柳谷 隆彦 (ヤナギタニ タカヒコ)

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所属

理工学術院 先進理工学部

職名

准教授

ホームページ

http://www.eb.waseda.ac.jp/yanagitani/

兼担 【 表示 / 非表示

  • 理工学術院   大学院先進理工学研究科

学内研究所等 【 表示 / 非表示

  • 2020年
    -
    2022年

    理工学術院総合研究所   兼任研究員

学歴 【 表示 / 非表示

  • 2003年04月
    -
    2006年03月

    同志社大学   工学研究科   電気工学専攻博士後期課程  

  • 2001年04月
    -
    2003年03月

    同志社大学   工学研究科   電気工学専攻博士前期課程  

  • 1997年04月
    -
    2001年03月

    同志社大学   工学部   電子工学科  

学位 【 表示 / 非表示

  • 同志社大学   博士(工学)

経歴 【 表示 / 非表示

  • 2015年04月
    -
    継続中

    早稲田大学理工学術院   先進理工学部 電気・情報生命工学科   准教授

  • 2012年04月
    -
    2014年03月

    名古屋工業大学   機械工学科   助教(任期なし)

  • 2008年05月
    -
    2012年03月

    名古屋工業大学   機械工学科   助教(任期あり)

  • 2007年04月
    -
    2008年04月

    東北大学   日本学術振興会PD

  • 2006年04月
    -
    2007年03月

    産業技術総合研究所   関西産学官連携センター   特別研究員

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所属学協会 【 表示 / 非表示

  •  
     
     

    応用物理学会

 

研究分野 【 表示 / 非表示

  • 応用物理一般

  • 計測工学

  • 結晶工学

  • 応用物性

  • 薄膜、表面界面物性

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研究キーワード 【 表示 / 非表示

  • スパッタリング

  • イオンビーム

  • AlN

  • ZnO

  • SAW

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論文 【 表示 / 非表示

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書籍等出版物 【 表示 / 非表示

  • 次世代医療・ヘルスケア機器のデバイス技術と最新開発事例集

    技術情報協会  2014年05月

  • 次世代医療・ヘルスケア機器のデバイス技術と最新開発事例集

    技術情報協会  2014年05月

  • Acoustic Waves - From Microdevices to Helioseismology Chapter 22 Shear Mode Piezoelectric Thin Film Resonators pp.501-520

    Intech  2011年10月 ISBN: 9789533075723

  • Acoustic Waves - From Microdevices to Helioseismology Chapter 22 Shear Mode Piezoelectric Thin Film Resonators pp.501-520

    Intech  2011年10月 ISBN: 9789533075723

Misc 【 表示 / 非表示

  • AlNとScAlNにおける非線形性に起因するDCバイアス時の周波数シフトおよび格子ひずみの比較

    五月女巧, 柳谷隆彦

    電子情報通信学会技術研究報告   120 ( 222 ) 34 - 39  2020年

  • 低圧スパッタ成膜で増大する負イオン照射がScAlN薄膜の結晶性と圧電性に及ぼす影響

    冨永卓海, 髙柳真司, 柳谷隆彦

    電子情報通信学会技術研究報告   120 ( 222 ) 1 - 6  2020年

  • ZnO薄膜を用いた厚みすべりモード共振子の作製と液体負荷時の周波数特性

    宮田昌哉, 高柳真司, 松川真美, 柳谷隆彦

    電子情報通信学会技術研究報告   119   33 - 37  2019年

  • 擬似すべりモードc軸傾斜配向ScAlN圧電薄膜を用いた複素反射率法による液体試料の粘弾性評価

    天野凌輔, 山川愉生, 柳谷隆彦

    電子情報通信学会技術研究報告   119   19 - 23  2019年

  • 「周波数スイッチナブルフィルタを目指した常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピ膜音響共振子」

    清水貴博, 柳谷隆彦

    電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 48, pp. 29-34 (2018).   118 ( 48 ) 29 - 34  2018年

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産業財産権 【 表示 / 非表示

  • 圧電素子及び圧電変換装置

    柳谷隆彦

    特許権

  • Ultrasonic probe and ultrasonic inspection apparatus

    S. Oono, K. Sumikawa, T. Takahash, T. Yanagitani

    特許権

  • 超音波探触子および超音波検査装置

    大野茂, 住川健太, 高橋卓也, 柳谷隆彦

    特許権

  • 超音波探触子及び超音波探傷システム

    高羅友輔, 柳谷隆彦

    特許権

  • 超音波探触子及び超音波探傷システム

    高羅友輔, 柳谷隆彦

    特許権

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Works(作品等) 【 表示 / 非表示

  • (科研費、研究分担者) 挑戦的萌芽研究

    2012年04月
    -
    継続中

  • (科研費、研究代表者) 若手研究(B)

    2012年04月
    -
    継続中

  • (JST、研究代表者) A-STEP 探索タイプ

    2012年10月
    -
    2013年09月

  • (研究代表者)村田学術振興財団研究助成

    2012年07月
    -
    2013年06月

  • (研究代表者)中部科学技術センター学術奨励研究助成

    2012年07月
    -
    2013年03月

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受賞 【 表示 / 非表示

  • 名古屋工業大学 優秀賞(教員評価)

    2013年11月  

  • 名古屋工業大学 褒賞

    2013年11月  

  • 名古屋工業大学 優秀賞(教員評価)

    2013年11月  

  • 名古屋工業大学 褒賞

    2013年11月  

  • 名古屋工業大学 特別優秀賞(教員評価)

    2013年01月  

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共同研究・競争的資金等の研究課題 【 表示 / 非表示

  • 超音波計測技術

  • Brillouin散乱法を用いたワイドギャップ半導体の電気特性評価

  • 圧電薄膜材料

  • 圧電応用デバイス・センサ

  • イオンビームを用いた薄膜の結晶配向制御

講演・口頭発表等 【 表示 / 非表示

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特定課題研究 【 表示 / 非表示

  • 5G向け高耐圧RFフィルタ応用に向けた分極反転多層構造の圧電薄膜の開発

    2020年  

     概要を見る

    同じ動作周波数の薄膜共振子において、n層の分極反転多層構造の膜厚はn倍となり、耐電圧性を向上できると考えられる。基板をターゲットに対して斜めに配置することで、スパッタされた粒子を基板に対して斜めに入射させて、c軸傾斜したScAlN膜を成長させた。c軸ジグザグ構造は、各層の成膜後に基板を180度回転させることによって得た。4層c軸ジグザグ構造ScAlN薄膜を用いた基板なし(FBAR型)圧電共振子についてネットワークアナライザを用いてSパラメータ測定を行い、4次モードの共振特性を確認した。Masonの等価回路モデルによる計算結果ともよく一致した。

  • 巨大圧電性窒化物の厚膜化による高電圧用圧電アクチュエータの実現

    2019年  

     概要を見る

    計画通り、電子ビーム加熱真空溶解法によるScAl合金スパッタターゲットの合成を行った。ターゲットから飛来する酸素負イオンによって下することが予想されている。ScとAlを合金化すると酸化しにくくなる傾向があることがわかっている。今回、高真空還元雰囲気化で、Sc金属とAl金属を混合溶解させ、ScAl合金スパッタターゲットを作製することに成功した。さらに、。Matlabを用いて電気―機械結合等価回路モデルの構築と分極反転層の圧電薄膜の特性シミュレーションを行った。積層の設計やインピーダンスを含めた挿入損失や整合の特性をシミュレーションすることができた。また、圧電厚膜の電気機械結合係数の新しい評価法および計測系の構築も行っている。

  • 高速負イオン発生抑制成膜による希土類添加AIN薄膜の巨大圧電性発現

    2018年   唐澤嶺, 遠藤結佳, 清水貴博, 正宗千明, 松田有佳

     概要を見る

    本研究では,製法及び不純物含有量の異なるScAl合金ターゲットを用意し,スパッタ成膜時に発生する負イオン照射量及びScAlN薄膜の圧電性へ及ぼす影響を比較した.アーク溶融ターゲット,焼結ターゲット,電子ビーム溶融ターゲットの3種類のScAl合金ターゲットについてスパッタ成膜中の酸素負イオンO-及び窒化炭素負イオンCN-の発生量を計測した.ScAlN薄膜共振子を作製し,電気機械結合係数kt2を推定した結果,アーク溶融ターゲットで20.6%,焼結ターゲットで20.1%,電子ビーム溶融ターゲットで20.3%と,いずれのターゲットを用いても共に先行研究(kt2=18.5%)よりも高い圧電性を示したが,3種類のターゲットに大きな差は見られなかった.

  • 巨大圧電性薄膜を用いた高感度プローブによる高分解能超音波像装置

    2017年  

     概要を見る

    本研究は、超音波映像装置に応用することを目指して、巨大圧電効果を持つ常誘電体薄膜について数十μm以上の厚膜成長させる技術を確立することを目的としている。RFマグネトロンスパッタ法を用いて膜応力を低減することで厚さ43μmのScAlN厚膜トランスデューサの作製に成功した.ScAlN(0002)X線回折ピークのロッキングカーブ半値幅が4.4ºであり良好な配向性を示した。ネットワークアナライザで縦波変換損失を測定した結果、共振周波数が81MHzのときの電気機械結合係数ktは0.43とPZT系に匹敵する値であった.現在、広く実用化されているPVDF高分子膜と比べるとktがはるかに大きいこと示された。

  • 横波超音波の固有振動数変動による抗原抗体反応の高感度質量計測

    2015年   鈴木雅視

     概要を見る

    圧電薄膜の固有振動数変動を用いた高感度質量計測センサについて研究を行った。センサの面積を大きくすれば、それに比例して雑音(共振ピークの雑音)を小さくしていくことができ、測定感度を高くすることができると考えられる。しかし、50Ω計測系と整合させるにはセンサのキャパシタンスが定まり、おのずと電極面積が決定される。(膜厚は共振周波数で決定)。本研究では、イオンビームスパッタ法を用いて、酸素イオンビームの照射法を反転させることにより、極性が互いに反転したZnO圧電薄膜を積層成長する技術を開発した。作製した薄膜は高い横波圧電効果を有していることも確認した。これにより、共振周波数を維持したまま膜厚を反転層数倍させ、50Ω整合したままセンサ面積を反転層数倍させたセンサの作製に成功した。

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現在担当している科目 【 表示 / 非表示

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委員歴 【 表示 / 非表示

  • 2014年12月
    -
    継続中

    Scientific Reports (Nature Publishing Group) 編集委員 Scientific Reports (IF:5.078, Nature Publishing Group) 編集委員 (2014年12月-現在)

  • 2014年12月
    -
    継続中

    Scientific Reports (Nature Publishing Group) Editorial Board member Scientific Reports (Nature Publishing Group) Editorial Board member(2014.12-now)

  • 2013年10月
    -
    継続中

    IEEE UFFC ( IUS Technical Program Committee) IEEE IUS Technical Program Committee (Physical Acoustics)(2013年10月-現在)

  • 2013年10月
    -
    継続中

    IEEE UFFC ( IUS Technical Program Committee) IEEE IUS Technical Program Committee (Physical Acoustics)(2013.10-now)

  • 2012年04月
    -
    継続中

    日本音響学会誌査読委員 日本音響学会誌 査読委員(2012年04月-現在)

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