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Faculty of Science and Engineering Graduate School of Advanced Science and Engineering
Details of a Researcher
Updated on 2022/05/19
Faculty of Science and Engineering Graduate School of Advanced Science and Engineering
理工学術院総合研究所 兼任研究員
Doshisha University
Doshisha University
Doshisha University
同志社大学 博士(工学)
Waseda University School of Advanced Science and Engineering Professor
Waseda University Faculty of Science and Engineering
JSTさきがけ研究員(兼任)
Nagoya Institute of Technology
Nagoya Institute of Technology
Tohoku University
産業技術総合研究所 関西産学官連携センター 特別研究員
産業技術総合研究所 ナノテクノロジー部門 日本学術振興会PD
応用物理学会
Applied condensed matter physics
Measurement engineering
Crystal engineering
Applied physical properties
Thin film/surface and interfacial physical properties
Mechanics and mechatronics
Robotics and intelligent system
Electron device and electronic equipment
BAW filter
FBAR
RF-MEMS
ScAlN
スパッタリング
イオンビーム
圧電デバイス
弾性表面波
ZnO
SAW
センサ
薄膜
配向制御
Takumi Soutome, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020) 1 - 4 2020.09 [Refereed]
Sarina Kinoshita, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020) 1 - 4 2020.09 [Refereed]
Kota Izumi, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020) 1 - 3 2020.09 [Refereed]
Naoya Iwata, Sarina Kinoshita, Junjun Jia, Masashi Suzuki, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020) 1 - 2 2020.09 [Refereed]
Zig-zag ScAlN multilayer SMR for high power BAW fileter application such as RF base station
Yusuke Sato, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020) 1 - 3 2020.09 [Refereed]
Self-Standing FBAR Transformer based on Shear Mode Zig-zag ScAlN Multilayer for Rectenna Application
Sarina Kinoshita, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020) 1 - 4 2020.09 [Refereed]
Ryota Tatsumi, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020) 1 - 3 2020.09 [Refereed]
Takumi Tominaga, Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020) 1 - 4 2020.09 [Refereed]
Ryota Tatsumi, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020) 1 - 3 2020.09 [Refereed]
c-Axis oriented ScAlN/SiO2 multilayer BAW transformer for rectifying antenna applications
Kota Izumi, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020) 1 - 4 2020.09 [Refereed]
Takumi Soutome, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020) 1 - 4 2020.09 [Refereed]
Extracting mechanical Q factor of the pure AlN, ScAlN, and ZnO films without etching substrate
Naoya Iwata, Sarina Kinoshita, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020) 1 - 2 2020.09 [Refereed]
Yusuke Sato, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020) 1 - 3 2020.09 [Refereed]
Chiaki Masamune, Takahiko Yanagitani
2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2019) 1127 - 1128 2019.10 [Refereed]
Rui Kihara, Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani
2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2019) 1120 - 1123 2019.10 [Refereed]
Takuya Wakabayashi, Shinji Takayanagi, Mami Matukawa, Yuta Takamura, Takahiko Yanagitani
2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2019) 671 - 674 2019.10 [Refereed]
Takumi Soutome, Takahiko Yanagitani
2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2019) 301 - 304 2019.10 [Refereed]
Sarina Kinoshita, Takahiko Yanagitani
2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2019) 1118 - 1119 2019.10 [Refereed]
A Method for Extracting Mechanical Q Factor of the Piezoelectric Film without Etching Substrate
Sarina Kinoshita, Takahiko Yanagitani
2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) 229 - 300 2019.10 [Refereed]
Takahiro Shimidzu, Takahiko Yanagitani
Journal of Applied Physics 126 ( 11 ) 114104 - 114104 2019.09 [Refereed]
ScAlN圧電薄膜の高品質化に向けたScAl合金スパッタターゲットから発生する負イオンの抑制~電子ビーム溶融、アーク溶融、焼結ScAl合金ターゲットの比較~
柳谷隆彦
真空ジャーナル 11 - 15 2019.09
Takahiro Shimidzu, Takeshi Mori, Takahiko Yanagitani
Applied Physics Letters 114 ( 21 ) 212902 - 212902 2019.05 [Refereed]
Ultrasonically-induced electrical potentials in demineralized bovine cortical bone
Shunki Mori, Taiki Makino, Daisuke Koyama, Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa
AIP Advances 8 ( 4 ) 45007 2018.04 [Refereed]
“Temperature characteristics of ScAlN/SiO2 BAW resonators,”
H.Igeta, M. Totsuka, M. Suzuki, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2018 [Refereed]
“A new method for extracting Qfactor of the piezoelectric film without removing substrate,”
S. Kinoshita, M. Totsuka, R. Karasawa, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2018 [Refereed]
“Investigation of morphotropic phase boundary in sputter-grown Pb(Zrx, Ti1-x)O3 epitaxial films,
R. Noda, T. Shimidzu, K. Wasa, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2018 [Refereed]
“High efficiency ultrasonic transducer using polarity inverted ZnO thin film,”
T. Majima, T. Shimidzu, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2018 [Refereed]
“ScAlN free-standing 0.1mm plates with 30-50 MHz resonance frequency,”
C. Masamune, R. Karasawa, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2018 [Refereed]
“PZT epitaxial thick film for ultrasonic transducer at frequencies below 100MHz,”
Y. Mazuda, T. Shimidzu, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2018 [Refereed]
“The influence of negative ions generation on the arc-melted and hot press sintered ScAlN alloy targets to the crystalline orientation and kt2 of the ScAlN films,”
Y. Endo, R. Karasawa, S. Takayanagi, M.Imakawa, K. Morisaka, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2018 [Refereed]
“c-axis tilted ScAlN film shear mode resonators for biosensing,”
H. Yazaki, T. Sotome, S. Takayanagi, K. Yoshida, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2018 [Refereed]
“Evaluation of viscoelactic properties of liquids based on the oblique incidence technology using shear horizontal waves at frequencies above 100 megahertz from c-axis tilted ScAlN thin films,”
Y. Yamakawa, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2018 [Refereed]
“Extraction of electromechanical coupling coefficient of film / substrate structure by using the ration of a third mode resonant frequency to a fundamental mode resonant frequency,”
M. Totsuka, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2018 [Refereed]
“DC-induced piezoelectric cubic PMN-PT/piezoelectric tetragonal PZT epitaxial stack polarity inverted resonators for frequency switchable filters,”
T. Shimidzu, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2018 [Refereed]
“Polarity inverted ScAlN multilayer for application to transformer in rectifying antenna,”
R. Karasawa, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2018 [Refereed]
“Rapid wave velocity measurement by Brillouin scattering using coherent phonons induced by ScAlN piezoelectric thin-film transducer,”
M. Kawabe, S. Takayanagi, H, Ichihashi, M. Suzuki, T. Yanagitani, M. Matsukawa
IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq.Contr. 2018 [Refereed]
"ScAlN thick film ultrasonic transducer in 40 MHz ?80 MHz,”
K-H. Sano, R. Karasawa, T. Yanagitani
IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq.Contr. 2018 [Refereed]
Effect of anisotropy on stress-induced electrical potentials in bovine bone using ultrasound irradiation
S. Matsukawa, T. Makino, S. Mori, D. Koyama, S. Takayanagi, K. Mizuno, T. Yanagitani, M. Matsukawa
APPLIED PHYSICS LETTERS 110 ( 14 ) 143701 2017.04 [Refereed]
“Effects of microstructure and water on the electrical potentials in bone induced by ultrasound irradiation,”
S. Tomita, T. Yanagitani, S. Takayanagi, H. Ichihashi, Y. Shibagaki, H. Hayashi, M. Matsukawa
J. Appl. Phys.? 121 235102 2017 [Refereed]
“Quantitative thickness measurement of polarity-inverted piezoelectric thin-film layer by scanning nonlinear dielectric microscopy,”
H. Odagawa, K. Terada, Y. Tanaka, H. Nishikawa, T. Yanagitani, Y. Cho
Jpn. J. Appl. Phys. 56 10PF18 2017 [Refereed]
Acoustic-Wave Velocities and Refractive Indices in an m-Plane GaN Single-Crystal Plate and c-Axis-Oriented ScAlN Films Measured by Brillouin Scattering Techniques
Hayato Ichihashi, Takahiko Yanagitani, Masashi Suzuki, Shinji Takayanagi, Masahiko Kawabe, Shota Tomita, Mami Matsukawa
IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL 63 ( 5 ) 717 - 725 2016.05 [Refereed]
「Al極性ScAlNとO極性ZnO薄膜を用いた多層構造の高効率超音波トランスデューサ」
森剛志, 柳谷隆彦
超音波テクノ(日本工業出版) 29 84 - 87 2016
Method for measuring polarity-inverted layered structure in dielectric thin films using scanning nonlinear dielectric microscopy
Hiroyuki Odagawa, Koshiro Terada, Hiroaki Nishikawa, Takahiko Yanagitani, Yasuo Cho
FERROELECTRICS 498 ( 1 ) 47 - 51 2016 [Refereed]
High-T-c/high-coupling relaxed PZT-based single crystal thin films
K. Wasa, T. Matsushima, H. Adachi, T. Matsunaga, T. Yanagitani, T. Yamamoto
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 117 ( 12 ) 124106 2015.03 [Refereed]
Effects of microstructure and water on the electrical potentials in bone induced by ultrasound irradiation
H. Tsuneda, S. Matsukawa, S. Takayanagi, K. Mizuno, T. Yanagitani, M. Matsukawa
APPLIED PHYSICS LETTERS 106 ( 7 ) 73704 2015.02 [Refereed]
High Tc/high coupling perovskite thin films
K. Wasa, T. Matsushima, H. Adachi, T. Matsunaga, T. Yanagitani, T. Yamamoto
2014 Joint IEEE International Symposium on the Applications of Ferroelectric, International Workshop on Acoustic Transduction Materials and Devices and Workshop on Piezoresponse Force Microscopy, ISAF/IWATMD/PFM 2014 1 - 4 2014.10 [Refereed]
Electromechanical coupling and gigahertz elastic properties of ScAlN films near phase boundary
Takahiko Yanagitani, Masashi Suzuki
APPLIED PHYSICS LETTERS 105 ( 12 ) 122907 2014.09 [Refereed]
Gigahertz Acoustic Wave Velocity Measurement in GaN Single Crystals Considering Acousto-Electric Effect
Hayato Ichihashi, Takahiko Yanagitani, Shinji Takayanagi, Masahiko Kawabe, Mami Matsukawa
IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL 61 ( 8 ) 1307 - 1313 2014.08 [Refereed]
Polarity-inverted ScAlN film growth by ion beam irradiation and application to overtone acoustic wave (000-1)/(0001) film resonators
Masashi Suzuki, Takahiko Yanagitani, Hiroyuki Odagawa
APPLIED PHYSICS LETTERS 104 ( 17 ) 172905-1 - 172905-4 2014.04 [Refereed]
Enhanced piezoelectricity in YbGaN films near phase boundary
Takahiko Yanagitani, Masashi Suzuki
APPLIED PHYSICS LETTERS 104 ( 8 ) 082911-1 - 082911-4 2014.02 [Refereed]
“Second harmonic mode polarization inverted resonator consisting of PbTiO3 thin film,”
K. Katada, T. Yanagitani, M, Suzuki, K. Wasa
Proc. IEEE Freq. Contr. Symp. 119 - 120 2014 [Refereed]
“High electromechanical coupling in PZT epitaxial thick film resonators at 550 oC,”
T. Yanagitani, K. Katada, M, Suzuki, K. Wasa
Proc. IEEE Freq. Contr. Symp. 121 - 123 2014 [Refereed]
Effect of Sc concentration on shear wave velocities in ScAlN films measured by micro-Brillouin scattering technique
Hayato Ichihashi, Takahiko Yanagitani, Masashi Suzuki, Shinji Takayanagi, Mami Matsukawa
2014 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS) 2521 - 2524 2014 [Refereed]
Multiple shear wave roundtrips liquid sensor by c-axis parallel oriented ZnO film/silica glass pipe structure
Shoko Hiyama, Takahiko Yanagitani, Shinji Takayanagi, Yoshiya Kato, Mami Matsukawa
2014 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS) 765 - 768 2014 [Refereed]
Significant shear mode softening in a c-axis tilt nanostructured hexagonal thin film induced by a self-shadowing effect
T. Yanagitani, M. Suzuki
SCRIPTA MATERIALIA 69 ( 10 ) 724 - 727 2013.11 [Refereed]
Electrical potentials in bone induced by ultrasound irradiation in the megahertz range
M. Okino, S. Coutelou, K. Mizuno, T. Yanagitani, M. Matsukawa
APPLIED PHYSICS LETTERS 103 ( 10 ) 103701-1 - 103701-4 2013.09 [Refereed]
A method for predicting thickness of the unoriented layer in ZnO film using piezoelectricity distribution in depth direction
S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa
JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS 46 ( 31 ) 315305-1 - 315305-5 2013.08 [Refereed]
PZT-based high coupling with low permittivity thin films
Kiyotaka Wasa, Tomoaki Matsushima, Hideaki Adachi, Toshifumi Matsunaga, Masashi Suzuki, Takahiko Yanagitani, Takashi Yamamoto, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka, S. Trolier-Mckinstry
2013 Joint IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectric and Workshop on Piezoresponse Force Microscopy, ISAF/PFM 2013 69 - 72 2013 [Refereed]
Effect of metal mode and oxide mode on unusual c-axis parallel oriented ZnO film growth on Al/glass substrate in a reactive magnetron sputtering of Zn target
Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa
Journal of Crystal Growth 363 22 - 24 2013 [Refereed]
High-performance brillouin spectroscopy of phonons induced by a piezoelectric thin film with a coaxial microwave resonator
Hiroyuki Sano, Takahiko Yanagitani, Shinji Takayanagi, Takeshi Sugimoto, Mami Matsukawa
IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control 60 ( 5 ) 873 - 876 2013 [Refereed]
Unusual growth of polycrystalline oxide film induced by negative ion bombardment in the capacitively coupled plasma deposition
S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa
APPLIED PHYSICS LETTERS 101 ( 23 ) 232902-1 - 232902-3 2012.12 [Refereed]
Wideband Multimode Transducer Consisting of c-Axis Tilted ZnO/c-Axis Normal ZnO Multilayer
Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 51 ( 7 ) 07GC08 2012.07 [Refereed]
Relationships between the anisotropy of longitudinal wave velocity and hydroxyapatite crystallite orientation in bovine cortical bone
Kazufumi Yamamoto, Tomohiro Nakatsuji, Yuichiro Yaoi, Yu Yamato, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa, Kaoru Yamazaki, Yukihiro Matsuyama
ULTRASONICS 52 ( 3 ) 377 - 386 2012.03 [Refereed]
Fast hypersonic velocity measurement by Brillouin scattering from induced phonons
Takeshi Sugimoto, Takahiko Yanagitani, Shinji Takayanagi, Mami Matsukawa
2012 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS) 2187 - 2190 2012 [Refereed]
“Polarization inverted (0001) / (000-1) ScAlN film resonators operating in second overtone mode,”
M. Suzuki, T. Yanagitani, H. Odagawa
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1922 - 1924 2012 [Refereed]
Texture modification of wurtzite piezoelectric films by ion beam irradiation
Takahiko Yanagitani, Masato Kiuchi
SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY 206 ( 5 ) 816 - 819 2011.11 [Refereed]
Three-Dimensional Anisotropy of Ultrasonic Wave Velocity in Bovine Cortical Bone: Effects of Hydroxyapatite Crystallites Orientation and Microstructure
Tomohiro Nakatsuji, Kazufumi Yamamoto, Daisuke Suga, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa, Kaoru Yamazaki, Yukihiro Matsuyama
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 50 ( 7 ) 07HF18-1 - 07HF18-6 2011.07 [Refereed]
Observation of Induced Longitudinal and Shear Acoustic Phonons by Brillouin Scattering
Taisuke Yoshida, Mami Matsukawa, Takahiko Yanagitani
IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL 58 ( 6 ) 1255 - 1260 2011.06 [Refereed]
c-Axis Zig-Zag ZnO Film Ultrasonic Transducers for Designing Longitudinal and Shear Wave Resonant Frequencies and Modes
Takahiko Yanagitani, Naoki Morisato, Shinji Takayanagi, Mami Matsukawa, Yoshiaki Watanabe
IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL 58 ( 5 ) 1062 - 1068 2011.05 [Refereed]
「RFバイアススパッタ法による簡便なc軸平行配向ZnO膜の形成--RFバイアスを用いたイオン照射による結晶配向制御」
高柳 真司, 松川真美, 渡辺好章, 柳谷隆彦
超音波テクノ(日本工業出版) 22 59 - 62 2011
「c軸平行配向AlN薄膜を用いた極性反転すべり共振子」
鈴木雅視, 柳谷隆彦
超音波テクノ(日本工業出版) 23 40 - 44 2011
Quantitative analysis of the effect of energetic particle bombardment during deposition on (11(2)over-bar0) texture formation in ZnO films
Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa, Yoshiaki Watanabe
2011 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS) 2317 - 2320 2011 [Refereed]
Brillouin scattering from induced phonons excited by the ZnO piezoelectric thin film with a coaxial resonator
Takeshi Sugimoto, Hiroyuki Sano, Takahiko Yanagitani, Shinji Takayanagi, Mami Matsukawa
2011 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS) 1099 - 1102 2011 [Refereed]
C-axis parallel oriented ZnO film SH-SAW sensor for electrical conductivity measurement in liquid
Yuta Nakahigashi, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa, Watanabe Yoshiaki
2011 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS) 810 - 813 2011 [Refereed]
Polarization-inverted multilayered pure shear mode AlN film resonator
Masashi Suzuki, Takahiko Yanagitani
2011 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS) 312 - 315 2011 [Refereed]
C-axis parallel oriented AlN film resonator fabricated by ion-beam assisted RF magnetron sputtering
Masashi Suzuki, Takahiko Yanagitani
2011 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS) 1230 - 1233 2011 [Refereed]
A method for measuring in-plane unidirectional electrical properties in a wide band-gap semiconductor using a Brillouin scattering method
Takahiko Yanagitani, Hiroyuki Sano, Mami Matsukawa
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 108 ( 2 ) 024910-1 - 024910-4 2010.07 [Refereed]
「(11-20)配向AlN薄膜を用いた純横波モード共振子」
柳谷隆彦, 木内正人, 松川真美
超音波テクノ(日本工業出版) 22 46 - 49 2010
「c軸傾斜反転配向ZnO多層膜の作製」
守里直希, 高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
超音波テクノ(日本工業出版) 22 60 - 65 2010
“A simple technique for obtaining (11-20) or (10-10)textured ZnO films by RF bias sputtering”
S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1060 - 1063 2010 [Refereed]
Deposition techniques of c-axis-tilted ScAlN films by conventional RF magnetron sputtering
Kazuki Arakawa, Takahiko Yanagitani, Kazuhiko Kano, Akihiko Teshigahara, Morito Akiyama
Proceedings - IEEE Ultrasonics Symposium 1050 - 1053 2010 [Refereed]
Influence of shadowing effect on shear mode acoustic properties in the c-axis tilted AlN films
Masashi Suzuki, Takahiko Yanagitani
Proceedings - IEEE Ultrasonics Symposium 1478 - 1481 2010 [Refereed]
Giant shear mode electromechanical coupling coefficient k15 in c-axis tilted ScAlN films
Takahiko Yanagitani, Kazuki Arakawa, Kazuhiko Kano, Akihiko Teshigahara, Morito Akiyama
Proceedings - IEEE Ultrasonics Symposium 2095 - 2098 2010 [Refereed]
Large-Area Growth of In-Plane Oriented (11(2)over-bar0) ZnO Films by Linear Cathode Magnetron Sputtering
Takayuki Kawamoto, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa, Yoshiaki Watanabe, Yoshikazu Mori, Sho Sasaki, Masatoshi Oba
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 49 ( 7 ) 07HD16-1 - 07HD16-4 2010 [Refereed]
Anisotropy of Longitudinal Wave Velocity and Hydroxyapatite Orientation in Bovine Cortical Bone
Yuichiro Yaoi, Kazufumi Yamamoto, Tomohiro Nakatsuji, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa, Kaoru Yamazaki, Akira Nagano
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 48 ( 7 ) 07GK06-1 - 07GK06-4 2009.07 [Refereed]
「Brillouin散乱法による圧電半導体の面内方向抵抗率評価に関する検討」
柳谷隆彦, 吉田泰祐, 佐野 広幸, 松川真美
超音波テクノ(日本工業出版) 21 35 - 38 2009
Multilayered shear wave resonator consisting of c-axis tilted ZnO films
Naoki Morisato, Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa, Yoshiaki Watanabe
Proceedings - IEEE Ultrasonics Symposium 2162 - 2165 2009 [Refereed]
Measurement of electric properties in a ZnO single crystal via electromechanical coupling using Brillouin scattering method
Takahiko Yanagitani, Hiroyuki Sano, Mami Matsukawa
Proceedings - IEEE Ultrasonics Symposium 1074 - 1077 2009 [Refereed]
Distribution of longitudinal wave velocity and hydroxyapatite crystallite orientation in bovine cortical bone
Yuichiro Yaoi, Kazufumi Yamamoto, Yu Yamato, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa, Kaoru Yamazaki, Akira Nagano
Acoustical Science and Technology 30 ( 4 ) 306 - 309 2009 [Refereed]
Propagation Characteristics of Shear Horizontal Surface Acoustic Waves in (11(2)over-bar0) ZnO Film/Silica Glass Substrate Structures
Atsushi Tanaka, Takahiko Yanagitani, Marni Matsukawa, Yoshiak Watanabe
IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL 55 ( 12 ) 2709 - 2713 2008.12 [Refereed]
Distribution of hydroxyapatite crystallite orientation and ultrasonic wave velocity in ring-shaped cortical bone of bovine femur
Yu Yamato, Mami Matsukawa, Hirofumi Mizukawa, Takahiko Yanagitani, Kaoru Yamazaki, Akira Nagano
IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL 55 ( 6 ) 1298 - 1303 2008.06 [Refereed]
Ultrasonic Wave Properties in Bone Axis Direction of Bovine Cortical Bone
Kazufumi Yamamoto, Yuichiro Yaoi, Yu Yamato, Takahiko Yanagitan, Mami Matsukawa, Kaoru Yamazaki
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 47 ( 5 ) 4096 - 4100 2008.05 [Refereed]
「c軸傾斜配向ZnO膜の開発〜高い横波変換効率の実現〜」
松尾卓也, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
超音波テクノ(日本工業出版) 20 75 - 78 2008
「イオン照射によるZnO圧電膜の配向制御に関する検討」
柳谷隆彦, 木内正人
超音波テクノ(日本工業出版) 20 67 - 70 2008
Pure-shear mode BAW resonators consisting of (11-20) textured ZnO films,”
T. Yanagitani, M. Kiuch, M. Matsukawa, Y. Watanabe
Acoustics 08 Paris 4987 - 4992 2008 [Refereed]
“Electromechanical coupling coefficient of semiconducting hexagonal crystal measured by Brillouin scattering,”
T. Yanagitani, Y. Yoshida, M. Matsukawa
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1487 - 1490 2008 [Refereed]
Pure-shear mode BAW resonator consisting of (112̄0) textured AlN films
Takahiko Yanagitani, Masato Kiuch
Proceedings - IEEE Ultrasonics Symposium 90 - 93 2008 [Refereed]
“Effect of hydroxyapatite crystallites orientation on ultrasonic wave velocities in bovine cortical bone,”
Y. Yamato, M. Matsukawa, K. Yamazaki, H. Mizukawa, T. Yanagitani, A. Nagano
Calcif. Tissue. Int. 82 ( 2 ) 162 - 169 2008 [Refereed]
Highly oriented ZnO thin films deposited by grazing ion-beam sputtering: Application to acoustic shear wave excitation in the GHz range
Takahiko Yanagitani, Masato Muchi
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS 46 ( 45-49 ) L1167 - L1169 2007.12 [Refereed]
Characteristics of pure-shear mode BAW resonators consisting of (11(2)over-bar0) textured ZnO films
Takahiko Yanagitani, Masato Kiuchi, Mami Matsukawa, Yoshiaki Watanabe
IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL 54 ( 8 ) 1680 - 1686 2007.08 [Refereed]
Control of in-plane and out-of-plane texture in shear mode piezoelectric ZnO films by ion-beam irradiation
Takahiko Yanagitani, Masato Kiuchi
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 102 ( 4 ) 044115-1 - 044115-7 2007.08 [Refereed]
Observation of induced shear acoustic phonons by brillouin scattering
Shigeo Murata, Takayuki Kawamoto, Mami Matsukawa, Takahiko Yanagitani, Norikazu Ohtor
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS 46 ( 7B ) 4626 - 4628 2007.07 [Refereed]
Effects of sputtering gas conditions on formation of (11(2)over-bar0) textured ZnO films
Takayuki Kawamoto, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa, Yoshiaki Watanabe
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS 46 ( 7B ) 4660 - 4664 2007.07 [Refereed]
Shear mode electromechanical coupling coefficient k(15) and crystallites alignment of (11(2)over-bar0) textured ZnO films
Takahiko Yanagitani, Masato Kiuchi, Mami Matsukawa, Yoshiaki Watanabe
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 102 ( 2 ) 024110-1 - 024110-7 2007.07 [Refereed]
Electromechanical coupling coefficient k(15) of polycrystalline ZnO films with the c-axes lie in the substrate plane
Takahiko Yanagitani, Natsuki Mishima, Mami Matsukawa, Yoshiaki Watanabe
IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL 54 ( 4 ) 701 - 704 2007.04 [Refereed]
「面内配向ZnO膜のSH型SAW伝搬特性」
田中厚志, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
超音波テクノ(日本工業出版) 19 2007
Propagation characteristics of SH-SAW in (11(2)over-bar0) ZnO layer/silica glass substrate structures
Atsushi Tanaka, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa, Watanabe Yoshiaki
2007 IEEE ULTRASONICS SYMPOSIUM PROCEEDINGS, VOLS 1-6 280 - + 2007 [Refereed]
Highly oriented c-axis 23° tilted ZnO films with high quasi-shear mode electromechanical coupling coefficients
Takuya Matsuo, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa, Yoshiaki Watanabe
Proceedings - IEEE Ultrasonics Symposium 1229 - 1232 2007 [Refereed]
Ion beam sputter-deposited ZnO thin film for broadband shear wave excitation in the GHz range
Takahiko Yanagitani, Masato Much
2007 IEEE ULTRASONICS SYMPOSIUM PROCEEDINGS, VOLS 1-6 1413 - + 2007 [Refereed]
Thin film stack transducer for simultaneous generation of longitudinal and shear waves at same frequency
Takahiko Yanagitani, Takuya Matsuo, Mami Matsukawa, Watanabe Yoshiaki
2007 IEEE ULTRASONICS SYMPOSIUM PROCEEDINGS, VOLS 1-6 1874 - + 2007 [Refereed]
“Film growth of c-axis tilted ScAlN on the sapphire substrate for SAW devices,”
S. Tokuda, S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1 - 4 2007 [Refereed]
“The frequency wwitchable multi-layered BST/BaTiO3 epitaxial film resonator,”
S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1 - 4 2007 [Refereed]
“High electromechanical coefficient kt 2=19% thick ScAlN piezoelectric films for ultrasonic transducer in low frequency of 80 MHz,”
K-h. Sano, R. Karasawa, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1 - 4 2007 [Refereed]
“A new type wide-frequency-range shear viscosity sensor using caxis tilted ScAlN thin film on temperature Stable AT-cut quartz thick plate,”
Y. Yamakawa, K-h. Sano, R. Karasawa, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1 - 4 2007 [Refereed]
“C-axis zig-zag polarization inverted ScAlN multilayer for FBAR transformer rectifying antenna,”
R. Karasawa, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1 - 4 2007 [Refereed]
Temperature characteristics of pure shear mode FBARs consisting of (112̄0) textured ZnO films
Takahiko Yanagitani, Masato Kiuchi, Mami Matsukawa, Yoshiaki Watanabe
Proceedings - IEEE Ultrasonics Symposium 1 1459 - 1462 2006 [Refereed]
“Electromechanical coupling coefficient k15 and crystallites alignment of (11-20) textured ZnO film,”
T. Yanagitani, M. Kiuchi, M. Matsukawa, Y. Watanabe
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1463 - 1466 2006 [Refereed]
“Rapid and simultaneous measurement of longitudinal and shear wave velocities by Brillouin scattering from artificially induced phonons,”
M. Kawabe, Y. Shibagaki, M. Matsukawa, T. Yanagitani, M. Suzuki, S .Takayanagi
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1 - 4 2006 [Refereed]
“Effects of energetic negative ions generated from sputtering targets on ScAlN film growth,”
S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1 - 4 2006 [Refereed]
Effect of sputtering geometry on (112̄0) textured ZnO piezofilm
Yoshinori Miyamoto, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa, Yoshiaki Watanabe
Acoustical Science and Technology 27 ( 1 ) 53 - 55 2006 [Refereed]
“Conversion characteristics of the shear wave transducer made of unidirectionally aligned ZnO film in plane,”
T. Nohara, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe
Jpn. J. Appl. Phys. 45 4201 - 4203 2006 [Refereed]
Characteristics of (10(1)over-bar1) and (11(2)over-bar0) textured ZnO piezofilms for a shear mode resonator in the VHF-UHF frequency ranges
T Yanagitani, T Nohara, M Matsukawa, Y Watanabe, T Otani
IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL 52 ( 11 ) 2140 - 2145 2005.11 [Refereed]
Formation of uniaxially (1120) textured ZnO films on glass substrates
T Yanagitani, M Matsukawa, Y Watanabe, T Otani
JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH 276 ( 3-4 ) 424 - 430 2005.04 [Refereed]
Electromechanical coupling coefficient k(15) of (11(2)over-bar0) textured ZnO films
T Yanagitani, N Mishima, M Matsukawa, Y Watanabe
2005 IEEE Ultrasonics Symposium, Vols 1-4 1824 - 1827 2005 [Refereed]
“Fast wave velocity measurement by Brillouin scattering using coherent induced phonon from ScAlN piezoelectric thin film,”
M. Kawabe, H. Ichihashi, S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2005 [Refereed]
“Shear mode properties of c-axis parallel oriented ScxAl1-xN films grown by RF bias sputtering,”
S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2005 [Refereed]
Characterization of (1120) textured ZnO films fabricated by RF magnetron sputtering
T Yanagitani, S Tomohiro, T Nohara, M Matsukawa, Y Watanabe, T Otani
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS 43 ( 5B ) 3004 - 3007 2004.05 [Refereed]
“Shear wave transducer using (11-20) textured ZnO film,”
T. Yanagitani, T. Nohara, M. Matsukawa, Y. Watanabe, T. Otani
Proc. IEEE Ultrason. Symp. 906 - 909 2004 [Refereed]
次世代医療・ヘルスケア機器のデバイス技術と最新開発事例集
技術情報協会 2014.05
次世代医療・ヘルスケア機器のデバイス技術と最新開発事例集
技術情報協会 2014.05
Acoustic Waves - From Microdevices to Helioseismology Chapter 22 Shear Mode Piezoelectric Thin Film Resonators pp.501-520
Intech 2011.10 ISBN: 9789533075723
AlNとScAlNにおける非線形性に起因するDCバイアス時の周波数シフトおよび格子ひずみの比較
五月女巧, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告 120 ( 222 ) 34 - 39 2020
低圧スパッタ成膜で増大する負イオン照射がScAlN薄膜の結晶性と圧電性に及ぼす影響
冨永卓海, 髙柳真司, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告 120 ( 222 ) 1 - 6 2020
ZnO薄膜を用いた厚みすべりモード共振子の作製と液体負荷時の周波数特性
宮田昌哉, 高柳真司, 松川真美, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告 119 33 - 37 2019
擬似すべりモードc軸傾斜配向ScAlN圧電薄膜を用いた複素反射率法による液体試料の粘弾性評価
天野凌輔, 山川愉生, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告 119 19 - 23 2019
「周波数スイッチナブルフィルタを目指した常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピ膜音響共振子」
清水貴博, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 48, pp. 29-34 (2018). 118 ( 48 ) 29 - 34 2018
「レクテナ昇圧素子への応用を目指したc軸ジグザグ配向ScAlN多層圧電薄膜共振子」
唐澤嶺, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 48, pp. 23-27 (2018). 118 ( 48 ) 23 - 27 2018 [Refereed]
「c軸傾斜配向厚みすべりモードScAlN薄膜共振子を用いた液体中生体分子相互作用の検出」
矢崎花, 五月女巧, 唐澤嶺, 高柳真司, 吉田憲司, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 229, US2018-53, pp. 31-35 (2018). 118 ( 229 ) 31 - 35 2018 [Refereed]
「c軸傾斜配向ScAlN薄膜/音響多層膜構造の共振子を用いたUHF帯における液体粘性評価」
山川愉生, 五月女巧, 唐澤嶺, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 229, US2018-53, pp. 25-29 (2018). 118 ( 229 ) 25 - 29 2018 [Refereed]
「基板付き薄膜共振子からの新規kt2評価法と従来法の比較 〜 共振周波数比法、変換損失法、共振スペクトル法、共振反共振法 〜」
戸塚誠, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 48, pp. 19-24 (2018). 118 ( 48 ) 19 - 24 2018 [Refereed]
「分極反転PZT/PTOエピ膜を用いた周波数スイッチナブルなGHz帯共振子」
清水貴博, 森剛志, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 229, US2018-53, pp. 13-18 (2018). 118 ( 229 ) 13 - 18 2018 [Refereed]
「製法の異なるScAl合金スパッタターゲットから発生する負イオンがScAlN薄膜の特性に及ぼす影響 〜 電子ビーム溶融、アーク溶融、焼結ScAl合金ターゲットの比較 〜」
唐澤嶺, 高柳真司, 遠藤結佳, 今川 誠, 森坂啓介, 鈴木 雄, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 229, US2018-53, pp. 37-42 (2018). 118 ( 229 ) 37 - 42 2018 [Refereed]
「電気機械結合係数kt2=19%のScAlN厚膜を用いた低周波帯80MHzトランスデューサ」
佐野耕平, 唐澤嶺, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告vol. 117, no. 14, US2017-12, pp.59-63, (2017). 117 ( 14 ) 59 - 63 2017 [Refereed]
「コヒーレントフォノン励起を用いたBrillouin散乱法による縦波・横波音速測定の高速化」
川部昌彦, 柳谷隆彦, 柴垣慶明, 高柳真司, 鈴木雅視, 松川真美
電子情報通信学会技術研究報告vol. 117, no. 155, US2017-44, pp. 71-74, (2017). 117 ( 155 ) 71 - 74 2017 [Refereed]
「ScAlN薄膜/低TCF基板構造のすべりモード共振子を用いたMHz帯-GHz帯同時粘性評価」
山川愉生, 佐野耕平, 唐澤嶺, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告vol. 117, no. 155, US2017-42, pp. 61-66, (2017). 117 ( 155 ) 61 - 66 2017 [Refereed]
「GHz帯で純横波超音波を高効率励振するc軸平行ZnO薄膜トランスデューサ」
森剛志, 鈴木雅視, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告vol. 116, no. 5, US3026-1, pp.7-12, (2016). 116 ( 5 ) 7 - 12 2016 [Refereed]
「ScAlN/ZnO極性反転圧電薄膜を用いた2次モード励振超音波トランデューサ」
森剛志, 鈴木雅視, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告vol. 116, no. 5, US2016-1, pp.1-6, (2016). 116 ( 5 ) 1 - 6 2016 [Refereed]
「Brillouin光散乱を用いたc軸配向薄膜の音速および常屈折率の同時測定」
富田昇太, 柳谷隆彦, 鈴木雅視, 高柳真司, 松川真美
電子情報通信学会技術研究報告vol. 115, no. 102, pp.23-28, (2015). 115 ( 102 ) 23 - 28 2015 [Refereed]
「低圧RFマグネトロンスパッタ法によるc軸平行配向ZnO膜の形成とSAW、Lamb波デバイスへの応用」
高柳真司, 柳谷隆彦, Jean-Claude Gerbedoen, Abdelkrim Talbi, 松川真美, Philippe Pernod
電子情報通信学会技術研究報告vol. 115, no. 207, pp.25-30, (2015). 115 ( 207 ) 25 - 30 2015 [Refereed]
「c軸平行配向ZnO膜/円管石英構造におけるSH波の多重周回伝搬特性と導電率測定への応用」
日山彰子, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美
電子情報通信学会技術研究報告vol. 115, no. 207, pp.19-24, (2015). 115 ( 207 ) 19 - 24 2015 [Refereed]
「イオンビームアシストRFマグネトロンスパッタ法を用いて作製したc軸平行配向ScAlN薄膜の電気機械結合係数」
岡峰生, 高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美
電子情報通信学会技術研究報告vol. 115, no. 207, pp.31-35, (2015). 115 ( 207 ) 31 - 35 2015 [Refereed]
「共振法およびBrillouin散乱法で測定したScAlN薄膜の弾性定数テンソルのSc濃度依存性」
柳谷隆彦, 市橋隼人, 鈴木雅視, 高柳真司, 松川真美
電子情報通信学会技術研究報告vol. 115, no. 207, pp.37-42, (2015). 115 ( 207 ) 37 - 42 2015 [Refereed]
「走査型非線形誘電率顕微法による極性反転層状構造圧電膜の層厚の定量測定」
趙恩慧, 川部昌彦, 高柳真司, 鈴木雅視, 柳谷隆彦, 松川真美
電子情報通信学会技術研究報告vol. 115, no. 246, pp.27-30, (2015). 115 ( 246 ) 27 - 30 2015 [Refereed]
「超音波により励起される骨中電位の極性について」
常田裕子, 松川沙弥果, 眞野功, 水野勝紀, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美
電子情報通信学会技術研究報告vol. 114, no. 229, pp. 19-22, (2014). 114 ( 229 ) 19 - 22 2014 [Refereed]
「PbTiO3エピタキシャル薄膜を用いた二次モード分極反転共振子」
片田克吉, 柳谷隆彦, 鈴木雅視, 和佐清孝
電子情報通信学会技術研究報告vol. 114, no. 263, pp. 29-34, (2014). 114 ( 263 ) 29 - 34 2014 [Refereed]
「RFマグネトロンスパッタ法における基板へのイオン照射を用いた極性反転ZnO薄膜の作製」
生駒遼, 柳谷隆彦, 高柳真司, 鈴木雅視, 小田川裕之, 松川真美
電子情報通信学会技術研究報告vol. 112, no. 213, pp. 21-25, (2012). 112 ( 213 ) 21 - 25 2012 [Refereed]
「ZnO圧電薄膜によるGHz域の励起フォノンを利用した高速Brillouin散乱測定」
杉本剛士, 佐野広幸, 柳谷隆彦, 高柳真司
電子情報通信学会技術研究報告 vol. 111, no. 158, pp. 15-19, (2011). 111 ( 158 ) 15 - 19 2011 [Refereed]
「IBAD法を用いたc軸平行配向AlN薄膜の作製および極性反転すべり共振子への応用」
鈴木雅視, 菅沼信広, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告vol. 111, no. 215, pp. 43-48 (2011) 111 ( 215 ) 43 - 48 2011 [Refereed]
「c軸平行配向ZnO膜/非晶質基板上を伝搬するSH-SAWの電気機械結合係数」
中東佑太, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
電子情報通信学会技術研究報告vol. 111, no. 215, pp. 23-26 (2011). 111 ( 215 ) 23 - 26 2011 [Refereed]
「c軸傾斜配向ScAlN膜の擬似すべりモードにおける巨大圧電性」
柳谷隆彦, 荒川和樹, 鈴木雅視, 加納一彦, 勅使河原明彦, 秋山守人
電子情報通信学会技術研究報告 vol. 110, no. 213, pp. 81-86, (2010). 110 ( 213 ) 81 - 86 2010 [Refereed]
「ウシ左右大腿骨皮質骨中の特徴的な3次元音速異方性 〜 最大音速方向の骨軸からのずれについて 〜」
中辻知宏, 山本和史, 高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美, 山崎薫
電子情報通信学会技術研究報告vol. 110, no. 213, pp. 63-68, (2010). 110 ( 213 ) 63 - 68 2010 [Refereed]
「Brillouin散乱法による同軸共振器と圧電薄膜を用いた励起フォノンの観測」
佐野広幸, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美
電子情報通信学会技術研究報告vol. 110, no. 213, pp. 99-103, (2010). 110 ( 213 ) 99 - 103 2010 [Refereed]
「RFバイアススパッタ法によるc軸平行配向ZnO薄膜の形成 〜 バイアス周波数が配向性に及ぼす影響〜」
高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
電子情報通信学会技術研究報告vol. 110, no. 213, pp. 75-80, (2010). 110 ( 213 ) 75 - 80 2010 [Refereed]
「牛皮質骨の微細構造とHAp結晶配向が長軸方向縦波音速に与える影響」
矢追佑一郎, 水川裕文, 松川真美, 柳谷隆彦, 山本和史, 大和雄, 山崎薫, 長野昭
電子情報通信学会技術研究報告vol. 107, no. 96, pp. 33-36, (2007) 107 ( 96 ) 33 - 36 2009 [Refereed]
「(11-20)ZnO膜/石英基板構造のSH型SAW伝搬特性」
田中厚志, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
電子情報通信学会技術研究報告vol. 107, no. 233, pp. 31-36, (2007) 107 ( 233 ) 31 - 36 2009 [Refereed]
「ウシ大腿骨皮質骨中の超音波縦波音速 〜 ハイドロキシアパタイト結晶配向と微細構造の影響 〜」
中辻知宏, 矢追佑一郎, 松川真美, 山本和史, 山崎薫, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告vol. 109, pp. 25-29, (2009) 109 25 - 29 2009 [Refereed]
「c軸傾斜反転配向ZnO多層膜の作製と横波共振子への応用」
守里直希, 高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
電子情報通信学会技術研究報告vol. 109, no. 213, pp. 53-58 (2009) 109 ( 213 ) 53 - 58 2009 [Refereed]
「Brillouin散乱法による圧電半導体の面内方向電気特性評価に関する検討」
柳谷隆彦, 佐野広幸, 松川真美
電子情報通信学会技術研究報告vol. 109, no. 213, pp. 59-64, (2009) 109 ( 213 ) 59 - 64 2009 [Refereed]
「直線状エロージョンマグネトロンスパッタリングによる(11-20)配向ZnO圧電膜の大面積成膜」
川本貴之, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章, 森嘉一, 佐々木昌, 大場正利
電子情報通信学会技術研究報告vol. 109, no. 213, pp. 65-70, (2009) 109 ( 213 ) 65 - 70 2009 [Refereed]
「c軸傾斜配向ZnO膜の作製および厚みすべりモード電気機械結合係数」
松尾卓也, 田中厚志, 松川真美, 渡辺好章, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告vol. 106, no. 250, pp. 19-24, (2006) 106 ( 250 ) 19 - 24 2006 [Refereed]
「ブリユアン散乱法によるGHz域の増幅横波フォノンの観測」
村田茂雄, 川本貴之, 松川真美, 柳谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告vol. 106, no. 295, pp. 27-30, (2006) 106 ( 295 ) 27 - 30 2006 [Refereed]
「面内配向ZnO膜の圧電性評価と共振器への応用」
三島夏樹, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
電子情報通信学会技術研究報告vol. 105, no. 312, pp. 7-12, (2005) 105 ( 312 ) 7 - 12 2005 [Refereed]
「牛皮質骨の構造と縦波伝搬速度の異方性について」
松川真美, 水川裕文, 柳谷隆彦, 大和雄, 山崎薫, 長野昭
電子情報通信学会技術研究報告vol. 105, no. 346, pp. 15-18, (2005) 105 ( 346 ) 15 - 18 2005 [Refereed]
「RFマグネトロンスパッタ法により作成した面内配向ZnO圧電薄膜の特性」
野原拓也, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章, 大谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告vol. 104, no. 468, pp. 43-48, (2004) 104 ( 468 ) 43 - 48 2004 [Refereed]
「横波励振を目的とした面内配向ZnO薄膜の開発」
柳谷隆彦, 野原拓也, 松川真美, 渡辺好章, 大谷隆彦
電子情報通信学会技術研究報告vol. 103, no. 340, pp. 31-36, (2003) 103 ( 340 ) 31 - 36 2003 [Refereed]
圧電素子及び圧電変換装置
柳谷隆彦
Patent
Ultrasonic probe and ultrasonic inspection apparatus
S. Oono, K. Sumikawa, T. Takahash, T. Yanagitani
Patent
超音波探触子および超音波検査装置
大野茂, 住川健太, 高橋卓也, 柳谷隆彦
Patent
超音波探触子及び超音波探傷システム
高羅友輔, 柳谷隆彦
Patent
超音波探触子及び超音波探傷システム
高羅友輔, 柳谷隆彦
Patent
Thin film producing method and hexagonal piezoelectric thin film produced thereby
H. Nishio, Y. Mori, Y. Tsurukame, T. Kawamoto, Y. Watanabe, T. Yanagitani
Patent
Thin film producing method
United States Patent, No. US 7951272 B2
Y. Watanabe, T. Yanagitani
Patent
薄膜共振子
特許第5747318号
柳谷隆彦, 鈴木雅視, 渡辺好章
Patent
薄膜製造方法及び前記薄膜製造方法により製造された六方晶系圧電薄膜
特許第5217051号
西尾英俊, 森嘉一, 鶴亀宜崇, 渡辺好章, 柳谷隆彦, 川本貴之
Patent
高次モード薄膜共振器
特許第4784815号
渡辺好章, 柳谷隆彦
Patent
文部科学大臣表彰
2018
早稲田大学リサーチアワード(国際研究発信力)
2016
名古屋工業大学 優秀賞(教員評価)
2013.11
名古屋工業大学 褒賞
2013.11
名古屋工業大学 特別優秀賞(教員評価)
2013.01
粟屋潔学術奨励賞
2010.09
超音波シンポジウム奨励賞(Symposium on Ultrasonic Electronics : Young Scientist Award)
2007.11
Symposium on Ultrasonic Electronics : Young Scientist Award
2007.11
分極反転圧電薄膜を用いた基地局向けの耐電力小型音響共振子フィルタの実現
日本学術振興会 科学研究費助成事業 挑戦的研究(萌芽)
Project Year :
柳谷 隆彦
GHz帯横波斜入射の複素反射率測定による抗原抗体反応の高感度粘弾性計測
日本学術振興会 科学研究費助成事業 基盤研究(B)
Project Year :
柳谷 隆彦, 高柳 真司, 吉田 憲司, 鈴木 雅視
Electromagnetical coupling of AlCeN films grown by RF magnetron sputtering
Japan Society for the Promotion of Science Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
Project Year :
Yanagitani Takahiko
Shear mode resonators for detection of biomolecular interactions in liquid
Japan Society for the Promotion of Science Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Project Year :
Yanagitani Takahiko
Japan Society for the Promotion of Science Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Project Year :
ODAGAWA HIROYUKI, CHO YASUO
Ultrasonic probe using polarity inverted piezoelectric layer
Japan Society for the Promotion of Science Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
Project Year :
Yanagitani Takahiko
Study on the piezoelectricity in bone in the MHz range
Japan Society for the Promotion of Science Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Project Year :
MATSUKAWA Mami, ATSUSHI Hosokawa, YOSHIKI Nagatani, TAKAHIKO Yanagitani, HIRONOBU Hoshino
Piezoelectric thin film MEMS with giant shear electromechanical coupling
Japan Society for the Promotion of Science Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
Project Year :
YANAGITANI Takahiko
Development of non contact piezoelectricity measurement system By Brillouin light scattering
Japan Society for the Promotion of Science Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
Project Year :
MATSUKAWA Mami, YANAGITANI Takahiko
Development of surface acoustic wave piezoelectric films sensors for liquid property measurement
Japan Society for the Promotion of Science Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
Project Year :
YANAGITANI Takahiko
面内配向六方晶系薄膜の創製および横波モード共振子型分子間相互作用センサへの応用
日本学術振興会 科学研究費助成事業 特別研究員奨励費
Project Year :
柳谷 隆彦
Yusuke Sato, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) IEEE
Presentation date: 2020.09
Extracting mechanical Q factor of the pure AlN, ScAlN, and ZnO films without etching substrate
Naoya Iwata, Sarina Kinoshita, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) IEEE
Presentation date: 2020.09
Takumi Soutome, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) IEEE
Presentation date: 2020.09
c-Axis oriented ScAlN/SiO2 multilayer BAW transformer for rectifying antenna applications
Kota Izumi, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) IEEE
Presentation date: 2020.09
Ryota Tatsumi, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) IEEE
Presentation date: 2020.09
Takumi Tominaga, Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) IEEE
Presentation date: 2020.09
Ryota Tatsumi, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) IEEE
Presentation date: 2020.09
Self-Standing FBAR Transformer based on Shear Mode Zig-zag ScAlN Multilayer for Rectenna Application
Sarina Kinoshita, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) IEEE
Presentation date: 2020.09
Zig-zag ScAlN multilayer SMR for high power BAW fileter application such as RF base station
Yusuke Sato, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) IEEE
Presentation date: 2020.09
Naoya Iwata, Sarina Kinoshita, Junjun Jia, Masashi Suzuki, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) IEEE
Presentation date: 2020.09
Kota Izumi, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) IEEE
Presentation date: 2020.09
Sarina Kinoshita, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) IEEE
Presentation date: 2020.09
Multilayer Piezoelectric ScAlN Film Transducers for Ultrasonic Microscopy in the VHF Range
Yusuke Korai, Masashi Suzuki, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
Presentation date: 2020.09
Effect of Negative-Ion-Bombardment Suppression by Applying Voltage to Grids Set Between Substrate and Sputtering Target During Sputtering Deposition on Crystalline Orientation of ZnO Film
Kohei Tominaga, Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
Presentation date: 2020.09
Improvement of Crystallization and Shear-Mode Electromechanical Coupling of c-Axis-ParallelOriented ZnO Film by Annealing Treatment
Shinji Takayanagi, Kanae Kimoto, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
Presentation date: 2020.09
Measurement of Time Response of Electrical Properties in Thickness Shear Mode Resonator with Liquid Loadings
Mao Watabe, Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani
2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
Presentation date: 2020.09
A Method for Extracting Mechanical Q Factor of the Piezoelectric Film without Etching Substrate
Sarina Kinoshita, Takahiko Yanagitani
2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) IEEE
Presentation date: 2019.10
Sarina Kinoshita, Takahiko Yanagitani
2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) IEEE
Presentation date: 2019.10
Takumi Soutome, Takahiko Yanagitani
2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) IEEE
Presentation date: 2019.10
Takuya Wakabayashi, Shinji Takayanagi, Mami Matukawa, Yuta Takamura, Takahiko Yanagitani
2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) IEEE
Presentation date: 2019.10
Rui Kihara, Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani
2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) IEEE
Presentation date: 2019.10
Chiaki Masamune, Takahiko Yanagitani
2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) IEEE
Presentation date: 2019.10
Takahiro Shimidzu, Takahiko Yanagitani
Journal of Applied Physics AIP Publishing
Presentation date: 2019.09
Takahiro Shimidzu, Takeshi Mori, Takahiko Yanagitani
Applied Physics Letters AIP Publishing
Presentation date: 2019.05
Al金属ターゲットへのSc埋め込みの有無によるScAlN薄膜音響共振子の結晶化度の違いと圧電特性
木原流唯, 高柳真司, 柳谷隆彦
電子情報通信学会総合大会
Presentation date: 2019.03
共振周波数比法を用いた基板付き薄膜共振子の電極付きkeff2の抽出
龍見亮汰, 戸塚誠, 柳谷隆彦
電子情報通信学会総合大会
Presentation date: 2019.03
SH型SAWパイプセンサの作製に向けた石英ガラス管へのc軸平行配向ZnO膜の形成
篁 佑太, 高柳 真司, 柳谷隆彦, 松川 真美
第66回応用物理学会 春季学術講演会
Presentation date: 2019.03
溶融および焼結ScAl合金ターゲットを用いた高品質なScAlN薄膜の作製
白寧蕊, 唐澤嶺, 高柳 真司, 今川 誠, 森坂啓介, 鈴木 雄, 柳谷隆彦
第66回応用物理学会 春季学術講演会
Presentation date: 2019.03
ScAlN自立薄板を用いた30-40MHz帯振動子
正宗千明, 唐澤 嶺, 柳谷隆彦
第66回応用物理学会 春季学術講演会
Presentation date: 2019.03
基板付き圧電薄膜の高次モード間共振周波数比を用いたFBARの電極考慮keff2抽出
戸塚誠, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2019
Presentation date: 2019.01
基板付き圧電薄膜の電気機械結合係数抽出時における電極サイズの影響
山中恵理, 戸塚誠, 木下紗里那, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2019
Presentation date: 2019.01
ScAlN自立薄板を用いた30-40MHz帯振動子
天野凌輔, 木下紗里那, 廣芝伸哉, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2019
Presentation date: 2019.01
スパッタ成膜中の負イオン照射抑制によるScAlN薄膜の圧電性向上
高柳真司, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2019
Presentation date: 2019.01
圧電薄膜デバイスと基板の選択
和佐清孝, 清水貴博, 足立秀明, 吉田慎哉, 柳谷隆彦, 田中秀治
圧電材料・デバイスシンポジウム2019
Presentation date: 2019.01
「常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピ膜音響共振子の周波数スイッチング特性」
野田隆太, 清水貴博, 柳谷隆彦
電子回路研究会
Presentation date: 2018.12
横波モードのc 軸傾斜配向 ScAlN 薄膜 / 音響多層膜反射器共振子を用いた UHF帯液体粘性評価
五月女巧, 山川愉生, 唐澤 嶺, 柳谷隆彦
電子回路研究会
Presentation date: 2018.12
極性反転ZnO圧電多層構造を用いた高効率な超音波トランスデューサ
間島 毅, 清水貴博, 柳谷隆彦
電子回路研究会
Presentation date: 2018.12
A new electromechanical coupling coefficient extraction method of as-grown film/wafer structure by using the ratio of overtone mode resonant frequencies
The 39th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2018)
Presentation date: 2018.10
圧電トランス薄膜音響共振子による電波発電
柳谷隆彦 [Invited]
第4回分科会ワークショップ「革新的エナジー・ハーベスティングに向けた材料・デバイス技術」
Presentation date: 2018.03
c 軸傾斜配向 ScAlN 薄膜 / 音響多層膜構造の共振子を用いた 400MHz 付近における液体粘性評価
山川 愉生, 五月女 巧, 唐澤 嶺, 柳谷 隆彦
第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
Presentation date: 2018
c 軸傾斜配向すべりモード ScAlN 薄膜共振子を用いた生体反応検出
矢崎 花, 五月女 巧, 唐澤 嶺, 高柳 真司, 吉田 憲司, 柳谷 隆彦
第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
Presentation date: 2018
PZT エピタキシャル厚膜を用いた 80 MHz 帯の超音波トランスデューサ
松田 友佳, 清水 貴博, 柳谷 隆彦
第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
Presentation date: 2018
大きな圧電性を持つ ScAlN 自立薄板を用いた 30?40 MHz 帯振動子
正宗 千明, 唐澤 嶺, 柳谷 隆彦
第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
Presentation date: 2018
周波数スイッチナブルフィルタを目指した分極反転 PZT/PbTiO3エピタキシャル薄膜共振子
清水 貴博, 森 剛志, 柳谷 隆彦
第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
Presentation date: 2018
大きな電気機械結合係数 (kt 2 =22%) を持つ ScAlN 薄膜
白 寧蕊, 正宗 千明, 唐澤 嶺, 柳谷 隆彦
第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
Presentation date: 2018
溶融及び焼結 ScAl 合金ターゲットからの負イオン照射が ScAlN 薄膜成長へ及ぼす影響
遠藤 結佳, 唐澤 嶺, 高柳 真司, 今川 誠, 森坂 啓介, 鈴木 雄, 柳谷 隆彦
第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
Presentation date: 2018
基板付き薄膜構造における高次モード間共振周波数比を用いた圧電薄膜の kt 2 評価法
戸塚 誠, 柳谷 隆彦
第 39 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
Presentation date: 2018
「サファイア基板上への高角度c軸傾斜ScAlN膜の作製と弾性表面波伝搬特性」
徳田翔平, 高柳真司, 松川真美, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2018
Presentation date: 2018
「スパッタ成膜中にSc金属から発生した負イオンの照射によるScAlN薄膜の結晶配向性および圧電性の劣化」
高柳真司, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2018
Presentation date: 2018
「厚みすべりモード薄膜共振子の液体負荷時における周波数変化及び減衰の検討」
岩永陸弥, 高柳真司, 松川真美, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2018
Presentation date: 2018
「PZT薄膜とバルク圧電材料」
和佐清孝, 清水貴博, 足立秀明, 吉田慎哉, 柳谷隆彦, 田中秀治
圧電材料・デバイスシンポジウム2018
Presentation date: 2018
「スパッタ法により作製したGHz帯のPb(ZrxTi1-x)O3エピ膜にMPB特性は現れるか?」
野田隆太, 清水貴博, 和佐清孝, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2018
Presentation date: 2018
「極性反転ウルツ鉱系圧電薄膜を用いた高効率トランスデューサ」
間島毅, 清水貴博, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2018
Presentation date: 2018
「周波数スイッチナブルな常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピタキシャル薄膜共振子」
清水貴博, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2018
Presentation date: 2018
「擬似すべりモードc軸傾斜配向ScAlN薄膜を用いた複素反射率測定による液体試料のUHF帯粘弾性評価」
山川愉生, 唐澤嶺, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2018
Presentation date: 2018
「c軸ジグザグ配向ScAlN圧電トランス薄膜共振子のレクテナ昇圧回路への応用検討」
唐澤嶺, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2018
Presentation date: 2018
「高次モード間共振周波数比を用いた基板付き薄膜共振子からの電気機械結合係数の抽出」
戸塚誠, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2018
Presentation date: 2018
「圧電トランス薄膜音響共振子による電波発電」
柳谷隆彦
第4回分科会ワークショップ「革新的エナジー・ハーベスティングに向けた材料・デバイス技術」
Presentation date: 2018
「電子ビーム真空溶融により合成したScAl合金スパッタターゲットを用いた高品質ScAlN薄膜の成長」
遠藤 結佳, 佐野 耕平, 唐澤 嶺, 柳谷 隆彦
第65回応用物理学会 春季学術講演会
Presentation date: 2018
「高い圧電性を持つPZT厚膜を用いた80 MHz帯高効率トランスデューサ」
松田友佳, 清水貴博, 柳谷隆彦
第65回応用物理学会 春季学術講演会
Presentation date: 2018
「90?mScAlN厚膜を用いた40MHz帯トランスデューサ」
正宗 千明, 佐野 耕平, 柳谷 隆彦
第65回応用物理学会 春季学術講演会
Presentation date: 2018
「基本モードと3次モードの共振周波数比を用いた基板付き薄膜の電気機械結合係数kt2の評価法」
戸塚誠, 柳谷隆彦
第65回応用物理学会 春季学術講演会
Presentation date: 2018
「極性反転ZnO圧電薄膜を用いた高効率トランスデューサ」
間島毅, 柳谷 隆彦
第65回応用物理学会 春季学術講演会
Presentation date: 2018
「ScAlN/ZnO極性反転構造を用いた高次モードトランスデューサの水中放射特性」 「基本モード/高次モード切替可能な常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピ膜共振子」
清水 貴博, 柳谷 隆彦
第65回応用物理学会 春季学術講演会
Presentation date: 2018
「c軸傾斜配向ScAlN薄膜を用いた擬似すべりモード基板付き共振子による液体試料のMHz帯-GHz帯にわたる粘性評」
山川 愉生, 唐澤 嶺, 柳谷 隆彦
第65回応用物理学会 春季学術講演会
Presentation date: 2018
「c軸傾斜配向ScAlN薄膜を用いた横波超音波の斜入射による液体試料のVHF帯粘弾性評価」
山川 愉生, 柳谷 隆彦
第65回応用物理学会 春季学術講演会
Presentation date: 2018
「低角スパッタ粒子入射を用いたc軸傾斜反転ジグザグScAlN圧電薄膜の成長とレクテナ昇圧素子への応用検討」
唐澤嶺, 柳谷 隆彦
第65回応用物理学会 春季学術講演会
Presentation date: 2018
「最近のBAWデバイス(FBAR)の薄膜材料と評価手法」
柳谷隆彦
第65回応用物理学会 春季学術講演会
Presentation date: 2018
「周波数スイッチナブルフィルタを目指した常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピ膜音響共振子」
清水貴博, 柳谷隆彦
電子情報通信学会超音波研究会
Presentation date: 2018
「レクテナ昇圧素子への応用を目指したc軸ジグザグ配向ScAlN多層圧電薄膜共振子」
唐澤嶺, 柳谷隆彦
電子情報通信学会超音波研究会
Presentation date: 2018
「PZT エピ厚膜および ScAlN 厚膜を用いた 30-90 MHz 帯トランスデューサ」
正宗千明, 松田友佳, 唐澤嶺, 清水貴博, 柳谷隆彦
第47回EMシンポジウム
Presentation date: 2018
「溶融および焼結 ScAl 合金スパッタターゲットから発生する負イオンが ScAlN 薄膜の成長に及ぼす影響」
唐澤嶺, 遠藤結佳, 高柳真司, 今川誠, 森坂啓介, 鈴木雄, 柳谷隆彦
第47回EMシンポジウム
Presentation date: 2018
「基板付き圧電薄膜の機械的品質係数 Q 値評価の検討」
木下紗里那, 戸塚誠, 唐澤嶺, 柳谷隆彦
第47回EMシンポジウム
Presentation date: 2018
「基本モード/3 次モード間共振周波数比を用いた基板付き薄膜構造における圧電薄膜の kt抽出法と従来 法との比較」
戸塚誠, 柳谷隆彦
第47回EMシンポジウム
Presentation date: 2018
「Pb(Zrx,Ti1-x)O3スパッタエピ膜における MPB 特性発現の検証」
野田隆太, 清水貴博, 和佐清孝, 柳谷隆彦
第47回EMシンポジウム
Presentation date: 2018
「c 軸傾斜配向厚みすべりモード ScAlN 薄膜共振子を用いた生体高分子反応の検出」
矢崎花, 唐澤嶺, 吉田憲司, 高柳真司, 柳谷隆彦
第47回EMシンポジウム
Presentation date: 2018
「(0001)ScAlN/(000-1)ZnO 極性反転構造を用いた 2 次モードトランスデューサの水中放射特性」
間島毅, 清水貴博, 柳谷隆彦
第47回EMシンポジウム
Presentation date: 2018
「ウエハ付きAs-grown圧電薄膜のRFフィルタ向け特性評価法およびScAlN薄膜の成長ノウハウ」
柳谷隆彦
アルバックシンポジウム
Presentation date: 2018
New BAW filter materials for 5G smart phone
T. Yanagitani
LG化学 Tech Scouting Japan
Presentation date: 2018
「抗電界差により周波数スイッチナブルとなるPZT/PbTiO3分極反転エピタキシャル薄膜音響共振子」
清水貴博, 柳谷隆彦
第79回応用物理学会秋季学術講演会
Presentation date: 2018
「ScAlN, ZnOおよびPZT系薄膜の極性制御と分極反転デバイスへの応用」
清水貴博, 柳谷隆彦
第79回応用物理学会秋季学術講演会
Presentation date: 2018
「最新の窒化物BAWフィルタの動向と酸化物圧電薄膜の位置づけ」
柳谷隆彦
第79回応用物理学会秋季学術講演会
Presentation date: 2018
「FBARフィルタ用の圧電薄膜材料の進展とウエハの評価手法」
柳谷隆彦
第168回電子セラミック・プロセス研究会
Presentation date: 2018
「c軸傾斜配向厚みすべりモードScAlN薄膜共振子を用いた液体中生体分子相互作用の検出」
矢崎花, 五月女巧, 唐澤 嶺, 高柳真司, 吉田憲司, 柳谷隆彦
電子情報通信学会超音波研究会
Presentation date: 2018
「c軸傾斜配向ScAlN薄膜/音響多層膜構造の共振子を用いたUHF帯における液体粘性評価」
山川愉生, 五月女巧, 唐澤嶺, 柳谷隆彦
電子情報通信学会超音波研究会
Presentation date: 2018
「基板付き薄膜共振子からの新規kt2評価法と従来法の比較 〜 共振周波数比法、変換損失法、共振スペクトル法、共振反共振法 〜」
戸塚誠, 柳谷隆彦
電子情報通信学会超音波研究会
Presentation date: 2018
「分極反転PZT/PTOエピ膜を用いた周波数スイッチナブルなGHz帯共振子」
清水貴博, 森剛志, 柳谷隆彦
電子情報通信学会超音波研究会
Presentation date: 2018
「製法の異なるScAl合金スパッタターゲットから発生する負イオンがScAlN薄膜の特性に及ぼす影響 〜 電子ビーム溶融、アーク溶融、焼結ScAl合金ターゲットの比較 〜」
唐澤嶺, 高柳真司, 遠藤結佳, 今川 誠, 森坂啓介, 鈴木 雄, 柳谷隆彦
電子情報通信学会超音波研究会
Presentation date: 2018
“Thick PZT epitaxial film growth for ultrasonic transducer application below 100 MHz" 12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics,”
Y. Mazda, T. Yanagitani
12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics
Presentation date: 2018
“Frequency switchable polarity inverted resonators based on cubic PMN-PT/tetragonal PZT epitaxial stack,”
T. Shimidzu, T. Yanagitani
12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics
Presentation date: 2018
“Investigation of MPB in Pb(Zrx,Ti1-x)O3 epitaxial films by RF magnetron sputtering growth,”
R. Noda, T. Yanagitani
12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics
Presentation date: 2018
“A method for extracting GHz electromechanical coupling coefficient from piezoelectric film/substrate structure without removing substrate,”
T. Yanagitani
12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics
Presentation date: 2018
“Influence of negative ions generation on the quality of ScAlN films grown by sputtering targets with different concentration of oxygen and carbon,”
Y. Endo, R. Karasawa, S. Takayanagi, M. Imakawa, K. orisaka, Y. uzuki, T. anagitani
International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators(IWPMA2018)
Presentation date: 2018
“Comparison of kt2 extraction method from film/substrate structure by using the ratio of resonant frequencies with conventional methods,”
M. Totsuka, T. Yanagitani
International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators(IWPMA2018)
Presentation date: 2018
“Polarity inverted high efficiency ultrasonic transducer with (0001)ZnO/(000-1)ZnO/SiO2 glass buffer rod,”
T. Majima, T. Shimidzu, T. Yanagitani
International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators(IWPMA2018)
Presentation date: 2018
“Thick PZT epitaxial film and ScAlN film for ultrasonic transducer below 100 MHz,”
Y. Mazda, C. Masamune, R. Karasawa, T. Shimidzu, T. Yanagitani
International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators(IWPMA2018)
Presentation date: 2018
“Temperature characteristics of ScAlN/SiO2 BAW resonators,”
H.Igeta, M. Totsuka, M. Suzuki, T. Yanagitani
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2018
“A new method for extracting Qfactor of the piezoelectric film without removing substrate,”
S. Kinoshita, M. Totsuka, R. Karasawa, T. Yanagitani
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2018
“Investigation of morphotropic phase boundary in sputter-grown Pb(Zrx, Ti1-x)O3 epitaxial films,”
R. Noda, T. Shimidzu, K. Wasa
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2018
“High efficiency ultrasonic transducer using polarity inverted ZnO thin film,”
T. Majima, T. Shimidzu, T. Yanagitani
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2018
“ScAlN free-standing 0.1mm plates with 30-50 MHz resonance frequency,”
C. Masamune, R. Karasawa, T. Yanagitani
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2018
“PZT epitaxial thick film for ultrasonic transducer at frequencies below 100MHz,”
Y. Mazuda, T. Shimidzu, T. Yanagitani
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2018
“The influence of negative ions generation on the arc-melted and hot press sintered ScAlN alloy targets to the crystalline orientation and kt2 of the ScAlN films,”
Y. Endo, R. Karasawa, S. Takayanagi, M.Imakawa, K. Morisaka, T. Yanagitani
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2018
“c-axis tilted ScAlN film shear mode resonators for biosensing,”
H. Yazaki, T. Sotome, S. Takayanagi, K. Yoshida, T. Yanagitani
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2018
“Evaluation of viscoelactic properties of liquids based on the oblique incidence technology using shear horizontal waves at frequencies above 100 megahertz from c-axis tilted ScAlN thin films,”
Y. Yamakawa, T. Yanagitani
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2018
“Extraction of electromechanical coupling coefficient of film / substrate structure by using the ration of a third mode resonant frequency to a fundamental mode resonant frequency,”
M. Totsuka, T. Yanagitani
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2018
“DC-induced piezoelectric cubic PMN-PT/piezoelectric tetragonal PZT epitaxial stack polarity inverted resonators for frequency switchable filters,”
T. Shimidzu, T. Yanagitani
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2018
“Polarity inverted ScAlN multilayer for application to transformer in rectifying antenna,”
R. Karasawa, T. Yanagitani
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2018
「抗電界差による基本モード/高次モード周波数切替可能なPZT/PTエピ膜分極反転共振子」
清水貴博, 森剛志, 柳谷隆彦, 和佐清孝
圧電材料・デバイスシンポジウム
Presentation date: 2017
「c軸傾斜配向ScAlN膜/ATカット水晶基板構造の低TCF横波共振子を用いた 広帯域周波数粘度測定」
山川愉生, 佐野耕平, 唐澤嶺, 森剛志, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム
Presentation date: 2017
「c軸傾斜配向ScAlN膜/ブラック反射層構造のGHz帯厚みすべりモード共振子を用いた液体粘性評価」
唐澤嶺, 山川愉生, 森剛志, 矢?花, 佐野耕平, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム
Presentation date: 2017
「RFマグネトロンスパッタ法を用いて作製したc軸平行配向ZnO膜の 圧電不活性層低減に関する検討」
盛一馬, 高柳真司, 松川真美, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム
Presentation date: 2017
「電気機械結合係数 kt2=19%のScAlN厚膜を用いた低周波帯80 MHzトランスデューサ」
佐野耕平, 唐澤嶺, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム
Presentation date: 2017
「縦波・横波の超音波伝搬時における骨中誘発電位の検討」
松川沙弥果, 牧野大輝, 小山大介, 高柳真司, 水野勝紀, 柳谷隆彦, 松川真美
圧電材料・デバイスシンポジウム
Presentation date: 2017
「ScAlN薄膜トランスデューサを用いた縦波・横波のブリュアン散乱光の同時増幅」
柴垣慶明, 川部昌彦, 柳谷隆彦, 高柳真司, 鈴木雅視, 松川真美
日本音響学会2016年秋季研究発表会
Presentation date: 2017
「単結晶PZT/PTエピタキシャル薄膜を用いた周波数切り替え可能な共振子」
森剛志, 高柳真司, 清水貴博, 柳谷隆彦
2017年電子情報通信学会総合大会
Presentation date: 2017
「チューナブルフィルタを目指した PMN 常誘電相エピ膜の電界誘起圧電特性と分極反転特性」
清水貴博, 柳谷隆彦, 和佐清孝
第46回EMシンポジウム
Presentation date: 2017
「c 軸傾斜配向 ScAlN/AT カット水晶基板構造の低 TCF 横波 HBAR を用いた MHz 帯-GHz 帯粘性評価」
山川愉生, 佐野耕平, 唐澤嶺, 柳谷隆彦
第46回EMシンポジウム
Presentation date: 2017
「高電気機械結合係数を持つ80MHz 帯 ScAlN 厚膜のハイドロフォン応用への検討」
佐野耕平, 唐澤嶺, 柳谷隆彦
第46回EMシンポジウム
Presentation date: 2017
「分極反転圧電薄膜の成長と応用〜レクテナ昇回路へ検討〜」
柳谷隆彦, 唐澤嶺
第46回EMシンポジウム
Presentation date: 2017
“PMN paraelectric phase epitaxial film for DC field-induced frequency switchable filter”
T. Shimidzu, K. Wasa, T. Yanagitani
The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
Presentation date: 2017
“Film growth of c-axis parallel oriented ZnO films by RF magnetron sputtering for improvement of electromechanical properties”
K. Mori, S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani
The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
Presentation date: 2017
“Simple and rapid measurement of hypersonic wave velocity by Brillouin scattering method”
Y. Shibagaki, M. Kawabe, S. Takayanagi, T. Yanagitani
The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
Presentation date: 2017
“Simultaneous viscosity evaluation in the MHz to GHz range with low TCF resonators consisting of shear mode piezoelectric thin films on AT-cut quartz crystal”
Y. Yamakawa, R. Karasawa, T. Shimidzu, T. Yanagitani
The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
Presentation date: 2017
“c-Axis tilted ScAlN film on sapphire substrate for SAW devices with high electromechanical coupling”
S. Tokuda, S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani
The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
Presentation date: 2017
“Polarity inverted ScAlN films for application to transformer in rectenna”
R. Karasawa, T. Yanagitani
The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
Presentation date: 2017
“Induced electrical potentials in cortical bone under shear ultrasound exposure”
T. Makino, K. Takano, S. Nakanishi, D. Koyama, S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa
The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
Presentation date: 2017
“Effects of highly energetic negative ions generated from Sc grains during sputtering deposition on electromechanical properties of ScAlN film”
S. Takayanagi, T. Yanagitani
The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
Presentation date: 2017
“High efficiency ScAlN thick film hydrophone operating in the ranges of 40-80 MHz”
K-h. Sano, R. Karasawa, T. Yanagitani
The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
Presentation date: 2017
「高品質ScAlN薄膜の成長条件と圧電特性および音響特性の評価」
柳谷隆彦, 唐澤嶺, 佐野耕平
EMデバイス・システムの新技術調査専門委員会
Presentation date: 2017
"Electromechanical coupling hysteresis curves of PZT epitaxial ferroelectric films determined by gigahertz ultrasonic method"
T. Yanagitani, T. Mori, K. Wasa
12th Pacific Rim Conference on Ceramic and Glass Technology (PACRIM 12)
Presentation date: 2017
"High electromechanical coupling thick ScAlN piezoelectric films for ultrasonic generation in low frequency of 80MHz"
K. Sano, R. Karasawa, T. Yanagitani
12th Pacific Rim Conference on Ceramic and Glass Technology (PACRIM 12)
Presentation date: 2017
"Liquid gigahertz viscosity sensors using shear mode c-axis tilted ScAlN piezoelectric thin films"
Y. Yamakawa, R. Karasawa, T. Mori, K. Sano, M. Suzuki, T. Yanag
12th Pacific Rim Conference on Ceramic and Glass Technology (PACRIM 12)
Presentation date: 2017
"Polarity inverted PZT/PbTiO3 ferroelectric epitaxial film for frequency switchable resonator filters"
T. Shimizu, T.Mori, M. Suzuki, T. Yanagitani, K. Wasa
12th Pacific Rim Conference on Ceramic and Glass Technology (PACRIM 12)
Presentation date: 2017
"Broadband frequency viscosity measurement using low TCF shear mode resonators consisting of c-axis tilted ScAlN thin film on thick AT-Cut quartz plate"
Y. Yamakawa, K. Sano, R. Karasawa, T. Yanagitani
The 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
Presentation date: 2017
"Thick ScAlN film for high efficient ultrasonic transducer in low frequency of 81 MHz"
K.-H. Sano, R. Karasawa, T. Yanagitani
The 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
Presentation date: 2017
“Film Growth of C-Axis parallel oriented ZnO on entire surface of silica glass pipe for SH-SAW pipe sensor,”
Y. Takamura, S. Takayanagi, M. Matsukawa, C. Ishida, T. Yanagitani
IEEE International Ultrason. Symp.
Presentation date: 2017
“Effects of negative oxygen ions generated during Sc ingot sputtering on electromechanical coupling of ScAlN film ,”
S. Takayanagi, T. Yanagitani
IEEE International Ultrason. Symp.
Presentation date: 2017
“Film growth of c-axis tilted ScAlN on the sapphire substrate for SAW devices,”
S. Tokuda, S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani
IEEE International Ultrason. Symp.
Presentation date: 2017
“The frequency wwitchable multi-layered BST/BaTiO3 epitaxial film resonator,”
S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani
IEEE International Ultrason. Symp.
Presentation date: 2017
“High electromechanical coefficient kt 2=19% thick ScAlN piezoelectric films for ultrasonic transducer in low frequency of 80 MHz,”
K-h. Sano, R. Karasawa, T. Yanagitani
IEEE International Ultrason. Symp.
Presentation date: 2017
“A new type wide-frequency-range shear viscosity sensor using caxis tilted ScAlN thin film on temperature stable AT-cut quartz thick plate,”
Y. Yamakawa, K-h. Sano, R. Karasawa, T. Yanagitani
IEEE International Ultrason. Symp.
Presentation date: 2017
“C-axis zig-zag polarization inverted ScAlN multilayer for FBAR transformer rectifying antenna,”
R. Karasawa, T. Yanagitani
IEEE International Ultrason. Symp.
Presentation date: 2017
“DC field-induced piezoelectricity of cubic perovskite 0.95Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-0.05PbTiO3 epitaxial film for RF switchable resonator,”
T. Shimidzu, K. Wasa, T. Yanagitani
IUMRS-ICA
Presentation date: 2017
“Frequency switchable multi-layered paraelectric-BST/ferroelectric-BaTiO3 stack epitaxial film resonator,”
R. Noda, T. Shimidzu, K. Wasa, T. Yanagitani
IUMRS-ICA
Presentation date: 2017
「PZTと PT の抗電界差を利用した周波数スイッチナブル分極反転エピタキシャ薄膜共振子」
森剛志, 柳谷隆彦, 和佐清孝
第45回EMシンポジウム
Presentation date: 2016
「ScAlN/ZnO極性反転圧電薄膜を用いた2次モード励振超音波トランスデューサ」
森剛志, 鈴木雅視, 柳谷隆彦
電子情報通信学会 超音波研究会
Presentation date: 2016
「GHz帯で純横波超音波を高効率励振するc軸平行ZnO薄膜トランスデューサ」
森剛志, 鈴木雅視, 柳谷隆彦
電子情報通信学会 超音波研究会
Presentation date: 2016
「励起フォノンを用いたBrillouin散乱測定の高速化に関する検討」
柴垣慶明, 川部昌彦, 柳谷隆彦, 高柳真司, 鈴木雅視, 松川真美
第58回光波センシング技術研究会
Presentation date: 2016
"Piezoelectric stiffening in the thickness direction of c-plane ZnO single crystal measured by Brillouin scattering"
S. Tomita, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa
The 37th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE2016).
Presentation date: 2016
"Evaluation of piezoelectricity in bone by ultrasound irradiation"
S. Matsukawa, S.Mori, D. Koyama, S. Takayanagi, K. Mizuno, T. Yanagitani, M. Matsukawa
The 37th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE2016).
Presentation date: 2016
"High electromechanical coupling of Sezawa mode SAW using a polarization-inverted ScAlN film/highvelocity substrate structure"
S. Takayanagi, T. Yanagitani
The 37th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE2016).
Presentation date: 2016
"Polarity inverted Pb(Zr,Ti)O3/PbTiO3 epitaxial multilayer frequency switchable resonator in the GHz range"
T. Mori, T. Yanagitani, K. Wasa
13th International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators & Energy Conversion Materials and Devices
Presentation date: 2016
"Electromechanical coupling hysteresis curves of Pb(Zr,Ti)O3 epitaxial films determined by GHz ultrasonic method using film/substrate structure"
T. Yanagitani, T. Mori, K. Wasa
13th International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators & Energy Conversion Materials and Devices
Presentation date: 2016
"Temperature stable liquid gigahertz viscosity sensors by combining shear mode piezoelectric ScAlN thin film and AT-cut quartz crystal plate"
K-h. Sano, T. Mori, R. Karasawa, T. Yanagitani
5th Joint Meeting of the Acoustical Society of America and Acoustical Society of Japan
Presentation date: 2016
"c-axis tilted ScAlN shear wave acoustic Bragg reflect resonator for gigahertz viscosity measurement"
Takeshi Mori, Yui Yamakawa, Rei Karasawa, Ko-hei Sano, Takahiko Yanagitani, Shinji Takanayanagi
5th Joint Meeting of the Acoustical Society of America and Acoustical Society of Japan
Presentation date: 2016
P5-C2-4 "Brillouin scatteringstudy on piezoelectricstiffening effect in thethickness direction ofc-plane ZnO single crystal"
S. Tomita, T. Yanagitani, S. Takayanagi, H. Ichihashi, M. Matsukawa
IEEE International Ultrason. Symp,
Presentation date: 2016
4K-2 "Anisotropic behavior ofinduced electric potentialsin bone by ultrasoundirradiation"
S. Matsukawa, S. Mori, Isao Mano, T. Yanagitani, K. Mizuno, S.Takayanagi, M. Matsukawa
IEEE International Ultrason. Symp,
Presentation date: 2016
6K-1 "Rapid and simultaneousmeasurement of longitudinaland shear wave velocitiesby Brillouin scattering fromartificially induced phonons"
M. Kawabe, T. Yanagitani, S. Takayanagi, Y. Shibagaki, M. Suzuki, M. Matsukawa
IEEE International Ultrason. Symp,
Presentation date: 2016
6H-4 Improvement ofelectromechanical propertiesin c-axis parallel orientedZnO film by RF magnetronsputtering with negative ionbombardment"
K. Mori, S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani
IEEE International Ultrason. Symp,
Presentation date: 2016
6H-3 "Effects of energeticnegative ions generatedfrom sputtering targets onScAlN film growth"
S. Takayanagi, M.Matsukawa, T. Yanagitani
IEEE International Ultrason. Symp,
Presentation date: 2016
H-2 "Evaluation of viscousliquid using resonance andanti-resonance of thicknessshearmode resonatorconsisting of c-axis paralleloriented ZnO film"
R. Iwanaga, S. Takayanagi, Y. Watanabe, M. Matsukawa, T. Tsuchiya, T. Yanagitani
IEEE International Ultrason. Symp,
Presentation date: 2016
6H-1 "The frequencyswitchable resonatorconsisting of polarityinverted Pb(Zr,Ti)O3/PbTiO3epitaxial multilayer"
T. Mori, M. Suzuki, T. Yanagitani
IEEE International Ultrason. Symp,
Presentation date: 2016
P3-B2-7 "Electromechanicalcoupling hysteresis curvesof Pb(Zr,Ti)O3and PbTiO3epitaxial films determinedby ultrasonic measurementusing film/substratestructure"
T. Mori, M. Suzuki, S. Takayanagi, T. Yanagitani
IEEE International Ultrason. Symp,
Presentation date: 2016
P3-B2-1 "High electromechanical coupling of Sezawa mode SAW in c-axis-parallel-oriented ScAlN film/high-velocitysubstrate structures"
S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani
IEEE International Ultrason. Symp,
Presentation date: 2016
"Rapid wave velocity measurement by Brillouin scattering using artificially induced phonon"
Y. Shibagaki, M. Kawabe, S. Takayanagi, K. Mori, T. Yanagitani, M. Matsukawa
5th Joint Meeting of the Acoustical Society of America and Acoustical Society of Japan
Presentation date: 2016
"Liquid loading characteristics of multiple SH-wave roundtrip in c-axis parallel oriented ZnO film/silica glass pipe"
S.Takayanagi, S.Hirayama, M.Matsukawa, T.Yanagitani
5th Joint Meeting of the Acoustical Society of America and Acoustical Society of Japan
Presentation date: 2016
陽極RFバイアス法による2次モード(000-1)/(0001)ScAlN FBAR
鈴木雅視, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2015
Presentation date: 2015
ScAlN薄膜における弾性定数テンソルのSc濃度依存性
柳谷隆彦, 市橋隼人, 鈴木雅視, 高柳真司, 松川真美
圧電材料・デバイスシンポジウム2015
Presentation date: 2015
走査型非線形誘電率顕微法による層状構造圧電薄膜の極性評価
小田川裕之, 寺田浩士朗, 西川宏明, 柳谷隆彦, 長康雄
圧電材料・デバイスシンポジウム2015
Presentation date: 2015
基板付き圧電薄膜のkt評価法の比較
小林勇太, 鈴木雅視, 柳谷隆彦, 荒川元孝, 大橋雄二
圧電材料・デバイスシンポジウム2015
Presentation date: 2015
超音波照射による骨中誘発電位の極性について
常田裕子, 松川沙弥果, 真野功, 水野勝紀, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美
圧電材料・デバイスシンポジウム2015
Presentation date: 2015
RFバイアス三極スパッタ法におけるイオン照射を利用したO面,Zn面,a面およびm面ZnO薄膜の形成
橋本亮介, 高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美
第62回応用物理学会春季学術講演会
Presentation date: 2015
180°,90R散乱配置を用いたBrillouin散乱計測によるGaNの弾性定数測定
市橋隼人, 柳谷隆彦, 高柳真司, 川部昌彦, 松川真美
第62回応用物理学会春季学術講演会
Presentation date: 2015
(EM44-2-05) 「c 軸傾斜ScAlN 薄膜における擬似すべりモード電気機械結合係数のSc 濃度依存性」
鈴木雅視, 柳谷隆彦
第44回EMシンポジウム
Presentation date: 2015
(EM44-2-03) 「スパッタ成膜の高速負イオン照射を用いたc 軸平行配向ZnO 膜の形成と圧電デバイス応用」
高柳真司, 柳谷隆彦, Jean-Claude Gerbedoen、Abdelkrim Talbi, 松川真美, Philippe Pernod
第44回EMシンポジウム
Presentation date: 2015
「Brillouin散乱法を用いた圧電性ScAlN薄膜による励起フォノンの測定」
川部 昌彦, 柳谷 隆彦, 市橋 隼人, 高柳 真司, 鈴木 雅視, 松川 真美
第76回応用物理学会秋季学術講演会
Presentation date: 2015
「イオンビーム照射によるc軸平行極性反転構造ZnO薄膜の形成」
森 剛志, 鈴木 雅視, 柳谷 隆彦
第76回応用物理学会秋季学術講演会
Presentation date: 2015
「斜めスパッタ蒸着法によるc軸傾斜ScAlN薄膜の形成」
鈴木 雅視, 柳谷 隆彦
第76回応用物理学会秋季学術講演会
Presentation date: 2015
「Al極性(0001)ScAlN/O極性(000-1)ZnO極性反転構造の薄膜音響共振子」
森 剛志, 鈴木 雅視, 柳谷 隆彦
第76回応用物理学会秋季学術講演会
Presentation date: 2015
「MHz 域における皮質骨の逆圧電効果」
松川 沙弥果, 森 駿貴, 眞野 功, 水野 勝紀, 柳谷 隆彦, 高柳 真司, 松川 真美
日本音響学会2016年春季研究発表会
Presentation date: 2015
「c軸平行配向ZnO膜によるSH-SAWを用いた液体の粘度・導電率測定」
日山彰子, 高柳真司, 松川真美, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2016
Presentation date: 2015
「Brillouin散乱法を用いたc面ZnO単結晶の音響電気効果による緩和測定」
富田昇太, 高柳真司, 松川真美, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2016
Presentation date: 2015
「c軸平行配向ScAlN膜/高音速基板構造を用いたセザワ波の高い電気機械結合係数」
高柳真司, 岡峰生, 松川真美, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2016
Presentation date: 2015
「RFマグネトロンスパッタにおけるc軸平行配向ZnO膜の高品質化の検討」
高田千裕, 高柳真司, 松川真美, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2016
Presentation date: 2015
「イオンビーム照射を用いたc軸平行極性反転構造ZnO薄膜共振子」
森剛志, 鈴木雅視, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2016
Presentation date: 2015
「通常のスパッタ法を用いたAl極性ScAlN/O極性ZnO極性反転構造トランスデューサ」
森剛志, 鈴木雅視, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2016
Presentation date: 2015
「スパッタターゲットから発生するイオン種がScAlN薄膜の結晶性に及ぼす影響」
高柳真司, 松川真美, 柳谷隆彦
圧電材料・デバイスシンポジウム2016
Presentation date: 2015
「IBAD 法による c 軸平行配向 ScAlN 薄膜の形成とすべりモード共振子への応用」
岡 峰生, 高柳 真司, 柳谷 隆彦, 松川 真美
第 36 回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
Presentation date: 2015
「c 軸傾斜 ScxAl-xN 薄膜(0<0.55)における擬似すべりモード電気機械結合係数」
鈴木 雅視, 柳谷 隆彦
第 36 回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
Presentation date: 2015
「Al 極性 ScAlN/O 極性 ZnO 極性反転多層構造を用いた GHz 帯高効率トランスデューサ 」
森 剛志, 鈴木 雅視, 柳谷 隆彦
第 36 回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
Presentation date: 2015
「走査型非線形誘電率顕微法による層状極性反転圧電膜の層厚の定量測定」
寺田 浩士朗, 西川 宏明, 田中 陽, 小田川 裕之, 柳谷 隆彦, 長 康雄
第 36 回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
Presentation date: 2015
「H2O 導入スパッタ法を用いて作製した c 軸平行配向 ZnO 膜のすべりモード電気機械結合係数」
高田 千裕, 高柳 真司, 柳谷 隆彦, 松川 真美
第 36 回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
Presentation date: 2015
「皮質骨中における超音波誘発電位に関する検討」
松川 沙弥果, 森 駿貴, フォタネル エロディー, 眞野 功, 水野 勝紀, 柳谷 隆彦, 高柳 真司, 松川 真美
第 36 回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
Presentation date: 2015
「Brillouin光散乱を用いたc軸配向薄膜の音速および常屈折率の同時測定」
富田昇太, 柳谷隆彦, 鈴木雅視, 高柳真司, 松川真美
電子情報通信学会 超音波研究会vol. 115, no02, pp.23-28
Presentation date: 2015
「低圧RFマグネトロンスパッタ法によるc軸平行配向ZnO膜の形成とSAW、Lamb波デバイスへの応用」
高柳真司, 柳谷隆彦, Jean-Claude Gerbedoen, Abdelkrim Talbi, 松川真美, Philippe Pernod
電子情報通信学会 超音波研究会vol. 115, no07, pp.25-30
Presentation date: 2015
「c軸平行配向ZnO膜/円管石英構造におけるSH波の多重周回伝搬特性と導電率測定への応用」
日山彰子, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美
電子情報通信学会 超音波研究会vol. 115, no07, pp.19-24
Presentation date: 2015
「イオンビームアシストRFマグネトロンスパッタ法を用いて作製したc軸平行配向ScAlN薄膜の電気機械結合係数」
岡峰生, 高柳真司, 柳谷隆彦, 松川真美
電子情報通信学会 超音波研究会vol. 115, no07, pp.31-35
Presentation date: 2015
「共振法およびBrillouin散乱法で測定したScAlN薄膜の弾性定数テンソルのSc濃度依存性」
柳谷隆彦, 市橋隼人, 鈴木雅視, 高柳真司, 松川真美
電子情報通信学会 超音波研究会vol. 115, no07, pp.37-42
Presentation date: 2015
「ScAlN圧電薄膜から励起されたコヒーレントフォノンのBrillouin散乱」
趙恩慧, 川部昌彦, 高柳真司, 鈴木雅視, 柳谷隆彦, 松川真美
電子情報通信学会 超音波研究会vol. 115, no46, pp.27-30,
Presentation date: 2015
「走査型非線形誘電率顕微法による極性反転層状構造圧電膜の層厚の定量測定」
寺田浩士朗, 西川宏明, 田中陽平, 小田川裕之, 柳谷隆彦, 長康雄
電子情報通信学会 超音波研究会vol. 115, no46, pp.23-26
Presentation date: 2015
“Multiple SH wave roundtrip type liquid sensor of pipe structure with c-axis parallel oriented ZnO film”
S. Hiyama, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa
International Congress of Ultrasonics
Presentation date: 2015
“High Tc /High Coupling Perovskite Thin Films,”
K. Wasa, T. Matsushima, H. Adachi, T. Matsunaga, T. Yanagitani, T. Yamamoto
IEEE ISAF/IWATMD/PFM, pp. 1-4, (2014).
Presentation date: 2015
“ScAlN thin film transducers for ultrasonic microscopy in the VHF range”
Y. Korai, M.i Suzuki, T. Yanagitani
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2015
“Measurement of acoustic wave velocity and refractive index in thickness direction of c-axis oriented ScAlN films by Brillouin scattering”
S. Tomita, T. Yanagitani, M. Suzuki, H. Ichihashi, S. Takayanagi, M. Matsukawa
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2015
“Shear mode properties of c-axis parallel oriented ScxAl1-xN films grown by RF bias sputtering“
S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2015
“c-axis parallel polarity inverted multilayer ZnO film resonators fabricated by grazing ion beam assisted RF magnetron sputtering”
T. Mori, T. Yanagitani, M. Suzuki
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2015
“Ultrasound radiation from bone transducer in the MHz range”
S. Matsukawa, H. Tsuneda, I. Mano, K. Mizuno, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2015
“Quasi-shear mode electromechanical coupling k'15 and shear wave velocity in c-axis tilted ScxAl1-xN films”
M. Suzuki, T. Yanagitani
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2015
“Elastic constant cij E tensors of (0001) ScxAl1-xN films (x=0-0.63)”
T. Yanagitani, H. Ichihashi, M. Suzuki, S. Takayanagi, M. Matsukawa
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2015
“c-Axis parallel oriented ScAlN films grown by ion-beam assisted RF magnetron sputtering”
M. Oka, S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2015
“Conductivity measurement of liquid by SH-SAW sensor consisting of IDT/(11-20) oriented ZnO film/silica glass substrate “
S. Hiyama, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2015
“High order mode polarity inverted Al-polar (0001) ScAlN/O-polar (000-1) ZnO film resonator”
T. Mori, T. Yanagitani, M. Suzuki
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2015
“Fast wave velocity measurement by Brillouin scattering using induced phonon from ScAlN piezoelectric thin film”
M. Kawabe, T. Yanagitani, H. Ichihashi, S. Takayanagi, M. Suzuki, M. Matsukawa
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2015
Elastic constants c11 and c66 in ScxAl1-xN films determined by Brillouin scattering method
The 35th Symposium on Ultrasonic Electronics
Presentation date: 2014
Brillouin scattering measurement using induced phonon from ScAlN piezoelectric thin film
The 35th Symposium on Ultrasonic Electronics
Presentation date: 2014
Effects of microstructure on bone piezoelectricity in the MHz range
The 35th Symposium on Ultrasonic Electronics
Presentation date: 2014
Propagation characteristics of SH-wave in c-axis parallel oriented ZnO film/silica glass pipe
The 35th Symposium on Ultrasonic Electronics
Presentation date: 2014
Second overtone mode (0001)/(000-1) ScAlN multilayer FBARs fabricated by anode RF bias
The 35th Symposium on Ultrasonic Electronics
Presentation date: 2014
Second overtone mode polarization inverted HBAR consisting of (001)/(00-1) PbTiO3 epitaxial
The 35th Symposium on Ultrasonic Electronics
Presentation date: 2014
PbTiO3エピタキシャル薄膜を用いた二次モード分極反転共振子
Presentation date: 2014
極性反転ScAlN系薄膜の境界を伝搬するセザワ波の高い電気機械結合係数
高柳真司, 柳谷隆彦, 松川 真美
EMシンポジウム2014
Presentation date: 2014
イオン照射による極性反転 ScAlN 薄膜の形成と高次モードFBAR への応用
柳谷隆彦, 鈴木雅視
EMシンポジウム2014
Presentation date: 2014
超音波照射により皮質骨に発生する誘発電位の検討
Presentation date: 2014
極性反転ZnOおよびAlN系薄膜の境界を伝搬するセザワ波の高い電気機械結合係数
Presentation date: 2014
RFバイアス三極スパッタ法によるイオン照射を用いたO面,Zn面,a面およびm面ZnO薄膜の配向制御
Presentation date: 2014
c軸平行配向ZnO膜/平面・円管状石英上を伝搬するSH-SAWの液体センサ応用
Presentation date: 2014
Bi(Me)O3-PbTiO3 高キュリー温度セラミックスの単結晶薄膜化
Presentation date: 2014
イオンビーム照射成膜によるc軸垂直配向希土類GaN薄膜の形成
Presentation date: 2014
エピタキシャルPZT 厚膜を用いた高温600℃における高効率超音波励振
Presentation date: 2014
圧電効果を利用した導電率計測技術
Presentation date: 2014
PZT系エピタキシャル薄膜を用いた二次モード分極反転共振子
Presentation date: 2014
c軸傾斜ScAlN薄膜の擬似すべりモード電気機械結合係数
Presentation date: 2014
音響電気効果を考慮したGaN単結晶のGHz域音速の温度・周波数分散測
Presentation date: 2014
エピタキシャルPZT系厚膜の高温550℃における高い電気機械結合係数
Presentation date: 2014
Second overtone mode polarization inverted resonator consisting of (001)/(00-1) PbTiO3 thin film
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2014
RF bias induced polarity inversion of ScAlN film for overtone mode BAW resonator
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2014
Effect of Sc concentration on shear wave velocities in ScAlN films measured by micro-Brillouin scattering technique
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2014
Effect of sputtering target temperature on crystalline orientations of ZnO piezoelectric films in RF magnetron sputtering
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2014
Polarity of piezoelectric properties in bone induced by ultrasound irradiation
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2014
Sezawa mode SAW with high electromechanical coupling at the boundary of polarization-inverted (000-1)/(0001) ZnO, AlN and ScAlN films
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2014
Multiple shear wave roundtrips liquid sensor by c-axis parallel oriented ZnO film/silica glass pipe structure
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2014
Measurement of Polarization Structure in Layered Piezoelectric Thin Films Using Scanning Nonlinear Dielectric Microscopy
European Conference on Application of Polar Dielectrics 2014
Presentation date: 2014
High electromechanical coupling in PZT epitaxial thick film resonators at 550 degC
IEEE International Frequency Control Symposium
Presentation date: 2014
Second harmonic mode polarization inverted resonator consisting of PbTiO3 thin film
IEEE International Frequency Control Symposium
Presentation date: 2014
High Tc / High Coupling Perovskite Thin Films
2014 Joint IEEE ISAF-IWATMD-PFM
Presentation date: 2014
Sezawa Mode SAW with High Electromechanical Coupling at The Boundary of Polarization-Inverted ScAlN Film Stuructures
Presentation date: 2014
Polarity-inverted ScAlN film growth by ion beam irradiation and application to high overtone acoustic wave film resonators
Presentation date: 2014
RFバイアススパッタ法により生じる高エネルギー正イオン照射を利用した六方晶系薄膜の配向制御
Presentation date: 2013
c軸配向ZnO薄膜を用いた極性反転高次モード多層共振子
Presentation date: 2013
c軸傾斜配向ZnOまたはScAlN膜のレイリーSAWにおける高い電気機械結合
Presentation date: 2013
Brillouin散乱法によるGaN単結晶の音波物性測定
Presentation date: 2013
c軸配向ZnO膜の極性制御と極性反転高次モード共振子への応用
Presentation date: 2013
IDT/c軸平行配向ZnO膜/円柱状石英ガラス上を多重周回するSH-SAWの液体中伝搬特性
Presentation date: 2013
c軸平行配向ZnO膜を用いた厚みすべりモード共振子によるアポリポタンパク質の濃度評価
Presentation date: 2013
c軸傾斜配向ZnOまたはScAlN膜のレイリーSAWにおける高い電気機械結合係数
Presentation date: 2013
高温で高い圧電性を持つMnドープZnO薄膜
Presentation date: 2013
厚み共振を利用した圧電薄膜成長初期における無配向層の厚み評価
Presentation date: 2013
超音波照射による骨の誘発電位
Presentation date: 2013
MHz域の超音波照射による骨の誘発電位
Presentation date: 2013
超音波骨トランスデューサの受波感度の検討
Presentation date: 2013
RFバイアススパッタ法による高エネルギー正イオン照射を用いた六方晶系圧電薄膜の配向制御
Presentation date: 2013
c-axis parallel oriented multilayer AlN film grown by ion-beam assisted deposition
Presentation date: 2013
Brillouin 散乱法を用いたGaN 単結晶の音速分散測定
Presentation date: 2013
ScAlN 膜における相境界付近のGHz 帯圧電特性と弾性温度係数
Presentation date: 2013
GHz 帯超音波励振を用いたエピタキシャルPZT 薄膜の分極反転挙動観察
Presentation date: 2013
c 軸傾斜および平行配向ScAlN 薄膜/ 基板構造における弾性表面波の高い電気機械結合係数
Presentation date: 2013
イオンビームアシスト成膜法によるc軸平行螺旋構造AlN薄膜の形成
Presentation date: 2013
イオンビームアシスト成膜によるc軸平行極性反転AlN多層構造の形成
Presentation date: 2013
希土類を添加したGaN薄膜の相境界付近における巨大圧電性
Presentation date: 2013
PZT系単結晶薄膜のGHz帯圧電特性とバイアス印可時の分極反転挙動
Presentation date: 2013
希土類を添加したAlNおよびGaN薄膜の圧電特性
Presentation date: 2013
AlN系薄膜におけるイオンビームを用いたc軸平行螺旋構造およびc軸垂直極性反転構造の形成
Presentation date: 2013
平行配向ZnO圧電薄膜を用いた液中横波励振デバイス
Presentation date: 2013
「講演奨励賞受賞記念講演」イオンビーム照射成膜によるAlN薄膜の極性・配向制御および極性反転多層構造の形成
Presentation date: 2013
Characterization of GHz electromechanical properties of PZT single crystalline thin Films without removing substrate
IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
Presentation date: 2013
PZT-based high coupling with low permittivity thin films
IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
Presentation date: 2013
Enhancement of electromechanical coupling kt in rare earth doped c-axis oriented GaN films
IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
Presentation date: 2013
Electromechanical coupling kt and GHz longitudinal wave velocity in ScAlN films near phase boundary
IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
Presentation date: 2013
Polarity control of c-axis oriented ZnO films and application to polarity-inverted ZnO multilayer resonators
IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
Presentation date: 2013
Shear and longitudinal GHz elastic properties in GaN single crystals determined by Brillouin scattering method
IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
Presentation date: 2013
Orientation control of ZnO films by highly-energetic positive ion irradiation using RF substrate bias sputtering
IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
Presentation date: 2013
Multiple roundtrip SH-SAW liquid sensor using c-axis parallel oriented ZnO films on silica glass pipe
IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
Presentation date: 2013
Detection of antigen-antibody reaction by thickness-shear mode resonators consisting of caxis parallel oriented ZnO films
IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
Presentation date: 2013
Electrical potentials in wet induced by ultrasound irradiation
European Symposium on Ultrasonic Characterization of Bone 2013
Presentation date: 2013
Polarization control of c-axis normal ScAlN film by ion beam irradiation
International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications
Presentation date: 2013
c軸配向ZnO薄膜における基板へのイオン照射を用いたZn面またはO面極性制御
Presentation date: 2012
MHz域における骨の電気機械変換特性
Presentation date: 2012
c軸傾斜配向ZnO膜/石英基板構造のレイリーSAWにおける高い電気機械結合係数
Presentation date: 2012
RFバイアススパッタ法によるc軸平行配向AlN及びScAlN薄膜の形成
Presentation date: 2012
RFマグネトロンスパッタ法における基板へのイオン照射を用いた c軸配向ZnO薄膜の極性制御
Presentation date: 2012
圧電薄膜の配向制御技術と液中横波励振
Presentation date: 2012
マグネトロンスパッタ源から生成される高エネルギー負イオン照射によるZnO膜の配向制御
Presentation date: 2012
c軸平行配向ZnO膜を用いたSH-SAWセンサによる液体の導電率測定
Presentation date: 2012
イオンビームアシストスパッタ法によるc軸平行AlN薄膜/石英基板の形成
Presentation date: 2012
マグネトロンスパッタ源から生成する高速負イオンを利用したZnO膜の配向制御
Presentation date: 2012
(0001)配向AlNおよびScAlN薄膜を用いた極性反転共振子
Presentation date: 2012
Sc粒スパッタによる巨大圧電性(0001)ScAlN薄膜の作製 -効率的なSc代替材料探索を目指した成膜法-
Presentation date: 2012
希土類-III-IV族系巨大圧電性薄膜やPZT単結晶薄膜の相境界の実験的研究
Presentation date: 2012
Al2O3粒スパッタ法よる(0001)配向ScAlN薄膜の極性制御と極性反転共振子
Presentation date: 2012
巨大圧電性 (0001) ScAlGaN薄膜
Presentation date: 2012
c 軸垂直極性反転ScAlN 多層膜を用いた高次モード音響共振子
Presentation date: 2012
イオンビーム照射成膜による(0001)配向ScAlN薄膜の極性制御と極性反転構造の実現
Presentation date: 2012
Sc粒スパッタによる巨大圧電性(0001)ScAlN薄膜共振子の作製
Presentation date: 2012
c軸平行配向AlN圧電膜を用いた高次モード極性反転すべりモード共振子
Presentation date: 2012
High electromechanical coupling of PMnN-PZT thin film resonator operating in the GHz range
IEEE International Ultrason. Symp
Presentation date: 2012
Fast hypersonic velocity measurement by Brillouin scattering from induced phonons
IEEE International Ultrason. Symp
Presentation date: 2012
Metal grain ingot sputtering method for ScAlN film fabrication and for searching alternative element of Sc
IEEE International Ultrason. Symp
Presentation date: 2012
Polarization inverted (0001)/(000-1) ScAlN film resonators operating in second overtone mode
IEEE International Ultrason. Symp
Presentation date: 2012
Micro liquid viscometer by thickness-shear mode resonator with c-axis parallel oriented ZnO film
IEEE International Ultrason. Symp
Presentation date: 2012
Bone ultrasound transducer in the MHz range
IEEE International Ultrason. Symp
Presentation date: 2012
Fabrication of c-axis parallel oriented AlN and ScAlN films by RF bias sputtering
IEEE International Ultrason. Symp
Presentation date: 2012
Polarization control of the c-axis oriented ZnO films by ion bombardment during an RF magnetron sputtering
IEEE International Ultrason. Symp
Presentation date: 2012
Sc 粒のスパッタにより作製したScAlN 薄膜の電気機械結合係数
Presentation date: 2011
IBAD 法によるc 軸平行配向AlN 薄膜を用いた極性反転多層膜すべり共振子
Presentation date: 2011
IBAD法を用いたc軸平行配向AlN薄膜の作製および極性反転すべり共振子への応用
Presentation date: 2011
c軸平行配向ZnO膜/非晶質基板上を伝搬するSH-SAWの電気機械結合係数
Presentation date: 2011
ZnO圧電薄膜によるGHz域の励起フォノンを利用した高速Brillouin散乱測定
Presentation date: 2011
曲面試料上に成膜したZnO 薄膜からの励起フォノンによるBrillouin 散乱
Presentation date: 2011
c軸平行配向ZnO膜/非圧電性基板構造におけるSH-SAWの電気機械結合係数およびセンサ応用の検討
Presentation date: 2011
c軸平行配向AlN薄膜を用いた極性反転すべり共振子
Presentation date: 2011
Polarizaion-inverted multilayered pure shear mode AlN film resonator
IEEE International Ultrason. Symp
Presentation date: 2011
c-axis parallel oriented AlN film resonator fabricated by ion-beam assisted RF magnetron sputtering
IEEE International Ultrason. Symp
Presentation date: 2011
Brillouin scattering from induced phonons excited by the ZnO piezoelectric thin film with a coaxial resonator
IEEE International Ultrason. Symp
Presentation date: 2011
High temperature piezoelectricity in Mn doped ZnO film
IEEE International Ultrason. Symp
Presentation date: 2011
c-axis parallel oriented ZnO film SH-SAW sensor for electrical conductivity measurement in liquid
IEEE International Ultrason. Symp
Presentation date: 2011
Quantitative analysis of the effect of energetic particle bombardment during deposition on (11-20) ZnO piezoelectric films
IEEE International Ultrason. Symp
Presentation date: 2011
Three dimensional anisotropy of ultrasonic wave velocity in bovine cortical bone - Effects of HAp crystallites orientation and microstructure -
Presentation date: 2010
c-axis parallel oriented ZnO film depositions by variable frequency RF bias sputtering
The 31th Symposium on Ultrasonic Electronics
Presentation date: 2010
Giant shear mode electromechanical coupling in c-axis tilted ScAlN films
Presentation date: 2010
In-plane and out-of-plane orientation control of AlN films by ion beam assisted RF magnetron sputtering
Presentation date: 2010
Observation of induced phonons by ZnO transducer with coaxial microwave resonator using Brillouin scattering
The 31th Symposium on Ultrasonic Electronics
Presentation date: 2010
ウシ左右大腿骨皮質骨中の特徴的な3次元音速異方性 ~ 最大音速方向の骨軸からのずれについて ~
Presentation date: 2010
Brillouin散乱法による同軸共振器と圧電薄膜を用いた励起フォノンの観測
Presentation date: 2010
RFバイアススパッタ法によるc軸平行配向ZnO薄膜の形成 ~ バイアス周波数が配向性に及ぼす影響 ~
Presentation date: 2010
c 軸傾斜配向ScAlN 膜の擬似すべりモードにおける巨大圧電性
Presentation date: 2010
Brillouin 散乱法による導電性ZnO 単結晶を用いた擬似すべりモード電気機械結合係数k15´の評価
Presentation date: 2010
RFバイアススパッタ法による簡便な(11-20)および(10-10)配向ZnO膜の形成
Presentation date: 2010
傾斜配向AlN膜の結晶粒界と横波音響特性
Presentation date: 2010
Brillouin散乱法による圧電半導体の面内方向抵抗率評価
Presentation date: 2010
傾斜配向AlN膜の構造が横波音響特性におよぼす影響
Presentation date: 2010
RFバイアススパッタ法による簡便な面内配向ZnO薄膜の形成
Presentation date: 2010
Highest wave velocity direction in the bovine cortical bone: observation of a small tilt relative to the bone axis
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2010
Deposition techniques of c-axis-tilted ScAlN films by conventional RF magnetron sputtering
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2010
Influence of shadowing effect on shear mode acoustic properties in the c-axis tilted AlN films
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2010
Effects of HAp alignment and microstructure on the anisotropy of longitudinal wave velocity in bovine cortical bone
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2010
A simple technique for obtaining (11-20) or (10-10) textured ZnO films by RF bias sputtering
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2010
Giant shear mode electromechanical coupling coefficient k15 in c-axis tilted ScAlN films
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2010
Anisotropy of longitudinal wave velocity in spherically shaped bovine cortical bone
The third international conference on the development of Biomedical Engineering
Presentation date: 2010
Piezoelectric properties of c-axis highly tilted AlN films
The 30th Symposium on Ultrasonic Electronics
Presentation date: 2009
Multilayer shear mode resonator consisting of c-axis tilted ZnO films
The 30th Symposium on Ultrasonic Electronics
Presentation date: 2009
Crystallographic characteristics of (11-20) textured ZnO piezoelectric films fabricated by magnetron sputtering with linear erosion
The 30th Symposium on Ultrasonic Electronics
Presentation date: 2009
Measurement of in-plane electric properties in a wide band-gap semiconductor by Brillouin scattering method
The 30th Symposium on Ultrasonic Electronics
Presentation date: 2009
ウシ大腿骨皮質骨の縦波音速異方性とHAp結晶配向
山本 和史, 大和 雄, 山崎 薫, 長野 昭, 矢追 佑一郎, 中辻 智宏, 松川 真美, 柳谷隆彦
日本整形外科学会基礎学術集会
Presentation date: 2009
直線状エロージョンマグネトロンスパッタリングによる(11-20)配向ZnO圧電膜の大面積成膜
Presentation date: 2009
Brillouin散乱法による圧電半導体の面内方向電気特性評価に関する検討
Presentation date: 2009
c軸傾斜反転配向ZnO多層膜の作製と横波共振子への応用
Presentation date: 2009
ウシ大腿骨皮質骨中の超音波縦波音速 ハイドロキシアパタイト結晶配向と微細構造の影響
Presentation date: 2009
ヒト及びウシ円環状皮質骨における骨軸方向への超音波伝搬特性
Presentation date: 2009
Brillouin散乱法による圧電半導体の面内方向抵抗率分布の評価
Presentation date: 2009
Relationships between anisotropy of longitudinal wave velocity and HAp orientation in bovine cortical bone
3rd European Symposium on Ultrasonic Characterization of Bone
Presentation date: 2009
Measurement of electric properties in a ZnO single crystal via electromechanical coupling using Brillouin scattering method
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2009
Multilayered shear wave resonator consisting of c-axis tilted ZnO films
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2009
Anisotropy of longitudinal wave velocity and HAp orientation in bovine cortical bone
International Congress on Ultrasonics (ICU) 2009
Presentation date: 2009
Ultrasonic wave properties in the bone axis direction of human and bovine cortical bone
International Congress on Ultrasonics (ICU) 2009
Presentation date: 2009
Anisotropy of longitudinal ultrasound velocity and HAp orientation in bovine cortical bone
The 29th Symposium on Ultrasonic Electronics
Presentation date: 2008
Pure-shear mode BAW resonator consisting of (1120) textured AlN films
The 29th Symposium on Ultrasonic Electronics
Presentation date: 2008
Electromechanical coupling coefficient of semiconducting piezoelectric crystal measured by Brillouin scattering
The 29th Symposium on Ultrasonic Electronics
Presentation date: 2008
イオン照射による六方晶系薄膜の配向制御と横波モード圧電デバイス
Presentation date: 2008
(11-20)配向AlN圧電薄膜を用いた純横波モード共振子
Presentation date: 2008
Brillouin散乱法を用いた六方晶系圧電薄膜の評価
Presentation date: 2008
Pure-shear mode BAW resonators consisting of (11-20) textured ZnO films
Acoustics 08
Presentation date: 2008
Observation of induced shear acoustic phonons by Brillouin scattering
Acoustic 08
Presentation date: 2008
Ultrasonic wave properties in the bone axis direction of bovine cortical bone
Acoustic 08
Presentation date: 2008
Pure-shear mode BAW resonator consisting of (10-10) and (11-20) textured AlN films
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2008
Electromechanical coupling coefficient of semiconducting hexagonal crystal measured by Brillouin scattering
IEEE International Ultrasonics Symposium
Presentation date: 2008
超音波による骨質の評価
Presentation date: 2007
Propagation characteristics of SH-SAW in (11-20) ZnO film/silica glass substrate structures
The 28th Symposium on Ultrasonic Electronics
Presentation date: 2007
A c-axis tilted ZnO film transducer for simultaneous excitation of longitudinal and shear waves
The 28th Symposium on Ultrasonic Electronics
Presentation date: 2007
Texture control of ZnO piezoelectric films by ion beam irradiation
The 28th Symposium on Ultrasonic Electronics
Presentation date: 2007
(11-20)ZnO膜/石英基板構造のSH型SAW伝搬特性
Presentation date: 2007
c軸傾斜配向ZnO膜を用いたVHF帯縦波横波同時励振トランスデューサ
Presentation date: 2007
c軸傾斜配向ZnO 膜を用いた縦波横波同時励振トランスデューサ
Presentation date: 2007
(11-20)面配向ZnO膜/石英基板構造のSH型SAW伝搬特性
Presentation date: 2007
Brillouin 散乱法を用いたガラス中の横波励起フォノンの観測
Presentation date: 2007
面内配向ZnO 多結晶膜/基板構造におけるSH 型SAW 特性
Presentation date: 2007
(11-20)ZnO膜/石英基板構造におけるSH型SAW特性
Presentation date: 2007
イオンチャネリング効果によるZnO圧電膜の配向制御に関する検討
Presentation date: 2007
c軸傾斜配向ZnO膜の電気機械結合係数と縦波横波同時励振トランスデューサへの適用
Presentation date: 2007
Thin film stack transducer for simultaneous generation of longitudinal and shear waves at same frequency
IEEE Ultrason. Symp
Presentation date: 2007
Ion beam sputter-deposited ZnO thin film for broadband shear wave excitation in the GHz range
IEEE Ultrason. Symp
Presentation date: 2007
Highly oriented c-axis 23° tilted ZnO films with high quasi-shear mode electromechanical coupling coefficients
IEEE Ultrason. Symp
Presentation date: 2007
Propagation characteristics of SH-SAW in (11 0) ZnO layer/silica glass substrate structures
IEEE Ultrason. Symp
Presentation date: 2007
Effect of the preference of hydroxyapatite crystallites on longitudinal wave velocity at small ROIs in bovine cortical bone
International congress on Ultrasonics
Presentation date: 2007
横波モード圧電デバイスを目的としたイオンビームアシスト蒸着法による面内配向ZnO薄膜の作製
Presentation date: 2006
Observation of induced shear acoustic phonons by Brillouin scattering
Presentation date: 2006
Longitudinal wave velocity and orientation of HAp crystallites in local area of bovine femoral cortical bone
Presentation date: 2006
Characteristics of shear mode FBAR using (11-20) textured ZnO films
Presentation date: 2006
Effects of sputtering gas on the formation of (11-20) textured ZnO films
Presentation date: 2006
c軸傾斜配向ZnO 膜の形成および圧電特性
Presentation date: 2006
面内配向ZnO 膜を用いたすべりモード薄膜共振子の特性
Presentation date: 2006
ウシ皮質骨の弾性異方性と結晶配向性
Presentation date: 2006
面内配向ZnO膜のk15の評価およびすべりモード薄膜共振子への応用
Presentation date: 2006
Elastic anisotropy and crystallites orientation of the bovine cortical bone
17th International Bone Densitometry Workshop
Presentation date: 2006
The effect of hydroxyapatite crystallite orientation on ultrasonic velocity in bovine cortical bone
4th Joint Meeting Acoustical Society of America and Acoustical Society of Japan
Presentation date: 2006
Elastic Anisotropy and Crystallites Orientation in Bovine Cortical Bone
IEEE Ultrason. Symp
Presentation date: 2006
Temperature Characteristics of Pure Shear Mode FBARs Consisted of (11 0) Textured
IEEE Ultrason. Symp
Presentation date: 2006
Study on Formation Mechanism of (11-20) Textured ZnO Films
IEEE Ultrason. Symp
Presentation date: 2006
Effect of the crystallites orientation on the elastic anisotropy in the bovine cortical bone
The 9th Western Pacific Acoustics Conference
Presentation date: 2006
The relationship between acoustic anisotropy and crystal orientation in bovine cortical bone
1st European Symposium on Ultrasonic Characterization of Bone
Presentation date: 2006
牛皮質骨の超音波伝搬特性と結晶配向
Presentation date: 2005
面内配向ZnO薄膜の結晶性向上と膜厚均一化に関する検討
Presentation date: 2005
面内配向ZnO膜の圧電性評価と共振器への応用
Presentation date: 2005
面内配向ZnO膜の電気機械結合係数k15の評価
Presentation date: 2005
面内配向ZnO薄膜の作製条件に関する検討
Presentation date: 2005
面内配向ZnO膜の圧電性
Presentation date: 2005
顕微ブリユアン光散乱法を用いたZnO薄膜の非破壊評価
Presentation date: 2005
(11-20)面配向ZnO圧電膜の結晶性向上および膜厚分布の低減
Presentation date: 2005
面内配向ZnO薄膜を用いた横波トランスデューサの変換特性
Presentation date: 2005
Higher-order shear mode FBAR using polarization-inverted layers of (11 0) textured
IEEE Ultrason. Symp
Presentation date: 2005
Electromechanical coupling coefficient k15 of (11 0) textured ZnO films
IEEE Ultrason. Symp
Presentation date: 2005
顕微ブリユアン光散乱法による面内配向ZnOフィルムの評価
Presentation date: 2004
面内配向ZnO薄膜を用いたトランスデューサの評価
Presentation date: 2004
横波励振を目的とした面内配向ZnO薄膜の結晶性向上に関する検討
Presentation date: 2004
面内配向ZnO 薄膜を用いた横波トランスデューサ
Presentation date: 2004
(11-20)面配向ZnO薄膜による横波トランスデューサの作製
Presentation date: 2004
Shear Wave Transducer Using (11-20) Textured ZnO Film
IEEE Ultrason. Symp
Presentation date: 2004
Nondestructive evaluation of thin ZnO shear transducer by Brillouin scattering
IEEE Ultrason. Symp
Presentation date: 2004
面内配向ZnO 薄膜による横波励振の検討
Presentation date: 2003
横波励振を目的とした面内配向ZnO薄膜の開発
Presentation date: 2003
ZnO薄膜を用いた横波トランスデューサの検討
Presentation date: 2003
金属膜上に作製されたZnO 面内一方向配向膜の特性
Presentation date: 2003
高速負イオン発生抑制成膜による希土類添加AIN薄膜の巨大圧電性発現
2018 唐澤嶺, 遠藤結佳, 清水貴博, 正宗千明, 松田有佳
極性反転多層構造の圧電薄膜を用いた高分解能超音波プロープの実現
2015 鈴木雅視
横波超音波の固有振動数変動による抗原抗体反応の高感度質量計測
2015 鈴木雅視
Graduation Thesis B [Spring] [S Grade]
School of Advanced Science and Engineering
2022 spring semester
Laboratory C on Electrical Engineering and Bioscience [S Grade]
School of Advanced Science and Engineering
2022 fall semester
Laboratory C on Electrical Engineering and Bioscience
School of Advanced Science and Engineering
2022 fall semester
Laboratory B on Electrical Engineering and Bioscience [S Grade]
School of Advanced Science and Engineering
2022 spring semester
Frontiers of Electrical Engineering and Bioscience [S Grade]
School of Advanced Science and Engineering
2022 spring semester
Frontiers of Electrical Engineering and Bioscience
School of Advanced Science and Engineering
2022 spring semester
Laboratory B on Electrical Engineering and Bioscience [S Grade]
School of Advanced Science and Engineering
2022 spring semester
Laboratory B on Electrical Engineering and Bioscience (B)
School of Advanced Science and Engineering
2022 spring semester
Laboratory B on Electrical Engineering and Bioscience (A)
School of Advanced Science and Engineering
2022 spring semester
Master's Thesis (Department of Electrical Engineering and Bioscience)
Graduate School of Advanced Science and Engineering
2022 full year
Master's Thesis (Department of Electrical Engineering and Bioscience)
Graduate School of Advanced Science and Engineering
2022 full year
Topics on Molecular Sensors and Devices
Graduate School of Advanced Science and Engineering
2022 spring semester
Molecular Sensors and Devices D: Seminar
Graduate School of Advanced Science and Engineering
2022 fall semester
Molecular Sensors and Devices C: Seminar
Graduate School of Advanced Science and Engineering
2022 spring semester
Seminar on Molecular Sensors and Devices B
Graduate School of Advanced Science and Engineering
2022 fall semester
Seminar on Molecular Sensors and Devices A
Graduate School of Advanced Science and Engineering
2022 spring semester
Research on Molecular Sensors and Devices
Graduate School of Advanced Science and Engineering
2022 full year
Research on Molecular Sensors and Devices
Graduate School of Advanced Science and Engineering
2022 full year
Seminar on Molecular Sensors and Devices D
Graduate School of Advanced Science and Engineering
2022 fall semester
Seminar on Molecular Sensors and Devices C
Graduate School of Advanced Science and Engineering
2022 spring semester
Seminar on Molecular Sensors and Devices B
Graduate School of Advanced Science and Engineering
2022 fall semester
Seminar on Molecular Sensors and Devices A
Graduate School of Advanced Science and Engineering
2022 spring semester
Research on Molecular Sensors and Devices
Graduate School of Advanced Science and Engineering
2022 full year
Scientific Reports (Nature Publishing Group) Editorial Board member
IEEE UFFC ( IUS Technical Program Committee) IEEE IUS Technical Program Committee
日本音響学会誌査読委員 日本音響学会誌 査読委員(2012年04月-現在)
超音波エレクトロニクスシンポジウム運営委員 運営委員(2010年04月-現在)
弾性波素子技術コンソーシアム 幹事
電気情報通信学会超音波研究会専門員
日本学術振興会弾性波素子技術第150委員会委員
圧電材料・デバイスシンポジウム運営委員
EMデバイス・システムの新技術調査専門委員会 幹事