及び焼結 ScAl 合金ターゲットからの負イオン照射が ScAlN 薄膜成長へ及ぼす影響
遠藤 結佳, 唐澤 嶺, 高柳 真司, 今川 誠, 森坂 啓介, 鈴木 雄, 柳谷 隆彦
第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
発表年月： 2018年
基板付き薄膜構造における高次モード間共振周波数比を用いた圧電薄膜の kt 2 評価法
戸塚 誠, 柳谷 隆彦
第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
発表年月： 2018年
「サファイア基板上への高角度c軸傾斜ScAlN膜の作製と弾性表面波伝搬特性」
徳田翔平, 高柳真司, 松川真美, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2018
発表年月： 2018年
「スパッタ成膜中にSc金属から発生した負イオンの照射によるScAlN薄膜の結晶配向性および圧電性の劣化」
高柳真司, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2018
発表年月： 2018年
「厚みすべりモード薄膜共振子の液体負荷時における周波数変化及び減衰の検討」
岩永陸弥, 高柳真司, 松川真美, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2018
発表年月： 2018年
「PZT薄膜とバルク圧電材料」
和佐清孝, 清水貴博, 足立秀明, 吉田慎哉, 柳谷隆彦, 田中秀治
圧電材料・デバイスシンポジウム2018
発表年月： 2018年
「スパッタ法により作製したGHz帯のPb(ZrxTi1-x)O3エピ膜にMPB特性は現れるか？」
野田隆太, 清水貴博, 和佐清孝, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2018
発表年月： 2018年
「極性反転ウルツ鉱系圧電薄膜を用いた高効率トランスデューサ」
間島毅, 清水貴博, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2018
発表年月： 2018年
「周波数スイッチナブルな常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピタキシャル薄膜共振子」
清水貴博, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2018
発表年月： 2018年
「擬似すべりモードc軸傾斜配向ScAlN薄膜を用いた複素反射率測定による液体試料のUHF帯粘弾性評価」
山川愉生, 唐澤嶺, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2018
発表年月： 2018年
「c軸ジグザグ配向ScAlN圧電トランス薄膜共振子のレクテナ昇圧回路への応用検討」
唐澤嶺, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2018
発表年月： 2018年
「高次モード間共振周波数比を用いた基板付き薄膜共振子からの電気機械結合係数の抽出」
戸塚誠, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2018
発表年月： 2018年
「圧電トランス薄膜音響共振子による電波発電」
柳谷隆彦
第4回分科会ワークショップ「革新的エナジー・ハーベスティングに向けた材料・デバイス技術」
発表年月： 2018年
「電子ビーム真空溶融により合成したScAl合金スパッタターゲットを用いた高品質ScAlN薄膜の成長」
遠藤 結佳, 佐野 耕平, 唐澤 嶺, 柳谷 隆彦
第65回応用物理学会 春季学術講演会
発表年月： 2018年
「高い圧電性を持つPZT厚膜を用いた80 MHz帯高効率トランスデューサ」
松田友佳, 清水貴博, 柳谷隆彦
第65回応用物理学会 春季学術講演会
発表年月： 2018年
「90?mScAlN厚膜を用いた40MHz帯トランスデューサ」
正宗 千明, 佐野 耕平, 柳谷 隆彦
第65回応用物理学会 春季学術講演会
発表年月： 2018年
「基本モードと3次モードの共振周波数比を用いた基板付き薄膜の電気機械結合係数kt2の評価法」
戸塚誠, 柳谷隆彦
第65回応用物理学会 春季学術講演会
発表年月： 2018年
「極性反転ZnO圧電薄膜を用いた高効率トランスデューサ」
間島毅, 柳谷 隆彦
第65回応用物理学会 春季学術講演会
発表年月： 2018年
「ScAlN/ZnO極性反転構造を用いた高次モードトランスデューサの水中放射特性」 「基本モード/高次モード切替可能な常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピ膜共振子」
清水 貴博, 柳谷 隆彦
第65回応用物理学会 春季学術講演会
発表年月： 2018年
「c軸傾斜配向ScAlN薄膜を用いた擬似すべりモード基板付き共振子による液体試料のMHz帯-GHz帯にわたる粘性評」
山川 愉生, 唐澤 嶺, 柳谷 隆彦
第65回応用物理学会 春季学術講演会
発表年月： 2018年
「c軸傾斜配向ScAlN薄膜を用いた横波超音波の斜入射による液体試料のVHF帯粘弾性評価」
山川 愉生, 柳谷 隆彦
第65回応用物理学会 春季学術講演会
発表年月： 2018年
「低角スパッタ粒子入射を用いたc軸傾斜反転ジグザグScAlN圧電薄膜の成長とレクテナ昇圧素子への応用検討」
唐澤嶺, 柳谷 隆彦
第65回応用物理学会 春季学術講演会
発表年月： 2018年
「最近のBAWデバイス(FBAR)の薄膜材料と評価手法」
柳谷隆彦
第65回応用物理学会 春季学術講演会
発表年月： 2018年
「周波数スイッチナブルフィルタを目指した常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピ膜音響共振子」
清水貴博, 柳谷隆彦
電子情報通信学会超音波研究会
発表年月： 2018年
「レクテナ昇圧素子への応用を目指したc軸ジグザグ配向ScAlN多層圧電薄膜共振子」
唐澤嶺, 柳谷隆彦
電子情報通信学会超音波研究会
発表年月： 2018年
「PZT エピ厚膜および ScAlN 厚膜を用いた 30-90 MHz 帯トランスデューサ」
正宗千明, 松田友佳, 唐澤嶺, 清水貴博, 柳谷隆彦
第４７回EMシンポジウム
発表年月： 2018年
「溶融および焼結 ScAl 合金スパッタターゲットから発生する負イオンが ScAlN 薄膜の成長に及ぼす影響」
唐澤嶺, 遠藤結佳, 高柳真司, 今川誠, 森坂啓介, 鈴木雄, 柳谷隆彦
第４７回EMシンポジウム
発表年月： 2018年
「基板付き圧電薄膜の機械的品質係数 Q 値評価の検討」
木下紗里那, 戸塚誠, 唐澤嶺, 柳谷隆彦
第４７回EMシンポジウム
発表年月： 2018年
「基本モード/3 次モード間共振周波数比を用いた基板付き薄膜構造における圧電薄膜の kt抽出法と従来 法との比較」
戸塚誠, 柳谷隆彦
第４７回EMシンポジウム
発表年月： 2018年
「Pb(Zrx,Ti1-x)O3スパッタエピ膜における MPB 特性発現の検証」
野田隆太, 清水貴博, 和佐清孝, 柳谷隆彦
第４７回EMシンポジウム
発表年月： 2018年
「c 軸傾斜配向厚みすべりモード ScAlN 薄膜共振子を用いた生体高分子反応の検出」
矢崎花, 唐澤嶺, 吉田憲司, 高柳真司, 柳谷隆彦
第４７回EMシンポジウム
発表年月： 2018年
「(0001)ScAlN/(000-1)ZnO 極性反転構造を用いた 2 次モードトランスデューサの水中放射特性」
間島毅, 清水貴博, 柳谷隆彦
第４７回EMシンポジウム
発表年月： 2018年
「ウエハ付きAs-grown圧電薄膜のRFフィルタ向け特性評価法およびScAlN薄膜の成長ノウハウ」
柳谷隆彦
アルバックシンポジウム
発表年月： 2018年
New BAW filter materials for 5G smart phone
T. Yanagitani
LG化学 Tech Scouting Japan
発表年月： 2018年
「抗電界差により周波数スイッチナブルとなるPZT/PbTiO3分極反転エピタキシャル薄膜音響共振子」
清水貴博, 柳谷隆彦
第79回応用物理学会秋季学術講演会
発表年月： 2018年
「ScAlN, ZnOおよびPZT系薄膜の極性制御と分極反転デバイスへの応用」
清水貴博, 柳谷隆彦
第79回応用物理学会秋季学術講演会
発表年月： 2018年
「最新の窒化物BAWフィルタの動向と酸化物圧電薄膜の位置づけ」
柳谷隆彦
第79回応用物理学会秋季学術講演会
発表年月： 2018年
「FBARフィルタ用の圧電薄膜材料の進展とウエハの評価手法」
柳谷隆彦
第168回電子セラミック・プロセス研究会
発表年月： 2018年
「c軸傾斜配向厚みすべりモードScAlN薄膜共振子を用いた液体中生体分子相互作用の検出」
矢崎花, 五月女巧, 唐澤 嶺, 高柳真司, 吉田憲司, 柳谷隆彦
電子情報通信学会超音波研究会
発表年月： 2018年
「c軸傾斜配向ScAlN薄膜/音響多層膜構造の共振子を用いたUHF帯における液体粘性評価」
山川愉生, 五月女巧, 唐澤嶺, 柳谷隆彦
電子情報通信学会超音波研究会
発表年月： 2018年
「基板付き薄膜共振子からの新規kt2評価法と従来法の比較 〜 共振周波数比法、変換損失法、共振スペクトル法、共振反共振法 〜」
戸塚誠, 柳谷隆彦
電子情報通信学会超音波研究会
発表年月： 2018年
「分極反転PZT/PTOエピ膜を用いた周波数スイッチナブルなGHz帯共振子」
清水貴博, 森剛志, 柳谷隆彦
電子情報通信学会超音波研究会
発表年月： 2018年
「製法の異なるScAl合金スパッタターゲットから発生する負イオンがScAlN薄膜の特性に及ぼす影響 〜 電子ビーム溶融、アーク溶融、焼結ScAl合金ターゲットの比較 〜」
唐澤嶺, 高柳真司, 遠藤結佳, 今川 誠, 森坂啓介, 鈴木 雄, 柳谷隆彦
電子情報通信学会超音波研究会
発表年月： 2018年
“Thick PZT epitaxial film growth for ultrasonic transducer application below 100 MHz" 12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics,”
Y. Mazda, T. Yanagitani
12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics
発表年月： 2018年
“Frequency switchable polarity inverted resonators based on cubic PMN-PT/tetragonal PZT epitaxial stack,”
T. Shimidzu, T. Yanagitani
12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics
発表年月： 2018年
“Investigation of MPB in Pb(Zrx,Ti1-x)O3 epitaxial films by RF magnetron sputtering growth,”
R. Noda, T. Yanagitani
12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics
発表年月： 2018年
“A method for extracting GHz electromechanical coupling coefficient from piezoelectric film/substrate structure without removing substrate,”
T. Yanagitani
12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics
発表年月： 2018年
“Influence of negative ions generation on the quality of ScAlN films grown by sputtering targets with different concentration of oxygen and carbon,”
Y. Endo, R. Karasawa, S. Takayanagi, M. Imakawa, K. orisaka, Y. uzuki, T. anagitani
International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators(IWPMA2018)
発表年月： 2018年
“Comparison of kt2 extraction method from film/substrate structure by using the ratio of resonant frequencies with conventional methods,”
M. Totsuka, T. Yanagitani
International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators(IWPMA2018)
発表年月： 2018年
“Polarity inverted high efficiency ultrasonic transducer with (0001)ZnO/(000-1)ZnO/SiO2 glass buffer rod,”
T. Majima, T. Shimidzu, T. Yanagitani
International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators(IWPMA2018)
発表年月： 2018年
“Thick PZT epitaxial film and ScAlN film for ultrasonic transducer below 100 MHz,”
Y. Mazda, C. Masamune, R. Karasawa, T. Shimidzu, T. Yanagitani
International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators(IWPMA2018)
発表年月： 2018年
“Temperature characteristics of ScAlN/SiO2 BAW resonators,”
H.Igeta, M. Totsuka, M. Suzuki, T. Yanagitani
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2018年
“A new method for extracting Qfactor of the piezoelectric film without removing substrate,”
S. Kinoshita, M. Totsuka, R. Karasawa, T. Yanagitani
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2018年
“Investigation of morphotropic phase boundary in sputter-grown Pb(Zrx, Ti1-x)O3 epitaxial films,”
R. Noda, T. Shimidzu, K. Wasa
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2018年
“High efficiency ultrasonic transducer using polarity inverted ZnO thin film,”
T. Majima, T. Shimidzu, T. Yanagitani
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2018年
“ScAlN free-standing 0.1mm plates with 30-50 MHz resonance frequency,”
C. Masamune, R. Karasawa, T. Yanagitani
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2018年
“PZT epitaxial thick film for ultrasonic transducer at frequencies below 100MHz,”
Y. Mazuda, T. Shimidzu, T. Yanagitani
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2018年
“The influence of negative ions generation on the arc-melted and hot press sintered ScAlN alloy targets to the crystalline orientation and kt2 of the ScAlN films,”
Y. Endo, R. Karasawa, S. Takayanagi, M.Imakawa, K. Morisaka, T. Yanagitani
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2018年
“c-axis tilted ScAlN film shear mode resonators for biosensing,”
H. Yazaki, T. Sotome, S. Takayanagi, K. Yoshida, T. Yanagitani
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2018年
“Evaluation of viscoelactic properties of liquids based on the oblique incidence technology using shear horizontal waves at frequencies above 100 megahertz from c-axis tilted ScAlN thin films,”
Y. Yamakawa, T. Yanagitani
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2018年
“Extraction of electromechanical coupling coefficient of film / substrate structure by using the ration of a third mode resonant frequency to a fundamental mode resonant frequency,”
M. Totsuka, T. Yanagitani
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2018年
“DC-induced piezoelectric cubic PMN-PT/piezoelectric tetragonal PZT epitaxial stack polarity inverted resonators for frequency switchable filters,”
T. Shimidzu, T. Yanagitani
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2018年
“Polarity inverted ScAlN multilayer for application to transformer in rectifying antenna,”
R. Karasawa, T. Yanagitani
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2018年
「抗電界差による基本モード/高次モード周波数切替可能なPZT/PTエピ膜分極反転共振子」
清水貴博, 森剛志, 柳谷隆彦, 和佐清孝
圧電材料・デバイスシンポジウム
発表年月： 2017年
「c軸傾斜配向ScAlN膜/ATカット水晶基板構造の低TCF横波共振子を用いた 広帯域周波数粘度測定」
山川愉生, 佐野耕平, 唐澤嶺, 森剛志, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム
発表年月： 2017年
「c軸傾斜配向ScAlN膜/ブラック反射層構造のGHz帯厚みすべりモード共振子を用いた液体粘性評価」
唐澤嶺, 山川愉生, 森剛志, 矢?花, 佐野耕平, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム
発表年月： 2017年
「RFマグネトロンスパッタ法を用いて作製したc軸平行配向ZnO膜の 圧電不活性層低減に関する検討」
盛一馬, 高柳真司, 松川真美, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム
発表年月： 2017年
「電気機械結合係数 kt2=19%のScAlN厚膜を用いた低周波帯80 MHzトランスデューサ」
佐野耕平, 唐澤嶺, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム
発表年月： 2017年
「縦波・横波の超音波伝搬時における骨中誘発電位の検討」
松川沙弥果, 牧野大輝, 小山大介, 高柳真司, 水野勝紀, 柳谷隆彦, 松川真美
圧電材料・デバイスシンポジウム
発表年月： 2017年
「ScAlN薄膜トランスデューサを用いた縦波・横波のブリュアン散乱光の同時増幅」
柴垣慶明, 川部昌彦, 柳谷隆彦, 高柳真司, 鈴木雅視, 松川真美
日本音響学会2016年秋季研究発表会
発表年月： 2017年
「単結晶PZT/PTエピタキシャル薄膜を用いた周波数切り替え可能な共振子」
森剛志, 高柳真司, 清水貴博, 柳谷隆彦
2017年電子情報通信学会総合大会
発表年月： 2017年
「チューナブルフィルタを目指した PMN 常誘電相エピ膜の電界誘起圧電特性と分極反転特性」
清水貴博, 柳谷隆彦, 和佐清孝
第４６回ＥＭシンポジウム
発表年月： 2017年
「c 軸傾斜配向 ScAlN/AT カット水晶基板構造の低 TCF 横波 HBAR を用いた MHz 帯-GHz 帯粘性評価」
山川愉生, 佐野耕平, 唐澤嶺, 柳谷隆彦
第４６回ＥＭシンポジウム
発表年月： 2017年
「高電気機械結合係数を持つ80MHz 帯 ScAlN 厚膜のハイドロフォン応用への検討」
佐野耕平, 唐澤嶺, 柳谷隆彦
第４６回ＥＭシンポジウム
発表年月： 2017年
「分極反転圧電薄膜の成長と応用〜レクテナ昇回路へ検討〜」
柳谷隆彦, 唐澤嶺
第４６回ＥＭシンポジウム
発表年月： 2017年
“PMN paraelectric phase epitaxial film for DC field-induced frequency switchable filter”
T. Shimidzu, K. Wasa, T. Yanagitani
The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
発表年月： 2017年
“Film growth of c-axis parallel oriented ZnO films by RF magnetron sputtering for improvement of electromechanical properties”
K. Mori, S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani
The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
発表年月： 2017年
“Simple and rapid measurement of hypersonic wave velocity by Brillouin scattering method”
Y. Shibagaki, M. Kawabe, S. Takayanagi, T. Yanagitani
The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
発表年月： 2017年
“Simultaneous viscosity evaluation in the MHz to GHz range with low TCF resonators consisting of shear mode piezoelectric thin films on AT-cut quartz crystal”
Y. Yamakawa, R. Karasawa, T. Shimidzu, T. Yanagitani
The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
発表年月： 2017年
“c-Axis tilted ScAlN film on sapphire substrate for SAW devices with high electromechanical coupling”
S. Tokuda, S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani
The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
発表年月： 2017年
“Polarity inverted ScAlN films for application to transformer in rectenna”
R. Karasawa, T. Yanagitani
The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
発表年月： 2017年
“Induced electrical potentials in cortical bone under shear ultrasound exposure”
T. Makino, K. Takano, S. Nakanishi, D. Koyama, S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa
The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
発表年月： 2017年
“Effects of highly energetic negative ions generated from Sc grains during sputtering deposition on electromechanical properties of ScAlN film”
S. Takayanagi, T. Yanagitani
The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
発表年月： 2017年
“High efficiency ScAlN thick film hydrophone operating in the ranges of 40-80 MHz”
K-h. Sano, R. Karasawa, T. Yanagitani
The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
発表年月： 2017年
「高品質ScAlN薄膜の成長条件と圧電特性および音響特性の評価」
柳谷隆彦, 唐澤嶺, 佐野耕平
EMデバイス・システムの新技術調査専門委員会
発表年月： 2017年
"Electromechanical coupling hysteresis curves of PZT epitaxial ferroelectric films determined by gigahertz ultrasonic method"
T. Yanagitani, T. Mori, K. Wasa
12th Pacific Rim Conference on Ceramic and Glass Technology (PACRIM 12)
発表年月： 2017年
"High electromechanical coupling thick ScAlN piezoelectric films for ultrasonic generation in low frequency of 80MHz"
K. Sano, R. Karasawa, T. Yanagitani
12th Pacific Rim Conference on Ceramic and Glass Technology (PACRIM 12)
発表年月： 2017年
"Liquid gigahertz viscosity sensors using shear mode c-axis tilted ScAlN piezoelectric thin films"
Y. Yamakawa, R. Karasawa, T. Mori, K. Sano, M. Suzuki, T. Yanag
12th Pacific Rim Conference on Ceramic and Glass Technology (PACRIM 12)
発表年月： 2017年
"Polarity inverted PZT/PbTiO3 ferroelectric epitaxial film for frequency switchable resonator filters"
T. Shimizu, T.Mori, M. Suzuki, T. Yanagitani, K. Wasa
12th Pacific Rim Conference on Ceramic and Glass Technology (PACRIM 12)
発表年月： 2017年
"Broadband frequency viscosity measurement using low TCF shear mode resonators consisting of c-axis tilted ScAlN thin film on thick AT-Cut quartz plate"
Y. Yamakawa, K. Sano, R. Karasawa, T. Yanagitani
The 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
発表年月： 2017年
"Thick ScAlN film for high efficient ultrasonic transducer in low frequency of 81 MHz"
K.-H. Sano, R. Karasawa, T. Yanagitani
The 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
発表年月： 2017年
“Film Growth of C-Axis parallel oriented ZnO on entire surface of silica glass pipe for SH-SAW pipe sensor,”
Y. Takamura, S. Takayanagi, M. Matsukawa, C. Ishida, T. Yanagitani
IEEE International Ultrason. Symp.
発表年月： 2017年
“Effects of negative oxygen ions generated during Sc ingot sputtering on electromechanical coupling of ScAlN film ,”
S. Takayanagi, T. Yanagitani
IEEE International Ultrason. Symp.
発表年月： 2017年
“Film growth of c-axis tilted ScAlN on the sapphire substrate for SAW devices,”
S. Tokuda, S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani
IEEE International Ultrason. Symp.
発表年月： 2017年
“The frequency wwitchable multi-layered BST/BaTiO3 epitaxial film resonator,”
S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani
IEEE International Ultrason. Symp.
発表年月： 2017年
“High electromechanical coefficient kt 2=19% thick ScAlN piezoelectric films for ultrasonic transducer in low frequency of 80 MHz,”
K-h. Sano, R. Karasawa, T. Yanagitani
IEEE International Ultrason. Symp.
発表年月： 2017年
“A new type wide-frequency-range shear viscosity sensor using caxis tilted ScAlN thin film on temperature stable AT-cut quartz thick plate,”
Y. Yamakawa, K-h. Sano, R. Karasawa, T. Yanagitani
IEEE International Ultrason. Symp.
発表年月： 2017年
“C-axis zig-zag polarization inverted ScAlN multilayer for FBAR transformer rectifying antenna,”
R. Karasawa, T. Yanagitani
IEEE International Ultrason. Symp.
発表年月： 2017年
“DC field-induced piezoelectricity of cubic perovskite 0.95Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-0.05PbTiO3 epitaxial film for RF switchable resonator,”
T. Shimidzu, K. Wasa, T. Yanagitani
IUMRS-ICA
発表年月： 2017年
“Frequency switchable multi-layered paraelectric-BST/ferroelectric-BaTiO3 stack epitaxial film resonator,”
R. Noda, T. Shimidzu, K. Wasa, T. Yanagitani
IUMRS-ICA
発表年月： 2017年
「PZTと PT の抗電界差を利用した周波数スイッチナブル分極反転エピタキシャ薄膜共振子」
森剛志, 柳谷隆彦, 和佐清孝
第45回EMシンポジウム
発表年月： 2016年
「ScAlN/ZnO極性反転圧電薄膜を用いた2次モード励振超音波トランスデューサ」
森剛志, 鈴木雅視, 柳谷隆彦
電子情報通信学会 超音波研究会
発表年月： 2016年
「GHz帯で純横波超音波を高効率励振するc軸平行ZnO薄膜トランスデューサ」
森剛志, 鈴木雅視, 柳谷隆彦
電子情報通信学会 超音波研究会
発表年月： 2016年
「励起フォノンを用いたBrillouin散乱測定の高速化に関する検討」
柴垣慶明, 川部昌彦, 柳谷隆彦, 高柳真司, 鈴木雅視, 松川真美
第58回光波センシング技術研究会
発表年月： 2016年
"Piezoelectric stiffening in the thickness direction of c-plane ZnO single crystal measured by Brillouin scattering"
S. Tomita, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa
The 37th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE2016).
発表年月： 2016年
"Evaluation of piezoelectricity in bone by ultrasound irradiation"
S. Matsukawa, S.Mori, D. Koyama, S. Takayanagi, K. Mizuno, T. Yanagitani, M. Matsukawa
The 37th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE2016).
発表年月： 2016年
"High electromechanical coupling of Sezawa mode SAW using a polarization-inverted ScAlN film/highvelocity substrate structure"
S. Takayanagi, T. Yanagitani
The 37th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE2016).
発表年月： 2016年
"Polarity inverted Pb(Zr,Ti)O3/PbTiO3 epitaxial multilayer frequency switchable resonator in the GHz range"
T. Mori, T. Yanagitani, K. Wasa
13th International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators & Energy Conversion Materials and Devices
発表年月： 2016年
"Electromechanical coupling hysteresis curves of Pb(Zr,Ti)O3 epitaxial films determined by GHz ultrasonic method using film/substrate structure"
T. Yanagitani, T. Mori, K. Wasa
13th International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators & Energy Conversion Materials and Devices
発表年月： 2016年
"Temperature stable liquid gigahertz viscosity sensors by combining shear mode piezoelectric ScAlN thin film and AT-cut quartz crystal plate"
K-h. Sano, T. Mori, R. Karasawa, T. Yanagitani
5th Joint Meeting of the Acoustical Society of America and Acoustical Society of Japan
発表年月： 2016年
"c-axis tilted ScAlN shear wave acoustic Bragg reflect resonator for gigahertz viscosity measurement"
Takeshi Mori, Yui Yamakawa, Rei Karasawa, Ko-hei Sano, Takahiko Yanagitani, Shinji Takanayanagi
5th Joint Meeting of the Acoustical Society of America and Acoustical Society of Japan
発表年月： 2016年
P5-C2-4 "Brillouin scatteringstudy on piezoelectricstiffening effect in thethickness direction ofc-plane ZnO single crystal"
S. Tomita, T. Yanagitani, S. Takayanagi, H. Ichihashi, M. Matsukawa
IEEE International Ultrason. Symp,
発表年月： 2016年
4K-2 "Anisotropic behavior ofinduced electric potentialsin bone by ultrasoundirradiation"
S. Matsukawa, S. Mori, Isao Mano, T. Yanagitani, K. Mizuno, S.Takayanagi, M. Matsukawa
IEEE International Ultrason. Symp,
発表年月： 2016年
6K-1 "Rapid and simultaneousmeasurement of longitudinaland shear wave velocitiesby Brillouin scattering fromartificially induced phonons"
M. Kawabe, T. Yanagitani, S. Takayanagi, Y. Shibagaki, M. Suzuki, M. Matsukawa
IEEE International Ultrason. Symp,
発表年月： 2016年
6H-4 Improvement ofelectromechanical propertiesin c-axis parallel orientedZnO film by RF magnetronsputtering with negative ionbombardment"
K. Mori, S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani
IEEE International Ultrason. Symp,
発表年月： 2016年
6H-3 "Effects of energeticnegative ions generatedfrom sputtering targets onScAlN film growth"
S. Takayanagi, M.Matsukawa, T. Yanagitani
IEEE International Ultrason. Symp,
発表年月： 2016年
H-2 "Evaluation of viscousliquid using resonance andanti-resonance of thicknessshearmode resonatorconsisting of c-axis paralleloriented ZnO film"
R. Iwanaga, S. Takayanagi, Y. Watanabe, M. Matsukawa, T. Tsuchiya, T. Yanagitani
IEEE International Ultrason. Symp,
発表年月： 2016年
6H-1 "The frequencyswitchable resonatorconsisting of polarityinverted Pb(Zr,Ti)O3/PbTiO3epitaxial multilayer"
T. Mori, M. Suzuki, T. Yanagitani
IEEE International Ultrason. Symp,
発表年月： 2016年
P3-B2-7 "Electromechanicalcoupling hysteresis curvesof Pb(Zr,Ti)O3and PbTiO3epitaxial films determinedby ultrasonic measurementusing film/substratestructure"
T. Mori, M. Suzuki, S. Takayanagi, T. Yanagitani
IEEE International Ultrason. Symp,
発表年月： 2016年
P3-B2-1 "High electromechanical coupling of Sezawa mode SAW in c-axis-parallel-oriented ScAlN film/high-velocitysubstrate structures"
S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani
IEEE International Ultrason. Symp,
発表年月： 2016年
"Rapid wave velocity measurement by Brillouin scattering using artificially induced phonon"
Y. Shibagaki, M. Kawabe, S. Takayanagi, K. Mori, T. Yanagitani, M. Matsukawa
5th Joint Meeting of the Acoustical Society of America and Acoustical Society of Japan
発表年月： 2016年
"Liquid loading characteristics of multiple SH-wave roundtrip in c-axis parallel oriented ZnO film/silica glass pipe"
S.Takayanagi, S.Hirayama, M.Matsukawa, T.Yanagitani
5th Joint Meeting of the Acoustical Society of America and Acoustical Society of Japan
発表年月： 2016年
陽極RFバイアス法による2次モード(000-1)/(0001)ScAlN FBAR
鈴木雅視, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2015
発表年月： 2015年
ScAlN薄膜における弾性定数テンソルのSc濃度依存性
柳谷隆彦, 市橋隼人, 鈴木雅視, 高柳真司, 松川真美
圧電材料・デバイスシンポジウム2015
発表年月： 2015年
走査型非線形誘電率顕微法による層状構造圧電薄膜の極性評価
小田川裕之, 寺田浩士朗, 西川宏明, 柳谷隆彦, 長康雄
圧電材料・デバイスシンポジウム2015
発表年月： 2015年
基板付き圧電薄膜のkt評価法の比較
小林勇太, 鈴木雅視, 柳谷隆彦, 荒川元孝, 大橋雄二
圧電材料・デバイスシンポジウム2015
発表年月： 2015年
超音波照射による骨中誘発電位の極性について
常田裕子, 松川沙弥果, 真野功, 水野勝紀, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美
圧電材料・デバイスシンポジウム2015
発表年月： 2015年
RFバイアス三極スパッタ法におけるイオン照射を利用したO面，Zn面，a面およびm面ZnO薄膜の形成
橋本亮介, 高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美
第62回応用物理学会春季学術講演会
発表年月： 2015年
180°，90R散乱配置を用いたBrillouin散乱計測によるGaNの弾性定数測定
市橋隼人, 柳谷隆彦, 高柳真司, 川部昌彦, 松川真美
第62回応用物理学会春季学術講演会
発表年月： 2015年
(EM44-2-05) 「c 軸傾斜ScAlN 薄膜における擬似すべりモード電気機械結合係数のSc 濃度依存性」
鈴木雅視, 柳谷隆彦
第４４回EMシンポジウム
発表年月： 2015年
(EM44-2-03) 「スパッタ成膜の高速負イオン照射を用いたc 軸平行配向ZnO 膜の形成と圧電デバイス応用」
高柳真司, 柳谷隆彦, Jean-Claude Gerbedoen、Abdelkrim Talbi, 松川真美, Philippe Pernod
第４４回EMシンポジウム
発表年月： 2015年
「Brillouin散乱法を用いた圧電性ScAlN薄膜による励起フォノンの測定」
川部 昌彦, 柳谷 隆彦, 市橋 隼人, 高柳 真司, 鈴木 雅視, 松川 真美
第76回応用物理学会秋季学術講演会
発表年月： 2015年
「イオンビーム照射によるc軸平行極性反転構造ZnO薄膜の形成」
森 剛志, 鈴木 雅視, 柳谷 隆彦
第76回応用物理学会秋季学術講演会
発表年月： 2015年
「斜めスパッタ蒸着法によるc軸傾斜ScAlN薄膜の形成」
鈴木 雅視, 柳谷 隆彦
第76回応用物理学会秋季学術講演会
発表年月： 2015年
「Al極性(0001)ScAlN/O極性(000-1)ZnO極性反転構造の薄膜音響共振子」
森 剛志, 鈴木 雅視, 柳谷 隆彦
第76回応用物理学会秋季学術講演会
発表年月： 2015年
「MHz 域における皮質骨の逆圧電効果」
松川 沙弥果, 森 駿貴, 眞野 功, 水野 勝紀, 柳谷 隆彦, 高柳 真司, 松川 真美
日本音響学会2016年春季研究発表会
発表年月： 2015年
「c軸平行配向ZnO膜によるSH-SAWを用いた液体の粘度・導電率測定」
日山彰子, 高柳真司, 松川真美, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2016
発表年月： 2015年
「Brillouin散乱法を用いたc面ZnO単結晶の音響電気効果による緩和測定」
富田昇太, 高柳真司, 松川真美, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2016
発表年月： 2015年
「c軸平行配向ScAlN膜/高音速基板構造を用いたセザワ波の高い電気機械結合係数」
高柳真司, 岡峰生, 松川真美, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2016
発表年月： 2015年
「RFマグネトロンスパッタにおけるc軸平行配向ZnO膜の高品質化の検討」
高田千裕, 高柳真司, 松川真美, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2016
発表年月： 2015年
「イオンビーム照射を用いたc軸平行極性反転構造ZnO薄膜共振子」
森剛志, 鈴木雅視, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2016
発表年月： 2015年
「通常のスパッタ法を用いたAl極性ScAlN/O極性ZnO極性反転構造トランスデューサ」
森剛志, 鈴木雅視, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2016
発表年月： 2015年
「スパッタターゲットから発生するイオン種がScAlN薄膜の結晶性に及ぼす影響」
高柳真司, 松川真美, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2016
発表年月： 2015年
「IBAD 法による c 軸平行配向 ScAlN 薄膜の形成とすべりモード共振子への応用」
岡 峰生, 高柳 真司, 柳谷 隆彦, 松川 真美
第 36 回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
発表年月： 2015年
「c 軸傾斜 ScxAl-xN 薄膜(0<0.55)における擬似すべりモード電気機械結合係数」
鈴木 雅視, 柳谷 隆彦
第 36 回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
発表年月： 2015年
「Al 極性 ScAlN/O 極性 ZnO 極性反転多層構造を用いた GHz 帯高効率トランスデューサ 」
森 剛志, 鈴木 雅視, 柳谷 隆彦
第 36 回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
発表年月： 2015年
「走査型非線形誘電率顕微法による層状極性反転圧電膜の層厚の定量測定」
寺田 浩士朗, 西川 宏明, 田中 陽, 小田川 裕之, 柳谷 隆彦, 長 康雄
第 36 回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
発表年月： 2015年
「H2O 導入スパッタ法を用いて作製した c 軸平行配向 ZnO 膜のすべりモード電気機械結合係数」
高田 千裕, 高柳 真司, 柳谷 隆彦, 松川 真美
第 36 回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
発表年月： 2015年
「皮質骨中における超音波誘発電位に関する検討」
松川 沙弥果, 森 駿貴, フォタネル エロディー, 眞野 功, 水野 勝紀, 柳谷 隆彦, 高柳 真司, 松川 真美
第 36 回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
発表年月： 2015年
「Brillouin光散乱を用いたc軸配向薄膜の音速および常屈折率の同時測定」
富田昇太, 柳谷隆彦, 鈴木雅視, 高柳真司, 松川真美
電子情報通信学会 超音波研究会vol. 115, no02, pp.23-28
発表年月： 2015年
「低圧RFマグネトロンスパッタ法によるc軸平行配向ZnO膜の形成とSAW、Lamb波デバイスへの応用」
高柳真司, 柳谷隆彦, Jean-Claude Gerbedoen, Abdelkrim Talbi, 松川真美, Philippe Pernod
電子情報通信学会 超音波研究会vol. 115, no07, pp.25-30
発表年月： 2015年
「c軸平行配向ZnO膜/円管石英構造におけるSH波の多重周回伝搬特性と導電率測定への応用」
日山彰子, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美
電子情報通信学会 超音波研究会vol. 115, no07, pp.19-24
発表年月： 2015年
「イオンビームアシストRFマグネトロンスパッタ法を用いて作製したc軸平行配向ScAlN薄膜の電気機械結合係数」
岡峰生, 高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美
電子情報通信学会 超音波研究会vol. 115, no07, pp.31-35
発表年月： 2015年
「共振法およびBrillouin散乱法で測定したScAlN薄膜の弾性定数テンソルのSc濃度依存性」
柳谷隆彦, 市橋隼人, 鈴木雅視, 高柳真司, 松川真美
電子情報通信学会 超音波研究会vol. 115, no07, pp.37-42
発表年月： 2015年
「ScAlN圧電薄膜から励起されたコヒーレントフォノンのBrillouin散乱」
趙恩慧, 川部昌彦, 高柳真司, 鈴木雅視, 柳谷隆彦, 松川真美
電子情報通信学会 超音波研究会vol. 115, no46, pp.27-30,
発表年月： 2015年
「走査型非線形誘電率顕微法による極性反転層状構造圧電膜の層厚の定量測定」
寺田浩士朗, 西川宏明, 田中陽平, 小田川裕之, 柳谷隆彦, 長康雄
電子情報通信学会 超音波研究会vol. 115, no46, pp.23-26
発表年月： 2015年
“Multiple SH wave roundtrip type liquid sensor of pipe structure with c-axis parallel oriented ZnO film”
S. Hiyama, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa
International Congress of Ultrasonics
発表年月： 2015年
“High Tc /High Coupling Perovskite Thin Films,”
K. Wasa, T. Matsushima, H. Adachi, T. Matsunaga, T. Yanagitani, T. Yamamoto
IEEE ISAF/IWATMD/PFM, pp. 1-4, (2014).
発表年月： 2015年
“ScAlN thin film transducers for ultrasonic microscopy in the VHF range”
Y. Korai, M.i Suzuki, T. Yanagitani
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2015年
“Measurement of acoustic wave velocity and refractive index in thickness direction of c-axis oriented ScAlN films by Brillouin scattering”
S. Tomita, T. Yanagitani, M. Suzuki, H. Ichihashi, S. Takayanagi, M. Matsukawa
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2015年
“Shear mode properties of c-axis parallel oriented ScxAl1-xN films grown by RF bias sputtering“
S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2015年
“c-axis parallel polarity inverted multilayer ZnO film resonators fabricated by grazing ion beam assisted RF magnetron sputtering”
T. Mori, T. Yanagitani, M. Suzuki
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2015年
“Ultrasound radiation from bone transducer in the MHz range”
S. Matsukawa, H. Tsuneda, I. Mano, K. Mizuno, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2015年
“Quasi-shear mode electromechanical coupling k'15 and shear wave velocity in c-axis tilted ScxAl1-xN films”
M. Suzuki, T. Yanagitani
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2015年
“Elastic constant cij E tensors of (0001) ScxAl1-xN films (x=0-0.63)”
T. Yanagitani, H. Ichihashi, M. Suzuki, S. Takayanagi, M. Matsukawa
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2015年
“c-Axis parallel oriented ScAlN films grown by ion-beam assisted RF magnetron sputtering”
M. Oka, S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2015年
“Conductivity measurement of liquid by SH-SAW sensor consisting of IDT/(11-20) oriented ZnO film/silica glass substrate “
S. Hiyama, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2015年
“High order mode polarity inverted Al-polar (0001) ScAlN/O-polar (000-1) ZnO film resonator”
T. Mori, T. Yanagitani, M. Suzuki
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2015年
“Fast wave velocity measurement by Brillouin scattering using induced phonon from ScAlN piezoelectric thin film”
M. Kawabe, T. Yanagitani, H. Ichihashi, S. Takayanagi, M. Suzuki, M. Matsukawa
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2015年
Elastic constants c11 and c66 in ScxAl1-xN films determined by Brillouin scattering method
H. Ichihashi, T. Yanagitani, M. Suzuki, S. Takayanagi, M. Kawabe, M. Matsukawa
The 35th Symposium on Ultrasonic Electronics
発表年月： 2014年
Brillouin scattering measurement using induced phonon from ScAlN piezoelectric thin film
M. Kawabe, T. Yanagitani, H. Ichihashi, S. Takayanagi, M. Suzuki, M. Matsukawa
The 35th Symposium on Ultrasonic Electronics
発表年月： 2014年
Effects of microstructure on bone piezoelectricity in the MHz range
H. Tsuneda, S. Matsukawa, I. Mano, K. Mizuno, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa
The 35th Symposium on Ultrasonic Electronics
発表年月： 2014年
Propagation characteristics of SH-wave in c-axis parallel oriented ZnO film/silica glass pipe
S. Hiyama, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa
The 35th Symposium on Ultrasonic Electronics
発表年月： 2014年
Second overtone mode (0001)/(000-1) ScAlN multilayer FBARs fabricated by anode RF bias
M. Suzuki, T. Yanagitani
The 35th Symposium on Ultrasonic Electronics
発表年月： 2014年
Second overtone mode polarization inverted HBAR consisting of (001)/(00-1) PbTiO3 epitaxial
T. Yanagitani, K. Katada, M. Suzuki, K. Wasa
The 35th Symposium on Ultrasonic Electronics
発表年月： 2014年
PbTiO3エピタキシャル薄膜を用いた二次モード分極反転共振子
片田克吉, 柳谷隆彦, 鈴木雅視, 和佐清孝
電子情報通信学会 超音波研究会
発表年月： 2014年
極性反転ScAlN系薄膜の境界を伝搬するセザワ波の高い電気機械結合係数
高柳真司, 柳谷隆彦, 松川 真美
EMシンポジウム2014
発表年月： 2014年
イオン照射による極性反転 ScAlN 薄膜の形成と高次モードFBAR への応用
柳谷隆彦, 鈴木雅視
EMシンポジウム2014
発表年月： 2014年
超音波照射により皮質骨に発生する誘発電位の検討
常田裕子, 都築温実, 水野勝紀, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美
圧電材料・デバイスシンポジウム2014
発表年月： 2014年
極性反転ZnOおよびAlN系薄膜の境界を伝搬するセザワ波の高い電気機械結合係数
高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美
圧電材料・デバイスシンポジウム2014
発表年月： 2014年
RFバイアス三極スパッタ法によるイオン照射を用いたO面，Zn面，a面およびm面ZnO薄膜の配向制御
橋本亮介, 高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美
圧電材料・デバイスシンポジウム2014
発表年月： 2014年
c軸平行配向ZnO膜/平面・円管状石英上を伝搬するSH-SAWの液体センサ応用
加藤善也, 柳谷隆彦, 高柳真司, 日山彰子, 横山晋哉, 松川真美
圧電材料・デバイスシンポジウム2014
発表年月： 2014年
Bi(Me)O3-PbTiO3 高キュリー温度セラミックスの単結晶薄膜化
和佐清孝, 松嶋朝明, 足立秀明, 松永利之, 柳谷隆彦, 山本孝
圧電材料・デバイスシンポジウム2014
発表年月： 2014年
イオンビーム照射成膜によるc軸垂直配向希土類GaN薄膜の形成
鈴木雅視, 柳谷隆彦
第61 回応用物理学会春季学術講演会
発表年月： 2014年
エピタキシャルPZT 厚膜を用いた高温600℃における高効率超音波励振
片田 克吉, 鈴木雅視, 柳谷隆彦, 和佐清孝
日本音響学会春季研究発表会
発表年月： 2014年
圧電効果を利用した導電率計測技術
柳谷隆彦
研究集会「地震学をとりまく固体地球物理学」
発表年月： 2014年
PZT系エピタキシャル薄膜を用いた二次モード分極反転共振子
片田克吉, 柳谷隆彦, 鈴木雅視, 和佐清孝
圧電材料・デバイスシンポジウム2014
発表年月： 2014年
c軸傾斜ScAlN薄膜の擬似すべりモード電気機械結合係数
鈴木雅視, 片田克吉, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2014
発表年月： 2014年
音響電気効果を考慮したGaN単結晶のGHz域音速の温度・周波数分散測
市橋隼人, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美
圧電材料・デバイスシンポジウム2014
発表年月： 2014年
エピタキシャルPZT系厚膜の高温550℃における高い電気機械結合係数
柳谷隆彦, 片田克吉, 鈴木雅視, 和佐清孝
圧電材料・デバイスシンポジウム2014
発表年月： 2014年
Second overtone mode polarization inverted resonator consisting of (001)/(00-1) PbTiO3 thin film
S. Hiyama, T. Yanagitani, S. Takayanagi, Y. Kato, M. Matsukawa
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2014年
RF bias induced polarity inversion of ScAlN film for overtone mode BAW resonator
M. Suzuki, T. Yanagitani
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2014年
Effect of Sc concentration on shear wave velocities in ScAlN films measured by micro-Brillouin scattering technique
H. Ichihashi, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2014年
Effect of sputtering target temperature on crystalline orientations of ZnO piezoelectric films in RF magnetron sputtering
C. Takata, S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2014年
Polarity of piezoelectric properties in bone induced by ultrasound irradiation
H. Tsuneda, I. Mano, E. Hernanz, K. Mizuno, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2014年
Sezawa mode SAW with high electromechanical coupling at the boundary of polarization-inverted (000-1)/(0001) ZnO, AlN and ScAlN films
S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2014年
Multiple shear wave roundtrips liquid sensor by c-axis parallel oriented ZnO film/silica glass pipe structure
S. Hiyama, T. Yanagitani, S. Takayanagi, Y. Kato, M. Matsukawa
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2014年
Measurement of Polarization Structure in Layered Piezoelectric Thin Films Using Scanning Nonlinear Dielectric Microscopy
H. Odagawa, T. Yanagitani, Y. Cho
European Conference on Application of Polar Dielectrics 2014
発表年月： 2014年
High electromechanical coupling in PZT epitaxial thick film resonators at 550 degC
T. Yanagitani, K. Katada, M. Suzuki, K . Wasa
IEEE International Frequency Control Symposium
発表年月： 2014年
Second harmonic mode polarization inverted resonator consisting of PbTiO3 thin film
K. Katada, T. Yanagitani, M. Suzuki, K . Wasa
IEEE International Frequency Control Symposium
発表年月： 2014年
High Tc / High Coupling Perovskite Thin Films
K. Wasa, T. Matsushima, H. Adachi, T. Matsunaga, T. Yanagitani, T. Yamamoto, S. Yoshina, S. Tanaka
2014 Joint IEEE ISAF-IWATMD-PFM
発表年月： 2014年
Sezawa Mode SAW with High Electromechanical Coupling at The Boundary of Polarization-Inverted ScAlN Film Stuructures
発表年月： 2014年
Polarity-inverted ScAlN film growth by ion beam irradiation and application to high overtone acoustic wave film resonators
発表年月： 2014年
RFバイアススパッタ法により生じる高エネルギー正イオン照射を利用した六方晶系薄膜の配向制御
高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美
第60回応用物理学会春季学術講演会
発表年月： 2013年
c軸配向ZnO薄膜を用いた極性反転高次モード多層共振子
生駒遼, 柳谷隆彦, 高柳真司, 鈴木雅視, 小田川裕之, 松川真美
第60回応用物理学会春季学術講演会
発表年月： 2013年
c軸傾斜配向ZnOまたはScAlN膜のレイリーSAWにおける高い電気機械結合
加藤善也, 柳谷隆彦, 高柳真司, 今村功祐, 松川真美
第60回応用物理学会春季学術講演会
発表年月： 2013年
Brillouin散乱法によるGaN単結晶の音波物性測定
市橋隼人, 杉本剛士, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美
第60回応用物理学会春季学術講演会
発表年月： 2013年
c軸配向ZnO膜の極性制御と極性反転高次モード共振子への応用
生駒遼, 柳谷隆彦, 高柳真司, 鈴木雅視, 小田川裕之, 松川真美
圧電材料・デバイスシンポジウム2013
発表年月： 2013年
IDT/c軸平行配向ZnO膜/円柱状石英ガラス上を多重周回するSH-SAWの液体中伝搬特性
今村功祐, 柳谷隆彦, 加藤善也, 松川真美
圧電材料・デバイスシンポジウム2013
発表年月： 2013年
c軸平行配向ZnO膜を用いた厚みすべりモード共振子によるアポリポタンパク質の濃度評価
吉田憲司, 柳谷隆彦, 川本貴之, 佐々木昌, 大場正利, 加藤善也, 高柳真司, 渡辺好章
圧電材料・デバイスシンポジウム2013
発表年月： 2013年
c軸傾斜配向ZnOまたはScAlN膜のレイリーSAWにおける高い電気機械結合係数
加藤善也, 柳谷隆彦, 高柳真司, 今村功佑, 松川真美
圧電材料・デバイスシンポジウム2013
発表年月： 2013年
高温で高い圧電性を持つMnドープZnO薄膜
橋本亮介, 柳谷隆彦, 今村功祐, 生駒遼, 高柳真司, 松川真美
圧電材料・デバイスシンポジウム2013
発表年月： 2013年
厚み共振を利用した圧電薄膜成長初期における無配向層の厚み評価
高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美
第７４回応用物理学会秋季学術講演会
発表年月： 2013年
超音波照射による骨の誘発電位
常田裕子, 沖野正裕, 水野勝紀, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美
平成25年度第2回アコースティックイメージング研究会
発表年月： 2013年
MHz域の超音波照射による骨の誘発電位
常田裕子, 沖野正裕, 水野勝紀, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美
第33回日本骨形態計測学会
発表年月： 2013年
超音波骨トランスデューサの受波感度の検討
常田裕子, 沖野正裕, 水野勝紀, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美
日本音響学会2013年春季研究発表会
発表年月： 2013年
RFバイアススパッタ法による高エネルギー正イオン照射を用いた六方晶系圧電薄膜の配向制御
高柳 真司, 柳谷隆彦, 松川 真美
圧電材料・デバイスシンポジウム2013
発表年月： 2013年
c-axis parallel oriented multilayer AlN film grown by ion-beam assisted deposition
鈴木雅視, 柳谷隆彦
第23回日本MRS年次大会
発表年月： 2013年
Brillouin 散乱法を用いたGaN 単結晶の音速分散測定
市橋隼人, 柳谷隆彦, 高柳真司, 川部昌彦, 松川真美
第34回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
発表年月： 2013年
ScAlN 膜における相境界付近のGHz 帯圧電特性と弾性温度係数
鈴木雅視, 柳谷隆彦
第34回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
発表年月： 2013年
GHz 帯超音波励振を用いたエピタキシャルPZT 薄膜の分極反転挙動観察
柳谷隆彦, 鈴木雅視, 和佐清孝
第34回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
発表年月： 2013年
c 軸傾斜および平行配向ScAlN 薄膜/ 基板構造における弾性表面波の高い電気機械結合係数
高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美
第34回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
発表年月： 2013年
イオンビームアシスト成膜法によるc軸平行螺旋構造AlN薄膜の形成
鈴木雅視, 柳谷隆彦
第７４回応用物理学会秋季学術講演会
発表年月： 2013年
イオンビームアシスト成膜によるc軸平行極性反転AlN多層構造の形成
鈴木雅視, 柳谷隆彦
第60回応用物理学会春季学術講演会
発表年月： 2013年
希土類を添加したGaN薄膜の相境界付近における巨大圧電性
鈴木雅視, 伊藤一也, 柳谷隆彦
第60回応用物理学会春季学術講演会
発表年月： 2013年
PZT系単結晶薄膜のGHz帯圧電特性とバイアス印可時の分極反転挙動
柳谷隆彦, 鈴木雅視, 和佐清孝
圧電材料・デバイスシンポジウム2013
発表年月： 2013年
希土類を添加したAlNおよびGaN薄膜の圧電特性
伊藤一也, 鈴木雅視, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2013
発表年月： 2013年
AlN系薄膜におけるイオンビームを用いたc軸平行螺旋構造およびc軸垂直極性反転構造の形成
鈴木雅視, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2013
発表年月： 2013年
平行配向ZnO圧電薄膜を用いた液中横波励振デバイス
柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
マイクロEMデバイス・システムとICの融合化技術調査専門委員会
発表年月： 2013年
「講演奨励賞受賞記念講演」イオンビーム照射成膜によるAlN薄膜の極性・配向制御および極性反転多層構造の形成
鈴木雅視, 柳谷隆彦
第７４回応用物理学会秋季学術講演会
発表年月： 2013年
Characterization of GHz electromechanical properties of PZT single crystalline thin Films without removing substrate
T. Yanagitani, M. Suzuki, K. Wasa
IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
発表年月： 2013年
PZT-based high coupling with low permittivity thin films
K. Wasa, T. Matsushima, H. Adachi, T. Matsunaga, T. Yanagitani, T. Yamamoto, S. Trolier-McKinstry
IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
発表年月： 2013年
Enhancement of electromechanical coupling kt in rare earth doped c-axis oriented GaN films
M. Suzuki, T. Yanagitani
IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
発表年月： 2013年
Electromechanical coupling kt and GHzl ongitudinal wave velocity in ScAlN films near phase boundary
M. Suzuki, T. Yanagitani
IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
発表年月： 2013年
Polarity control of c-axis oriented ZnO films and application to polarity-inverted ZnO multilayer resonators
R. Hashimoto, T. Yanagitani, Ryo Ikoma, S. Takayanagi, M. Suzuki, H. Odagawa, M. Matsukawa
IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
発表年月： 2013年
Shear and longitudinal GHz elastic properties in GaN single crystals determined by Brillouin scattering method
H. Ichihashi, T. Sugimoto, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa
IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
発表年月： 2013年
Orientation control of ZnO films by highly-energetic positive ion irradiation using RF substrate bias sputtering
S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa
IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
発表年月： 2013年
Multiple roundtrip SH-SAW liquid sensor using c-axis parallel oriented ZnO films on silica glass pipe
Y. Kato, T. Yanagitani, K. Imamura, S. Takayanagi, M. Matsukawa
IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
発表年月： 2013年
Detection of antigen-antibody reaction by thickness-shear mode resonators consisting of caxis parallel oriented ZnO films
K. Yoshida, T. Yanagitani, T. Kawamoto, S. Sasaki, M. Oba, Y. Kato, S. Takayanagi, Y. Watanabe
IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
発表年月： 2013年
Electrical potentials in wet induced by ultrasound irradiation
H. Tsuneda, M. Okino, K. Mizuno, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa
European Symposium on Ultrasonic Characterization of Bone 2013
発表年月： 2013年
Polarization control of c-axis normal ScAlN film by ion beam irradiation
M. Suzuki, Y. Takahiko, H. Odagawa
International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications
発表年月： 2013年
c軸配向ZnO薄膜における基板へのイオン照射を用いたZn面またはO面極性制御
生駒 遼, 柳谷隆彦, 高柳, 真司, 鈴木, 雅視, 小田川, 裕之, 松川 真美
第33回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
発表年月： 2012年
MHz域における骨の電気機械変換特性
沖野 正裕, 水野, 勝紀, 柳谷隆彦, クテル サビーヌ, 松川 真美
第33回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
発表年月： 2012年
c軸傾斜配向ZnO膜/石英基板構造のレイリーSAWにおける高い電気機械結合係数
高柳 真司, 柳谷隆彦, 今村 功祐, 生駒 遼, 杉本 剛士, 松川 真美
第33回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
発表年月： 2012年
RFバイアススパッタ法によるc軸平行配向AlN及びScAlN薄膜の形成
高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美
第73回応用物理学会学術講演会
発表年月： 2012年
RFマグネトロンスパッタ法における基板へのイオン照射を用いた c軸配向ZnO薄膜の極性制御
生駒遼, 柳谷隆彦, 高柳真司, 鈴木雅視, 小田川裕之
第73回応用物理学会学術講演会
発表年月： 2012年
圧電薄膜の配向制御技術と液中横波励振
柳谷隆彦
スマート・アクチュエータ／センサ委員会定例会
発表年月： 2012年
マグネトロンスパッタ源から生成される高エネルギー負イオン照射によるZnO膜の配向制御
高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
応用物理学関係連合講演会
発表年月： 2012年
c軸平行配向ZnO膜を用いたSH-SAWセンサによる液体の導電率測定
中東佑太, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
応用物理学関係連合講演会
発表年月： 2012年
イオンビームアシストスパッタ法によるc軸平行AlN薄膜/石英基板の形成
鈴木雅視, 柳谷隆彦
応用物理学関係連合講演会
発表年月： 2012年
マグネトロンスパッタ源から生成する高速負イオンを利用したZnO膜の配向制御
高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
圧電材料・デバイスシンポジウム2012
発表年月： 2012年
(0001)配向AlNおよびScAlN薄膜を用いた極性反転共振子
鈴木雅視, 菅沼信広, 柳谷隆彦, 小田川裕之
圧電材料・デバイスシンポジウム2012
発表年月： 2012年
Sc粒スパッタによる巨大圧電性(0001)ScAlN薄膜の作製 -効率的なSc代替材料探索を目指した成膜法-
菅沼信広, 鈴木雅視, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2012
発表年月： 2012年
希土類－III-IV族系巨大圧電性薄膜やＰＺＴ単結晶薄膜の相境界の実験的研究
関西・中部誘電体セミナー
発表年月： 2012年
Al2O3粒スパッタ法よる(0001)配向ScAlN薄膜の極性制御と極性反転共振子
鈴木雅視, 柳谷隆彦, 小田川裕之
第33回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
発表年月： 2012年
巨大圧電性 (0001) ScAlGaN薄膜
伊藤 一也, 鈴木 雅視, 柳谷隆彦
第33回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
発表年月： 2012年
c 軸垂直極性反転ScAlN 多層膜を用いた高次モード音響共振子
鈴木雅視, 柳谷隆彦
日本音響学会2012年秋季研究発表会
発表年月： 2012年
イオンビーム照射成膜による(0001)配向ScAlN薄膜の極性制御と極性反転構造の実現
鈴木雅視, 柳谷隆彦, 小田川裕之
第73回応用物理学会学術講演会
発表年月： 2012年
Sc粒スパッタによる巨大圧電性(0001)ScAlN薄膜共振子の作製
柳谷隆彦, 菅沼信広, 鈴木雅視
応用物理学関係連合講演会
発表年月： 2012年
c軸平行配向AlN圧電膜を用いた高次モード極性反転すべりモード共振子
鈴木雅視, 柳谷隆彦
日本音響学会2012年春季研究発表会
発表年月： 2012年
High electromechanical coupling of PMnN-PZT thin film resonator operating in the GHz range
T. Yanagitani, M. Suzuki, K. Wasa
IEEE International Ultrason. Symp
発表年月： 2012年
Fast hypersonic velocity measurement by Brillouin scattering from induced phonons
T. Sugimoto, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa
IEEE International Ultrason. Symp
発表年月： 2012年
Metal grain ingot sputtering method for ScAlN film fabrication and for searching alternative element of Sc
T. Yanagitani, M. Suzuki, N. Suganuma
IEEE International Ultrason. Symp
発表年月： 2012年
Polarization inverted (0001)/(000-1) ScAlN film resonators operating in second overtone mode
M. Suzuki, T. Yanagitani, H. Odagawa
IEEE International Ultrason. Symp
発表年月： 2012年
Micro liquid viscometer by thickness-shear mode resonator with c-axis parallel oriented ZnO film
Y. Kato, T. Yanagitani, M. Matsukawa, M. Sawasaki, T. Kawamoto, Y. Mori, S. Takayanagi, S. Sasaki, M. Oba, Y. Watanabe
IEEE International Ultrason. Symp
発表年月： 2012年
Bone ultrasound transducer in the MHz range
M. Okino, K. Mizuno, S. Takayanagi, D. Suga, T. Yanagitani, M. Matsukawa
IEEE International Ultrason. Symp
発表年月： 2012年
Fabrication of c-axis parallel oriented AlN and ScAlN films by RF bias sputtering
S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa
IEEE International Ultrason. Symp
発表年月： 2012年
Polarization control of the c-axis oriented ZnO films by ion bombardment during an RF magnetron sputtering
R. Ikoma, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Suzuki, H. Odagawa, M. Matsukawa
IEEE International Ultrason. Symp
発表年月： 2012年
Sc 粒のスパッタにより作製したScAlN 薄膜の電気機械結合係数
菅沼信広, 鈴木雅視, 柳谷隆彦
第32回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
発表年月： 2011年
IBAD 法によるc 軸平行配向AlN 薄膜を用いた極性反転多層膜すべり共振子
鈴木雅視, 菅沼信広, 柳谷隆彦
第32回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
発表年月： 2011年
IBAD法を用いたc軸平行配向AlN薄膜の作製および極性反転すべり共振子への応用
鈴木雅視, 菅沼信広, 柳谷隆彦
電子情報通信学会超音波研究会
発表年月： 2011年
c軸平行配向ZnO膜/非晶質基板上を伝搬するSH-SAWの電気機械結合係数
中東佑太, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
電子情報通信学会超音波研究会
発表年月： 2011年
ZnO圧電薄膜によるGHz域の励起フォノンを利用した高速Brillouin散乱測定
杉本剛士, 佐野広幸, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美
電子情報通信学会超音波研究会
発表年月： 2011年
曲面試料上に成膜したZnO 薄膜からの励起フォノンによるBrillouin 散乱
杉本剛士, 佐野広幸, 中東佑太, 高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美
日本音響学会春季研究発表会
発表年月： 2011年
c軸平行配向ZnO膜/非圧電性基板構造におけるSH-SAWの電気機械結合係数およびセンサ応用の検討
中東佑太, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
圧電材料・デバイスシンポジウム2011
発表年月： 2011年
c軸平行配向AlN薄膜を用いた極性反転すべり共振子
鈴木雅視, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2011
発表年月： 2011年
Polarizaion-inverted multilayered pure shear mode AlN film resonator
M. Suzuki, T. Yanagitani
IEEE International Ultrason. Symp
発表年月： 2011年
c-axis parallel oriented AlN film resonator fabricated by ion-beam assisted RF magnetron sputtering
M. Suzuki, T. Yanagitani
IEEE International Ultrason. Symp
発表年月： 2011年
Brillouin scattering from induced phonons excited by the ZnO piezoelectric thin film with a coaxial resonator
T. Sugimoto, H. Sano, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa
IEEE International Ultrason. Symp
発表年月： 2011年
High temperature piezoelectricity in Mn doped ZnO film
K. Imamura, S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe
IEEE International Ultrason. Symp
発表年月： 2011年
c-axis parallel oriented ZnO film SH-SAW sensor for electrical conductivity measurement in liquid
Y. Nakahigashi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe
IEEE International Ultrason. Symp
発表年月： 2011年
Quantitative analysis of the effect of energetic particle bombardment during deposition on (11-20) ZnO piezoelectric films
S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe
IEEE International Ultrason. Symp
発表年月： 2011年
Three dimensional anisotropy of ultrasonic wave velocity in bovine cortical bone - Effects of HAp crystallites orientation and microstructure -
中辻 知宏, 山本, 和史, 山下, 圭祐, 柳谷隆彦, 松川, 真美, 山崎, 薫, 松山 幸弘
第31回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
発表年月： 2010年
c-axis parallel oriented ZnO film depositions by variable frequency RF bias sputtering
S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe
第31回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
発表年月： 2010年
Giant shear mode electromechanical coupling in c-axis tilted ScAlN films
Takahiko Yanagitani, Arakawa Kazuki, Suzuki Masashi, Kano Kazuhiko, T.Akihiko
第31回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
発表年月： 2010年
In-plane and out-of-plane orientation control of AlN films by ion beam assisted RF magnetron sputtering
鈴木 雅視, 柳谷隆彦
第31回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
発表年月： 2010年
Observation of induced phonons by ZnO transducer with coaxial microwave resonator using Brillouin scattering
H. Sano, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa, N. Ohtori
第31回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
発表年月： 2010年
ウシ左右大腿骨皮質骨中の特徴的な3次元音速異方性 ～ 最大音速方向の骨軸からのずれについて ～
中辻知宏, 山本和史, 高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美, 山崎薫
電子情報通信学会超音波研究会
発表年月： 2010年
Brillouin散乱法による同軸共振器と圧電薄膜を用いた励起フォノンの観測
佐野広幸, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美
電子情報通信学会超音波研究会
発表年月： 2010年
RFバイアススパッタ法によるc軸平行配向ZnO薄膜の形成 ～ バイアス周波数が配向性に及ぼす影響 ～
高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
電子情報通信学会超音波研究会
発表年月： 2010年
c 軸傾斜配向ScAlN 膜の擬似すべりモードにおける巨大圧電性
柳谷隆彦, 秋山守人
日本音響学会秋季研究発表会
発表年月： 2010年
Brillouin 散乱法による導電性ZnO 単結晶を用いた擬似すべりモード電気機械結合係数k15´の評価
佐野広幸, 柳谷隆彦, 松川真美
日本音響学会秋季研究発表会
発表年月： 2010年
RFバイアススパッタ法による簡便な(11-20)および(10-10)配向ZnO膜の形成
高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
第57回 応用物理学関係連合講演会
発表年月： 2010年
傾斜配向AlN膜の結晶粒界と横波音響特性
鈴木雅視, 柳谷隆彦
日本音響学会春季研究発表会
発表年月： 2010年
Brillouin散乱法による圧電半導体の面内方向抵抗率評価
柳谷隆彦, 佐野広幸, 松川真美
日本音響学会春季研究発表会
発表年月： 2010年
傾斜配向AlN膜の構造が横波音響特性におよぼす影響
鈴木雅視, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2010
発表年月： 2010年
RFバイアススパッタ法による簡便な面内配向ZnO薄膜の形成
高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
圧電材料・デバイスシンポジウム2010
発表年月： 2010年
Highest wave velocity direction in the bovine cortical bone: observation of a small tilt relative to the bone axis
T. Nakatsuji, K. Yamamoto, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2010年
Deposition techniques of c-axis-tilted ScAlN films by conventional RF magnetron sputtering
K. Arakawa, T. Yanagitani, K. Kano, A. Teshigahara, M. Akiyama
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2010年
Influence of shadowing effect on shear mode acoustic properties in the c-axis tilted AlN films
M Suzuki, T. Yanagitani
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2010年
Effects of HAp alignment and microstructure on the anisotropy of longitudinal wave velocity in bovine cortical bone
K. Yamamoto, T. Nakatsuji, Y. Yamato, T. Yanagitani, K. Yamazaki, M. Matsukawa, Y. Matsuyama
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2010年
A simple technique for obtaining (11-20) or (10-10) textured ZnO films by RF bias sputtering
S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2010年
Giant shear mode electromechanical coupling coefficient k15 in c-axis tilted ScAlN films
T. Yanagitani, K. Arakawa, M. Suzuki, K. Kano, T. Akihiko, A. Morito
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2010年
Anisotropy of longitudinal wave velocity in spherically shaped bovine cortical bone
K. Yamamoto, T. Nakatsuji, M. Indo, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki
The third international conference on the development of Biomedical Engineering
発表年月： 2010年
Piezoelectric properties of c-axis highly tilted AlN films
鈴木雅視, 柳谷隆彦
The 30th Symposium on Ultrasonic Electronics
発表年月： 2009年
Multilayer shear mode resonator consisting of c-axis tilted ZnO films
守里直希, 高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
The 30th Symposium on Ultrasonic Electronics
発表年月： 2009年
Crystallographic characteristics of (11-20) textured ZnO piezoelectric films fabricated by magnetron sputtering with linear erosion
川本貴之, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章, 森嘉一, 佐々木昌, 大場正利
The 30th Symposium on Ultrasonic Electronics
発表年月： 2009年
Measurement of in-plane electric properties in a wide band-gap semiconductor by Brillouin scattering method
柳谷隆彦, 佐野広幸, 松川真美
The 30th Symposium on Ultrasonic Electronics
発表年月： 2009年
ウシ大腿骨皮質骨の縦波音速異方性とHAp結晶配向
山本 和史, 大和 雄, 山崎 薫, 長野 昭, 矢追 佑一郎, 中辻 智宏, 松川 真美, 柳谷隆彦
日本整形外科学会基礎学術集会
発表年月： 2009年
直線状エロージョンマグネトロンスパッタリングによる(11-20)配向ZnO圧電膜の大面積成膜
川本貴之, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章, 森嘉一, 佐々木昌, 大場正利
電子情報通信学会超音波研究会
発表年月： 2009年
Brillouin散乱法による圧電半導体の面内方向電気特性評価に関する検討
柳谷隆彦, 佐野広幸, 松川真美
電子情報通信学会超音波研究会
発表年月： 2009年
c軸傾斜反転配向ZnO多層膜の作製と横波共振子への応用
守里直希, 高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
電子情報通信学会超音波研究会
発表年月： 2009年
ウシ大腿骨皮質骨中の超音波縦波音速 ハイドロキシアパタイト結晶配向と微細構造の影響
矢追佑一郎, 松川真美, 山本和史, 山崎薫, 柳谷隆彦
電子情報通信学会超音波研究会
発表年月： 2009年
ヒト及びウシ円環状皮質骨における骨軸方向への超音波伝搬特性
大和雄, 山崎薫, 長野昭, 松川真美, 矢追佑一郎, 中辻智宏, 柳谷隆彦
日本骨形態計測学会
発表年月： 2009年
Brillouin散乱法による圧電半導体の面内方向抵抗率分布の評価
柳谷隆彦, 佐野広幸, 松川真美
第56回応用物理学関係連合講演会
発表年月： 2009年
Relationships between anisotropy of longitudinal wave velocity and HAp orientation in bovine cortical bone
Kazufumi YAMAMOTO, Tomohiro NAKATSUJI, Yuichiro YAOI, Yu YAMATO, Takahiko YANAGITANI, Mami MATSUKAWA, Kaoru YAMAZAKI
3rd European Symposium on Ultrasonic Characterization of Bone
発表年月： 2009年
Measurement of electric properties in a ZnO single crystal via electromechanical coupling using Brillouin scattering method
N. Morisato, S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2009年
Multilayered shear wave resonator consisting of c-axis tilted ZnO films
N. Morisato, S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2009年
Anisotropy of longitudinal wave velocity and HAp orientation in bovine cortical bone
Yaoi Y, Yamamoto K, Yanagitani T, Koizumi T, Matsukawa M, Yamazaki K, Nagano A
International Congress on Ultrasonics (ICU) 2009
発表年月： 2009年
Ultrasonic wave properties in the bone axis direction of human and bovine cortical bone
Yamamoto K, Yaoi Y, Grondin J, Grimal Q, Yamato Y, Yanagitani T, Matsukawa M, Laugier P, Yamazaki K, Nagano A
International Congress on Ultrasonics (ICU) 2009
発表年月： 2009年
Anisotropy of longitudinal ultrasound velocity and HAp orientation in bovine cortical bone
Y. Yaoi, K.i Yamamot, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki, A. Nagano
The 29th Symposium on Ultrasonic Electronics
発表年月： 2008年
Pure-shear mode BAW resonator consisting of (1120) textured AlN films
T. Yanagitani, M. Kiuchi
The 29th Symposium on Ultrasonic Electronics
発表年月： 2008年
Electromechanical coupling coefficient of semiconducting piezoelectric crystal measured by Brillouin scattering
T. Yoshida, T. Yanagitani, M. Matsukawa
The 29th Symposium on Ultrasonic Electronics
発表年月： 2008年
イオン照射による六方晶系薄膜の配向制御と横波モード圧電デバイス
柳谷隆彦, 木内正人
日本セラミック協会第21 回秋季シンポジウム
発表年月： 2008年
(11-20)配向AlN圧電薄膜を用いた純横波モード共振子
柳谷隆彦, 木内正人, 松川真美
第69回応用物理学会学術講演会
発表年月： 2008年
Brillouin散乱法を用いた六方晶系圧電薄膜の評価
吉田泰祐, 坂本雅則, 柳谷隆彦, 松川真美
圧電材料・デバイスシンポジウム2008
発表年月： 2008年
Pure-shear mode BAW resonators consisting of (11-20) textured ZnO films
T. Yanagitani, M. Kiuch, M. Matsukawa, Y. Watanabe
Acoustics 08
発表年月： 2008年
Observation of induced shear acoustic phonons by Brillouin scattering
T. Yoshida, S. Murata, T. Yanagitani, M. Matsukawa
Acoustic 08
発表年月： 2008年
Ultrasonic wave properties in the bone axis direction of bovine cortical bone
K. Yamamoto, Y. Yaoi, Y. Yamato, T. Yanagitani, T. Koizumi, M. Matsukawa, K. Yamazaki, A. Nagano
Acoustic 08
発表年月： 2008年
Pure-shear mode BAW resonator consisting of (10-10) and (11-20) textured AlN films
T. Yanagitani, M. Kiuchi
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2008年
Electromechanical coupling coefficient of semiconducting hexagonal crystal measured by Brillouin scattering
T. Yanagitani, Y. Yoshida, M. Matsukawa
IEEE International Ultrasonics Symposium
発表年月： 2008年
超音波による骨質の評価
山崎薫, 大和雄, 山本和史, 長野昭, 松川真美, 矢追祐一郎, 柳谷隆彦
第9回日本骨粗鬆症学会
発表年月： 2007年
Propagation characteristics of SH-SAW in (11-20) ZnO film/silica glass substrate structures
A. Tanaka, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe
The 28th Symposium on Ultrasonic Electronics
発表年月： 2007年
A c-axis tilted ZnO film transducer for simultaneous excitation of longitudinal and shear waves
T. Matsuo, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe
The 28th Symposium on Ultrasonic Electronics
発表年月： 2007年
Texture control of ZnO piezoelectric films by ion beam irradiation
柳谷隆彦, 木内正人
The 28th Symposium on Ultrasonic Electronics
発表年月： 2007年
(11-20)ZnO膜/石英基板構造のSH型SAW伝搬特性
田中厚志, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
電子情報通信学会超音波研究会
発表年月： 2007年
c軸傾斜配向ZnO膜を用いたVHF帯縦波横波同時励振トランスデューサ
松尾卓也, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
第68回応用物学会学術講演会
発表年月： 2007年
c軸傾斜配向ZnO 膜を用いた縦波横波同時励振トランスデューサ
松尾卓也, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
日本音響学会秋季研究発表会
発表年月： 2007年
(11-20)面配向ZnO膜/石英基板構造のSH型SAW伝搬特性
田中厚志, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
第68回応用物学会学術講演会
発表年月： 2007年
Brillouin 散乱法を用いたガラス中の横波励起フォノンの観測
吉田 泰祐, 村田 茂雄, 松川 真美, 柳谷隆彦
日本音響学会春季研究発表会
発表年月： 2007年
面内配向ZnO 多結晶膜/基板構造におけるSH 型SAW 特性
田中 厚志, 松川 真美, 渡辺 好章, 柳谷隆彦
日本音響学会春季研究発表会
発表年月： 2007年
（11-20）ZnO膜/石英基板構造におけるSH型SAW特性
田中厚志, 松川真美, 渡辺好章, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2007
発表年月： 2007年
イオンチャネリング効果によるZnO圧電膜の配向制御に関する検討
柳谷隆彦, 木内正人
圧電材料・デバイスシンポジウム2007
発表年月： 2007年
c軸傾斜配向ZnO膜の電気機械結合係数と縦波横波同時励振トランスデューサへの適用
松尾卓也, 松川真美, 渡辺好章, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2007
発表年月： 2007年
Thin film stack transducer for simultaneous generation of longitudinal and shear waves at same frequency
T. Yanagitani, T. Matsuo, M. Matsukawa, Y. Watanabe
IEEE Ultrason. Symp
発表年月： 2007年
Ion beam sputter-deposited ZnO thin film for broadband shear wave excitation in the GHz range
T. Yanagitani, M. Kiuchi
IEEE Ultrason. Symp
発表年月： 2007年
Highly oriented c-axis 23° tilted ZnO films with high quasi-shear mode electromechanical coupling coefficients
T. Matsuo, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe
IEEE Ultrason. Symp
発表年月： 2007年
Propagation characteristics of SH-SAW in (11 0) ZnO layer/silica glass substrate structures
A. Tanaka, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe
IEEE Ultrason. Symp
発表年月： 2007年
Effect of the preference of hydroxyapatite crystallites on longitudinal wave velocity at small ROIs in bovine cortical bone
Y. Yamato, M. Matsukawa, H. Mizukawa, T. Yanagitani, K. Yamamoto, K. Yamazaki, A. Nagano
International congress on Ultrasonics
発表年月： 2007年
横波モード圧電デバイスを目的としたイオンビームアシスト蒸着法による面内配向ZnO薄膜の作製
柳谷隆彦, 木内正人
表面技術フォーラム
発表年月： 2006年
Observation of induced shear acoustic phonons by Brillouin scattering
S. Murata, T. Kawamoto, M. Matsukawa, T. Yanagitani
第27回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
発表年月： 2006年
Longitudinal wave velocity and orientation of HAp crystallites in local area of bovine femoral cortical bone
Y. Yamato, Hamamatsu, H. Mizukawa, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki, A. Nagano
第27回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
発表年月： 2006年
Characteristics of shear mode FBAR using (11-20) textured ZnO films
T. Yanagitan, M. Kiuchi, M. Matsukawa, Y. Watanabe
第27回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
発表年月： 2006年
Effects of sputtering gas on the formation of (11-20) textured ZnO films
T. Kawamoto, M. Matsukawa, Y. Watanabe, T. Yanagitani
第27回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
発表年月： 2006年
c軸傾斜配向ZnO 膜の形成および圧電特性
松尾 卓也, 田中 厚志, 松川 真美, 渡辺 好章, 柳谷隆彦
日本音響学会秋季研究発表会
発表年月： 2006年
面内配向ZnO 膜を用いたすべりモード薄膜共振子の特性
柳谷隆彦, 松川 真美, 渡辺 好章
日本音響学会春季研究発表会
発表年月： 2006年
ウシ皮質骨の弾性異方性と結晶配向性
水川 裕文, 松川 真美, 柳谷隆彦, 大和 雄, 山崎 薫, 長野 昭
日本音響学会春季研究発表会
発表年月： 2006年
面内配向ZnO膜のk15の評価およびすべりモード薄膜共振子への応用
川本貴之, 三島夏樹, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
圧電材料・デバイスシンポジウム2006
発表年月： 2006年
Elastic anisotropy and crystallites orientation of the bovine cortical bone
M. Matsukawa, H. Mizukawa, T. Yanagitani, Y. Yamato, K. Yamazaki, A. Nagano
17th International Bone Densitometry Workshop
発表年月： 2006年
The effect of hydroxyapatite crystallite orientation on ultrasonic velocity in bovine cortical bone
Y. Yamato, K. Yamazaki, A. Nagano, H. Mizukawa, T. Yanagitani, M. Matsukawa
4th Joint Meeting Acoustical Society of America and Acoustical Society of Japan
発表年月： 2006年
Elastic Anisotropy and Crystallites Orientation in Bovine Cortical Bone
Y. Yamato, H. Mizukawa, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki, A. Nagano
IEEE Ultrason. Symp
発表年月： 2006年
Temperature Characteristics of Pure Shear Mode FBARs Consisted of (11 0) Textured
T. Yanagitani, M. Kiuchi, M. Matsukawa, Y. Watanabe
IEEE Ultrason. Symp
発表年月： 2006年
Study on Formation Mechanism of (11-20) Textured ZnO Films
K. Kawamoto, M. Matsukawa, Y. Watanabe, T. Yanagitani
IEEE Ultrason. Symp
発表年月： 2006年
Effect of the crystallites orientation on the elastic anisotropy in the bovine cortical bone
M. Matsukawa, H. Mizukawa, T. Yanagitani, Y. Yamato, K. Yamazaki, A. Nagano
The 9th Western Pacific Acoustics Conference
発表年月： 2006年
The relationship between acoustic anisotropy and crystal orientation in bovine cortical bone
Y. Yamato, M. Matsukawa, T. Yanagitani, T. Otani, K. Yamazaki, A. Nagano
1st European Symposium on Ultrasonic Characterization of Bone
発表年月： 2006年
牛皮質骨の超音波伝搬特性と結晶配向
大和雄, 松川真美, 柳谷隆彦, 水川裕文, 山崎薫, 大谷隆彦, 長野昭
第26回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
発表年月： 2005年
面内配向ZnO薄膜の結晶性向上と膜厚均一化に関する検討
宮本善則, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章, 大谷隆彦
面内配向ZnO薄膜の結晶性向上と膜厚均一化に関する検討
発表年月： 2005年
面内配向ZnO膜の圧電性評価と共振器への応用
三島夏樹, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
電子情報通信学会超音波研究会
発表年月： 2005年
面内配向ZnO膜の電気機械結合係数k15の評価
三島夏樹, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
日本音響学会秋季研究発表会
発表年月： 2005年
面内配向ZnO薄膜の作製条件に関する検討
川本貴之, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
日本音響学会秋季研究発表会
発表年月： 2005年
面内配向ZnO膜の圧電性
柳谷隆彦, 三島夏樹, 松川真美, 渡辺好章, 大谷隆彦
第34回EMシンポジウム
発表年月： 2005年
顕微ブリユアン光散乱法を用いたZnO薄膜の非破壊評価
村田茂雄, 大和哲郎, 新谷和明, 柳谷隆彦, 松川真美
日本音響学会春季研究発表会
発表年月： 2005年
(11-20)面配向ZnO圧電膜の結晶性向上および膜厚分布の低減
柳谷隆彦, 野原拓也, 松川真美, 渡辺好章, 大谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2005
発表年月： 2005年
面内配向ZnO薄膜を用いた横波トランスデューサの変換特性
野原拓也, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章, 大谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2005
発表年月： 2005年
Higher-order shear mode FBAR using polarization-inverted layers of (11 0) textured
Y. Miyamoto, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe
IEEE Ultrason. Symp
発表年月： 2005年
Electromechanical coupling coefficient k15 of (11 0) textured ZnO films
T. Yanagitani, N. Mishima, M. Matsukawa, Y. Watanabe
IEEE Ultrason. Symp
発表年月： 2005年
顕微ブリユアン光散乱法による面内配向ZnOフィルムの評価
新谷和明, 柳谷隆彦, 松川真美, 大谷隆彦
第25回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
発表年月： 2004年
面内配向ZnO薄膜を用いたトランスデューサの評価
柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章, 大谷隆彦
第25回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
発表年月： 2004年
横波励振を目的とした面内配向ZnO薄膜の結晶性向上に関する検討
宮本善則, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章, 大谷隆彦
日本音響学会秋季研究発表会
発表年月： 2004年
面内配向ZnO 薄膜を用いた横波トランスデューサ
柳谷隆彦, 野原拓也, 松川真美, 渡辺好章, 大谷隆彦
日本音響学会春季研究発表会
発表年月： 2004年
（11-20）面配向ZnO薄膜による横波トランスデューサの作製
柳谷隆彦, 野原拓也, 松川真美, 渡辺好章, 大谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2004
発表年月： 2004年
Shear Wave Transducer Using (11-20) Textured ZnO Film
T. Yanagitani, T. Nohara, M. Matsukawa, T. Otani
IEEE Ultrason. Symp
発表年月： 2004年
Nondestructive evaluation of thin ZnO shear transducer by Brillouin scattering
K. Shintani, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe, T. Otani
IEEE Ultrason. Symp
発表年月： 2004年
面内配向ZnO 薄膜による横波励振の検討
柳谷隆彦, 野原拓也, 松川真美, 渡辺好章, 大谷隆彦
第24回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
発表年月： 2003年
横波励振を目的とした面内配向ZnO薄膜の開発
柳谷隆彦, 野原拓也, 松川真美, 渡辺好章, 大谷隆彦
電子情報通信学会超音波研究会
発表年月： 2003年
ZnO薄膜を用いた横波トランスデューサの検討
野原拓也, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章, 大谷隆彦
日本音響学会秋季研究発表会
発表年月： 2003年
金属膜上に作製されたZnO 面内一方向配向膜の特性
柳谷隆彦, 松川真美, 大谷隆彦, 三原敏行
日本音響学会2003年春季研究発表会
発表年月： 2003年
ナノ・材料
分極反転圧電薄膜を用いた基地局向けの耐電力小型音響共振子フィルタの実現
日本学術振興会 科学研究費助成事業 挑戦的研究(萌芽)
研究期間:
柳谷 隆彦
GHz帯横波斜入射の複素反射率測定による抗原抗体反応の高感度粘弾性計測
日本学術振興会 科学研究費助成事業 基盤研究(B)
研究期間:
柳谷 隆彦, 高柳 真司, 吉田 憲司, 鈴木 雅視
横波超音波の固有振動数変動による抗原抗体反応の高感度質量計測
日本学術振興会 科学研究費助成事業 基盤研究(B)
研究期間:
柳谷 隆彦, 高柳 真司, 吉田 憲司
走査型非線形誘電率顕微法による極性反転圧電薄膜の層状構造測定法の研究
日本学術振興会 科学研究費助成事業 基盤研究(C)
研究期間:
小田川 裕之, 柳谷 隆彦, 長 康夫
日本学術振興会 科学研究費助成事業 基盤研究(B)
研究期間:
松川 真美, 細川 篤, 長谷 芳樹, 柳谷 隆彦, 星野 裕信, 長谷 芳樹
面内配向六方晶系薄膜の創製および横波モード共振子型分子間相互作用センサへの応用
日本学術振興会 科学研究費助成事業 特別研究員奨励費
研究期間:
柳谷 隆彦
Enhanced Electromechanical Coupling Near the Phase Boundary in Wurtzite (Mg,Zn)O and (Sc,Al)N
Junjun Jia, Takahiko Yanagitani
2024 IEEE MTT-S International Conference on Microwave Acoustics &amp; Mechanics (IC-MAM) 2024年05月 [査読有り]
研究発表ペーパー・要旨（国際会議）
数百MHz帯超音波を用いた複素反射率測定による生体物質の相互作用の検出
茂木彩音, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告 ( 123 ) 41 - 46 2023年12月
エピタキシャルZnO犠牲層を用いたc軸傾斜エピタキシャルScAlN自立薄膜共振子
小林栞, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告 ( 123 ) 18 - 23 2023年12月
c軸傾斜Sc0.4Al0.6N薄膜の大面積成膜を目指した矩形カソードによる平行平板スパッタリング
石井直輝, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告 ( 123 ) 53 - 58 2023年12月
厚みすべりモードc軸ジグザグScAlN積層を用いたSMR型圧電トランス
白岩和剛, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告 ( 123 ) 47 - 52 2023年12月
PbTiO3エピタキシャル自立薄膜共振子の電気機械結合係数ヒステリシスカーブ
國信聡太, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告 ( 123 ) 35 - 40 2023年12月
積層電極によるScAlN多層薄膜SMRを用いた二重モードBAWフィルタ(DMB)
柴田真之, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告 ( 123 ) 1 - 6 2023年12月
エピ犠牲層エッチングを用いたエピ圧電層/音響ブラッグ反射器構造の作製
渡海智, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告 ( 123 ) 24 - 29 2023年12月
c軸傾斜エピPbTiO3薄膜の高い擬似すべりモード電気機械結合係数
國信聡太, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告 ( 123 ) 17 - 22 2023年11月
高電力性向上を目的とした高次モード分極反転ScAlN薄膜SMR
柴田真之, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告 ( 123 ) 11 - 16 2023年11月
圧電層と基板の音響分離を目指した30層分極反転HBAR
白岩和剛, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告 ( 123 ) 61 - 66 2023年11月
エピ圧電薄膜/エピ音響ブラッグ反射器構造のSMR
渡海智, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告 ( 123 ) 67 - 72 2023年11月
YbGaNおよびYbAlNエピタキシャル薄膜共振子の特性
李嵩, 賈軍軍, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告 ( 122 ) 74 - 79 2022年12月
SiO2遅延層を用いたGHz帯パルスエコー法による音響ブラッグ反射層の機械的通過損失の測定
近藤圭太, 石井直輝, 鈴木基嗣, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告 ( 122 ) 80 - 85 2022年12月
LiNbO3スパッタエピ薄膜のGHz帯励振特性
工藤慎也, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告 ( 122 ) 86 - 91 2022年12月
c軸20°傾斜配向MgZnOエピタキシャル薄膜の擬似横波励振特性
岸大貴, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告 ( 122 ) 62 - 67 2022年12月
基板付き圧電薄膜の kt2評価における電極面積の影響
関崚, 清水祐樹, 近藤圭太, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告 ( 122 ) 68 - 73 2022年12月
基板付き薄膜共振子を用いたScAlN、ZnO、PZT圧電薄膜層のQ値抽出
清水祐樹, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告 ( 122 ) 56 - 61 2022年12月
c軸ジグザク分極反転ScAlN薄膜を用いたBAW送受波型トランスバーサルフィルタ
泉航太、柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告 ( 121 ) 5 - 10 2022年
Experimental and theoretical investigation of kt 2 and velocity in YbGaN films by DFT
Yuna Koike, Junjun Jia, Masashi Suzuki, Takahiko Yanagitani
2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) 2021年09月
スパッタ法により作製した0.3mmの10MHz帯ScAlN薄板トランスデューサ
岩田直也、柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告 ( 121 ) 19 - 24 2021年
PbTiO3エピ圧電薄膜を用いた基板裏面におけるGHz超音波の指紋イメージング
佐藤裕友、柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告 ( 121 ) 13 - 18 2021年
基板付き薄膜共振子の基板内損失を含まない新規kt2評価法と従来法の比較
龍見亮汰、 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告 ( 120 ) 57 - 60 2020年
ScAlスパッタターゲットから生じる負イオンがScAlN圧電薄膜の結晶配向性や電気機械結合係数に及ぼす影響
木原流唯、髙柳真司、柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告 ( 120 ) 51 - 56 2020年
レクテナ昇圧素子に向けた傾斜反転ScAlN圧電薄膜トランス
木下紗里那、柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告 ( 120 ) 45 - 50 2020年
AlNとScAlNにおける非線形性に起因するDCバイアス時の周波数シフトおよび格子ひずみの比較
五月女巧, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告 120 ( 222 ) 34 - 39 2020年
低圧スパッタ成膜で増大する負イオン照射がScAlN薄膜の結晶性と圧電性に及ぼす影響
冨永卓海, 髙柳真司, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告 120 ( 222 ) 1 - 6 2020年
ZnO薄膜を用いた厚みすべりモード共振子の作製と液体負荷時の周波数特性
宮田昌哉, 高柳真司, 松川真美, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告 119 33 - 37 2019年
擬似すべりモードc軸傾斜配向ScAlN圧電薄膜を用いた複素反射率法による液体試料の粘弾性評価
天野凌輔, 山川愉生, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告 119 19 - 23 2019年
「周波数スイッチナブルフィルタを目指した常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピ膜音響共振子」
清水貴博, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 48, pp. 29-34 (2018). 118 ( 48 ) 29 - 34 2018年
「レクテナ昇圧素子への応用を目指したc軸ジグザグ配向ScAlN多層圧電薄膜共振子」
唐澤嶺, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 48, pp. 23-27 (2018). 118 ( 48 ) 23 - 27 2018年
「c軸傾斜配向厚みすべりモードScAlN薄膜共振子を用いた液体中生体分子相互作用の検出」
矢崎花, 五月女巧, 唐澤嶺, 高柳真司, 吉田憲司, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 229, US2018-53, pp. 31-35 (2018). 118 ( 229 ) 31 - 35 2018年
「c軸傾斜配向ScAlN薄膜/音響多層膜構造の共振子を用いたUHF帯における液体粘性評価」
山川愉生, 五月女巧, 唐澤嶺, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 229, US2018-53, pp. 25-29 (2018). 118 ( 229 ) 25 - 29 2018年
「基板付き薄膜共振子からの新規kt2評価法と従来法の比較 〜 共振周波数比法、変換損失法、共振スペクトル法、共振反共振法 〜」
戸塚誠, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 48, pp. 19-24 (2018). 118 ( 48 ) 19 - 24 2018年
「分極反転PZT/PTOエピ膜を用いた周波数スイッチナブルなGHz帯共振子」
清水貴博, 森剛志, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 229, US2018-53, pp. 13-18 (2018). 118 ( 229 ) 13 - 18 2018年
「製法の異なるScAl合金スパッタターゲットから発生する負イオンがScAlN薄膜の特性に及ぼす影響 〜 電子ビーム溶融、アーク溶融、焼結ScAl合金ターゲットの比較 〜」
唐澤嶺, 高柳真司, 遠藤結佳, 今川 誠, 森坂啓介, 鈴木 雄, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 229, US2018-53, pp. 37-42 (2018). 118 ( 229 ) 37 - 42 2018年
「電気機械結合係数kt2=19％のScAlN厚膜を用いた低周波帯80MHzトランスデューサ」
佐野耕平, 唐澤嶺, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告vol. 117, no. 14, US2017-12, pp.59-63, (2017). 117 ( 14 ) 59 - 63 2017年
「コヒーレントフォノン励起を用いたBrillouin散乱法による縦波・横波音速測定の高速化」
川部昌彦, 柳谷隆彦, 柴垣慶明, 高柳真司, 鈴木雅視, 松川真美
電子情報通信学会技術研究報告vol. 117, no. 155, US2017-44, pp. 71-74, (2017). 117 ( 155 ) 71 - 74 2017年
「ScAlN薄膜/低TCF基板構造のすべりモード共振子を用いたMHz帯-GHz帯同時粘性評価」
山川愉生, 佐野耕平, 唐澤嶺, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告vol. 117, no. 155, US2017-42, pp. 61-66, (2017). 117 ( 155 ) 61 - 66 2017年
「GHｚ帯で純横波超音波を高効率励振するc軸平行ZnO薄膜トランスデューサ」
森剛志, 鈴木雅視, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告vol. 116, no. 5, US3026-1, pp.7-12, (2016). 116 ( 5 ) 7 - 12 2016年
「ScAlN/ZnO極性反転圧電薄膜を用いた2次モード励振超音波トランデューサ」
森剛志, 鈴木雅視, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告vol. 116, no. 5, US2016-1, pp.1-6, (2016). 116 ( 5 ) 1 - 6 2016年
「Brillouin光散乱を用いたc軸配向薄膜の音速および常屈折率の同時測定」
富田昇太, 柳谷隆彦, 鈴木雅視, 高柳真司, 松川真美
電子情報通信学会技術研究報告vol. 115, no. 102, pp.23-28, (2015). 115 ( 102 ) 23 - 28 2015年
「低圧RFマグネトロンスパッタ法によるc軸平行配向ZnO膜の形成とSAW、Lamb波デバイスへの応用」
高柳真司, 柳谷隆彦, Jean-Claude Gerbedoen, Abdelkrim Talbi, 松川真美, Philippe Pernod
電子情報通信学会技術研究報告vol. 115, no. 207, pp.25-30, (2015). 115 ( 207 ) 25 - 30 2015年
「c軸平行配向ZnO膜/円管石英構造におけるSH波の多重周回伝搬特性と導電率測定への応用」
日山彰子, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美
電子情報通信学会技術研究報告vol. 115, no. 207, pp.19-24, (2015). 115 ( 207 ) 19 - 24 2015年
「イオンビームアシストRFマグネトロンスパッタ法を用いて作製したc軸平行配向ScAlN薄膜の電気機械結合係数」
岡峰生, 高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美
電子情報通信学会技術研究報告vol. 115, no. 207, pp.31-35, (2015). 115 ( 207 ) 31 - 35 2015年
「共振法およびBrillouin散乱法で測定したScAlN薄膜の弾性定数テンソルのSc濃度依存性」
柳谷隆彦, 市橋隼人, 鈴木雅視, 高柳真司, 松川真美
電子情報通信学会技術研究報告vol. 115, no. 207, pp.37-42, (2015). 115 ( 207 ) 37 - 42 2015年
「走査型非線形誘電率顕微法による極性反転層状構造圧電膜の層厚の定量測定」
趙恩慧, 川部昌彦, 高柳真司, 鈴木雅視, 柳谷隆彦, 松川真美
電子情報通信学会技術研究報告vol. 115, no. 246, pp.27-30, (2015). 115 ( 246 ) 27 - 30 2015年
「超音波により励起される骨中電位の極性について」
常田裕子, 松川沙弥果, 眞野功, 水野勝紀, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美
電子情報通信学会技術研究報告vol. 114, no. 229, pp. 19-22, (2014). 114 ( 229 ) 19 - 22 2014年
「PbTiO3エピタキシャル薄膜を用いた二次モード分極反転共振子」
片田克吉, 柳谷隆彦, 鈴木雅視, 和佐清孝
電子情報通信学会技術研究報告vol. 114, no. 263, pp. 29-34, (2014). 114 ( 263 ) 29 - 34 2014年
「RFマグネトロンスパッタ法における基板へのイオン照射を用いた極性反転ZnO薄膜の作製」
生駒遼, 柳谷隆彦, 高柳真司, 鈴木雅視, 小田川裕之, 松川真美
電子情報通信学会技術研究報告vol. 112, no. 213, pp. 21-25, (2012). 112 ( 213 ) 21 - 25 2012年
「ZnO圧電薄膜によるGHz域の励起フォノンを利用した高速Brillouin散乱測定」
杉本剛士, 佐野広幸, 柳谷隆彦, 高柳真司
電子情報通信学会技術研究報告 vol. 111, no. 158, pp. 15-19, (2011). 111 ( 158 ) 15 - 19 2011年
「IBAD法を用いたc軸平行配向AlN薄膜の作製および極性反転すべり共振子への応用」
鈴木雅視, 菅沼信広, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告vol. 111, no. 215, pp. 43-48 (2011) 111 ( 215 ) 43 - 48 2011年
「c軸平行配向ZnO膜/非晶質基板上を伝搬するSH-SAWの電気機械結合係数」
中東佑太, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
電子情報通信学会技術研究報告vol. 111, no. 215, pp. 23-26 (2011). 111 ( 215 ) 23 - 26 2011年
「c軸傾斜配向ScAlN膜の擬似すべりモードにおける巨大圧電性」
柳谷隆彦, 荒川和樹, 鈴木雅視, 加納一彦, 勅使河原明彦, 秋山守人
電子情報通信学会技術研究報告 vol. 110, no. 213, pp. 81-86, (2010). 110 ( 213 ) 81 - 86 2010年
「ウシ左右大腿骨皮質骨中の特徴的な3次元音速異方性 〜 最大音速方向の骨軸からのずれについて 〜」
中辻知宏, 山本和史, 高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美, 山崎薫
電子情報通信学会技術研究報告vol. 110, no. 213, pp. 63-68, (2010). 110 ( 213 ) 63 - 68 2010年
「Brillouin散乱法による同軸共振器と圧電薄膜を用いた励起フォノンの観測」
佐野広幸, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美
電子情報通信学会技術研究報告vol. 110, no. 213, pp. 99-103, (2010). 110 ( 213 ) 99 - 103 2010年
「RFバイアススパッタ法によるc軸平行配向ZnO薄膜の形成 〜 バイアス周波数が配向性に及ぼす影響〜」
高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
電子情報通信学会技術研究報告vol. 110, no. 213, pp. 75-80, (2010). 110 ( 213 ) 75 - 80 2010年
「牛皮質骨の微細構造とHAp結晶配向が長軸方向縦波音速に与える影響」
矢追佑一郎, 水川裕文, 松川真美, 柳谷隆彦, 山本和史, 大和雄, 山崎薫, 長野昭
電子情報通信学会技術研究報告vol. 107, no. 96, pp. 33-36, (2007) 107 ( 96 ) 33 - 36 2009年
「(11-20)ZnO膜/石英基板構造のSH型SAW伝搬特性」
田中厚志, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
電子情報通信学会技術研究報告vol. 107, no. 233, pp. 31-36, (2007) 107 ( 233 ) 31 - 36 2009年
「ウシ大腿骨皮質骨中の超音波縦波音速 〜 ハイドロキシアパタイト結晶配向と微細構造の影響 〜」
中辻知宏, 矢追佑一郎, 松川真美, 山本和史, 山崎薫, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告vol. 109, pp. 25-29, (2009) 109 25 - 29 2009年
「c軸傾斜反転配向ZnO多層膜の作製と横波共振子への応用」
守里直希, 高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
電子情報通信学会技術研究報告vol. 109, no. 213, pp. 53-58 (2009) 109 ( 213 ) 53 - 58 2009年
「Brillouin散乱法による圧電半導体の面内方向電気特性評価に関する検討」
柳谷隆彦, 佐野広幸, 松川真美
電子情報通信学会技術研究報告vol. 109, no. 213, pp. 59-64, (2009) 109 ( 213 ) 59 - 64 2009年
「直線状エロージョンマグネトロンスパッタリングによる(11-20)配向ZnO圧電膜の大面積成膜」
川本貴之, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章, 森嘉一, 佐々木昌, 大場正利
電子情報通信学会技術研究報告vol. 109, no. 213, pp. 65-70, (2009) 109 ( 213 ) 65 - 70 2009年
「c軸傾斜配向ZnO膜の作製および厚みすべりモード電気機械結合係数」
松尾卓也, 田中厚志, 松川真美, 渡辺好章, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告vol. 106, no. 250, pp. 19-24, (2006) 106 ( 250 ) 19 - 24 2006年
「ブリユアン散乱法によるGHz域の増幅横波フォノンの観測」
村田茂雄, 川本貴之, 松川真美, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告vol. 106, no. 295, pp. 27-30, (2006) 106 ( 295 ) 27 - 30 2006年
「面内配向ZnO膜の圧電性評価と共振器への応用」
三島夏樹, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
電子情報通信学会技術研究報告vol. 105, no. 312, pp. 7-12, (2005) 105 ( 312 ) 7 - 12 2005年
「牛皮質骨の構造と縦波伝搬速度の異方性について」
松川真美, 水川裕文, 柳谷隆彦, 大和雄, 山崎薫, 長野昭
電子情報通信学会技術研究報告vol. 105, no. 346, pp. 15-18, (2005) 105 ( 346 ) 15 - 18 2005年
「RFマグネトロンスパッタ法により作成した面内配向ZnO圧電薄膜の特性」
野原拓也, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章, 大谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告vol. 104, no. 468, pp. 43-48, (2004) 104 ( 468 ) 43 - 48 2004年
「横波励振を目的とした面内配向ZnO薄膜の開発」
柳谷隆彦, 野原拓也, 松川真美, 渡辺好章, 大谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告vol. 103, no. 340, pp. 31-36, (2003) 103 ( 340 ) 31 - 36 2003年
圧電素子及び圧電変換装置
柳谷隆彦
特許権
Ultrasonic probe and ultrasonic inspection apparatus
S. Oono, K. Sumikawa, T. Takahash, T. Yanagitani
特許権
超音波探触子および超音波検査装置
大野茂, 住川健太, 高橋卓也, 柳谷隆彦
特許権
超音波探触子及び超音波探傷システム
高羅友輔, 柳谷隆彦
特許権
超音波探触子及び超音波探傷システム
高羅友輔, 柳谷隆彦
特許権
Thin film producing method and hexagonal piezoelectric thin film produced thereby
H. Nishio, Y. Mori, Y. Tsurukame, T. Kawamoto, Y. Watanabe, T. Yanagitani
特許権
Thin film producing method
United States Patent, No. US 7951272 B2
Y. Watanabe, T. Yanagitani
特許権
薄膜共振子
特許第5747318号
柳谷隆彦, 鈴木雅視, 渡辺好章
特許権
薄膜製造方法及び前記薄膜製造方法により製造された六方晶系圧電薄膜
特許第5217051号
西尾英俊, 森嘉一, 鶴亀宜崇, 渡辺好章, 柳谷隆彦, 川本貴之
特許権
高次モード薄膜共振器
特許第4784815号
渡辺好章, 柳谷隆彦
特許権
電磁気学
電磁気学演習
物理学演習
物理学実験
プラズマエレクトロニクス
理工学術院 大学院先進理工学研究科
理工学術院総合研究所 兼任研究員
2022年 柳谷隆彦
2021年
高速負イオン発生抑制成膜による希土類添加AIN薄膜の巨大圧電性発現
2018年 唐澤嶺, 遠藤結佳, 清水貴博, 正宗千明, 松田有佳
横波超音波の固有振動数変動による抗原抗体反応の高感度質量計測
2015年 鈴木雅視
極性反転多層構造の圧電薄膜を用いた高分解能超音波プロープの実現
2015年 鈴木雅視
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